[發(fā)明專利]一種車用顆粒物傳感器陶瓷芯片及其制造方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201910791305.1
• 申請日: 2019-08-26
• 公開（公告）號: CN110514564A
• 公開（公告）日: 2019-11-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 賈廣平;鄭智;李可;陳可;張寧寧
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳順絡(luò)電子股份有限公司
• 主分類號: G01N15/06
• 分類號: G01N15/06
• 代理公司: 44223 深圳新創(chuàng)友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 王震宇<國際申請>=<國際公布>=<進(jìn)入

1.一種車用顆粒物傳感器陶瓷芯片，其特征在于，包括絕緣陶瓷基板、第一電極、第二電極以及絕緣玻璃層，所述第一電極和所述第二電極形成在所述絕緣陶瓷基板的上表面上，且所述第一電極和所述第二電極之間由連續(xù)的間隙分隔開，所述第一電極和所述第二電極的前段部分向外暴露，使得測量時顆粒物能夠落在所述第一電極和所述第二電極的前段部分處的所述間隙上而改變所述第一電極和所述第二電極之間的電阻值，靠近測量信號輸出端的所述第一電極和所述第二電極的后段部分由所述絕緣玻璃層覆蓋，所述第一電極和/或第二電極還作為加熱電極，用來通過加熱以去除顆粒物。

2.如權(quán)利要求1所述的車用顆粒物傳感器陶瓷芯片，其特征在于，所述絕緣玻璃層的厚度為20～40μm。

3.如權(quán)利要求1或2所述的車用顆粒物傳感器陶瓷芯片，其特征在于，所述絕緣玻璃層的靠近所述第一電極和所述第二電極的前段部分的前端為弧形。

4.如權(quán)利要求1或2所述的車用顆粒物傳感器陶瓷芯片，其特征在于，所述第一電極和/或第二電極還作為測溫電極，用于測量加熱的溫度。

5.如權(quán)利要求1或2所述的車用顆粒物傳感器陶瓷芯片，其特征在于，所述絕緣陶瓷基板為氧化鋁陶瓷基板，厚度為200～3000μm。

6.如權(quán)利要求1或2所述的車用顆粒物傳感器陶瓷芯片，其特征在于，所述連續(xù)的間隙為規(guī)則或者不規(guī)則的蛇形、螺旋形或矩形，所述間隙的寬度為30～500μm，優(yōu)選地，所述連續(xù)的間隙包括沿所述陶瓷基板的長度設(shè)置的多道方波形間隙。

7.一種如權(quán)利要求1至6任一項所述的車用顆粒物傳感器陶瓷芯片的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：

準(zhǔn)備所述絕緣陶瓷基板；

在所述絕緣陶瓷基板的上表面上形成所述第一電極和所述第二電極，所述第一電極和所述第二電極之間由連續(xù)的間隙分隔開；

在靠近測量信號輸出端的所述第一電極和所述第二電極的后段部分上覆蓋絕緣玻璃層，而所述第一電極和所述第二電極的前段部分向外暴露，使得測量時顆粒物能夠落在所述第一電極和所述第二電極的前段部分處的所述間隙上而改變所述第一電極和所述第二電極之間的電阻值；所述第一電極和/或第二電極還作為加熱電極，用來通過加熱以去除顆粒物。

8.根據(jù)權(quán)利要求8所述的車用顆粒物傳感器陶瓷芯片的絕緣玻璃層，其特征在于，所述絕緣玻璃層是用玻璃材料以絲網(wǎng)印刷或噴涂方式涂覆，燒結(jié)溫度400℃～1200℃、保溫時間0.1～3.0小時。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的車用顆粒物傳感器陶瓷芯片，其特征在于，所述第一電極和所述第二電極是由Pt漿、Au漿、Pd-Au漿、Pd-Ag漿中的一種燒結(jié)而成，燒結(jié)溫度800℃～1200℃；所述連續(xù)的間隙是通過刻蝕或者絲網(wǎng)印刷方式形成的。