[發明專利]一種適用于大尺寸單晶的排氣系統及排氣方法

在審

• 申請號: 201910689783.1
• 申請日: 2019-07-29
• 公開（公告）號: CN112301413A
• 公開（公告）日: 2021-02-02
• 發明（設計）人: 張文霞;高潤飛;王林;谷守偉;徐強;郭志榮
• 申請（專利權）人: 內蒙古中環光伏材料有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

1.一種適用于大尺寸單晶的排氣系統，包括單晶爐底板和排氣管道，所述排氣管道與所述單晶爐底板連接，其特征在于：還包括排氣口和排氣口封堵裝置，其中，

所述排氣口與所述單晶爐底板連接，且所述排氣口與所述排氣管道連通，便于氧化物排出；

所述排氣口封堵裝置與所述排氣口轉動連接，所述排氣口封堵裝置對所述排氣口打開或關閉，控制排氣系統排氣口打開的數量。

2.根據權利要求1所述的適用于大尺寸單晶的排氣系統，其特征在于：所述排氣系統還包括管道封堵裝置，所述管道封堵裝置與所述排氣管道轉動連接，所述管道封堵裝置對所述排氣管道打開或關閉，便于對所述排氣管道處揮發物清理。

3.根據權利要求2所述的適用于大尺寸單晶的排氣系統，其特征在于：所述排氣管道設有排料口，所述排料口與所述管道封堵裝置沿著所述氧化物流動的方向依次設置，所述排料口用于沉積的氧化物排出。

4.根據權利要求2或3所述的適用于大尺寸單晶的排氣系統，其特征在于：所述排氣口封堵裝置包括排氣口盲板和驅動裝置，所述排氣口盲板與所述排氣口轉動連接，所述排氣口盲板與所述驅動裝置連接，所述驅動裝置控制所述排氣口盲板動作，打開或關閉排氣口。

5.根據權利要求4所述的適用于大尺寸單晶的排氣系統，其特征在于：所述管道封堵裝置包括管道盲板，所述管道盲板與所述排氣管道轉動連接，所述管道盲板與所述驅動裝置連接，所述驅動裝置控制所述管道盲板動作，打開或封堵所述排氣管道。

6.根據權利要求2或3所述的適用于大尺寸單晶的排氣系統，其特征在于：所述管道封堵裝置包括管道盲板和第一驅動裝置，所述管道盲板與所述排氣管道轉動連接，所述管道盲板與所述第一驅動裝置連接，所述第一驅動裝置控制所述管道盲板動作，打開或封堵所述排氣管道。

7.根據權利要求3或5所述的適用于大尺寸單晶的排氣系統，其特征在于：所述排氣系統還包括自凈化裝置，所述自凈化裝置設于所述排氣管道中，沿著氧化物流通的方向，所述自凈化裝置、所述排料口與所述管道封堵裝置依次設置，對所述排氣管道中沉積的氧化物進行清理。

8.根據權利要求4所述的適用于大尺寸單晶的排氣系統，其特征在于：所述排氣口盲板的材質為碳碳復合材料。

9.一種適用于大尺寸單晶的排氣方法，其特征在于：在直拉單晶過程中，分批次打開排氣口，進行排氣，包括以下步驟：

S1：打開至少一個所述排氣口，關閉剩余所述排氣口，進行直拉單晶；

S2：當所述已打開的排氣口被氧化物堆積后，旋轉所述排氣口盲板，關閉所述已打開的排氣口，打開所述步驟S1中的所述關閉的排氣口中的至少一個，進行直拉單晶，同時，所述已關閉的排氣口所對應的所述排氣管道內的管道盲板關閉，所述自凈化裝置動作，對所述排氣管道進行清潔；

S3：重復所述步驟S2，當所述已打開的排氣口被氧化物堆積后，關閉所述已打開的排氣口，打開所述步驟S2中的至少一個關閉的排氣口，進行直拉單晶，同時，所述已關閉的排氣口所對應的所述排氣管道內的管道盲板關閉，所述自凈化裝置動作，對所述排氣管道進行清潔；

S4：重復步驟S3，直至直拉單晶結束。

10.根據權利要求9所述的適用于大尺寸單晶的排氣方法，其特征在于：所述步驟S2、所述步驟S3和所述步驟S4中自凈化裝置清潔完所述排氣管道后，所述沉積的氧化物由所述排料口排出。