[發明專利]一種適用于激光直寫曝光設備的光學系統組件

有效

• 申請號: 201910760237.2
• 申請日: 2019-08-16
• 公開（公告）號: CN110515277B
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發明（設計）人: 俞慶平
• 申請（專利權）人: 俞慶平
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 合肥天明專利事務所(普通合伙) 34115
• 代理人: 王麗麗

1.一種適用于激光直寫曝光設備的光學系統組件，其特征在于：包括照明組件(1)，所述照明組件(1)包括依次順序連接的光棒調整件(11)、第一倍率調整件(12)、光斑調整組件(14)及第一反射鏡組件(15)，所述光棒調整件(11)包括殼體(111)，所述殼體(111)內設有光棒(112)及用于固定光棒(112)的固定機構，所述光斑調整組件(14)包括鏡座(141)，所述鏡座(141)內設有多個用于安裝鏡片的卡槽(142)；所述第一反射鏡組件(15)包括安裝座(151)，所述安裝座(151)內設有用于固定第一反射鏡的固定支架(152)，所述安裝座(151)的側面設有反射出口(153)，所述固定支架(152)傾斜設于所述安裝座(151)內且與安裝座(151)的底部形成的夾角為銳角，以使第一反射鏡反射的光線能夠通過反射出口(153)射出；

所述殼體(111)為圓筒形，所述固定機構包括固定件(113)，所述固定件(113)的外直徑與所述殼體(111)的內直徑大小相適配，在固定件(113)的中部設有與所述光棒(112)大小相適配的開孔(115)，所述光棒(112)通過開孔(115)安裝在殼體(111)的內腔中，所述光棒(112)與所述殼體(111)之間的間隙通過夾緊件(114)固定；

所述夾緊件(114)為圓筒形，所述夾緊件(114)的孔徑與所述光棒(112)的橫截面大小相適配；所述固定件(113)及殼體(111)上對應設有第一螺孔(116)，所述光棒(112)通過螺桿穿過所述第一螺孔(116)使其壓緊在所述殼體(111)內。

2.根據權利要求1所述的適用于激光直寫曝光設備的光學系統組件，其特征在于：所述固定件(113)至少為兩個，分別設于殼體(111)端部及中部，兩個固定件(113)之間及外側均設有夾緊件(114)，所述殼體(111)的連接端內側設有橡膠墊(117)，所述固定件(113)及夾緊件(114)通過橡膠墊(117)壓緊固定在所述殼體(111)內。

3.根據權利要求1所述的適用于激光直寫曝光設備的光學系統組件，其特征在于：所述第一倍率調整件(12)包括第一連接部(121)及第二連接部(122)，所述第一連接部(121)與所述鏡座(141)螺紋連接，所述第二連接部(122)與所述殼體(111)通過螺紋連接；

所述第一連接部(121)與鏡座(141)的連接處設有第一鎖緊圈(17)，所述第一鎖緊圈(17)通過螺紋安裝在所述第一連接部(121)上；所述第二連接部(122)與殼體(111)的連接處還設有第二鎖緊圈(18)，所述第二鎖緊圈(18)通螺紋安裝在所述殼體(111)上。

4.根據權利要求1所述的適用于激光直寫曝光設備的光學系統組件，其特征在于：所述鏡座(141)為圓筒狀，所述鏡座(141)的外側且靠近中部位置設有凸緣(143)；所述安裝座(151)包括固定端(154)及安裝部(155)，所述固定端(154)設有與所述鏡座(141)端部大小相適配的安裝孔，所述鏡座(141)的端部安裝在所述安裝孔內且能夠在所述安裝孔內旋轉，所述鏡座(141)與固定端(154)的連接處通過壓緊圈(16)固定。

5.根據權利要求1所述的適用于激光直寫曝光設備的光學系統組件，其特征在于：還包括成像組件(2)，所述成像組件(2)包括DMD組件(21)、第二反射鏡組件(22)、鏡片組件(23)及第二倍率調整組件(24)，所述DMD組件(21)安裝在所述第二反射鏡組件(22)的上端，所述鏡片組件(23)的一端與第二反射鏡組件(22)連接，鏡片組件(23)的另一端通過法蘭(25)與第二倍率調整組件(24)連接；

所述第二反射鏡組件(22)包括轉接座(221)，所述轉接座(221)內設有用于安裝第二反射鏡的連接支架(223)，所述轉接座(221)上設有與所述連接支架(223)相對的圓孔(224)，安裝在連接支架(223)上的反射鏡角度通過連接支架(223)調節，以使第二反射鏡能夠通過圓孔(224)接收到第一反射鏡反射的光線。