[發明專利]一種可承載硅片的石英舟

在審

• 申請號: 201910658327.0
• 申請日: 2019-07-21
• 公開（公告）號: CN110379749A
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發明（設計）人: 彭澤明;潘維;王博文;孟祥熙
• 申請（專利權）人: 常州時創能源科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種可承載硅片的石英舟，其內部空間用于插放豎置硅片，包括石英主架體，石英主架體包括側圍和底架，側圍由一對左右設置的側架和一對前后設置的端板圍成，該對端板豎置且相互平行，該對側架分別設有可供硅片側邊插放的豎向插槽，且該對側架相互配合；其特征在于：

所述側圍中還設有支承桿；上述一對端板的內側壁上分別設有：可供支承桿端部插放的U型托架；該對端板內側壁上的U型托架對稱設置；支承桿的兩端架在一對對稱設置的U型托架中。

2.根據權利要求1所述的可承載硅片的石英舟，其特征在于，任一端板的內側壁上設有兩個上下設置的U型托架。

3.根據權利要求1所述的可承載硅片的石英舟，其特征在于，任一端板的內側壁上設有多個豎向依次設置的U型托架。

4.根據權利要求1所述的可承載硅片的石英舟，其特征在于，任一端板的內側壁上設有多個豎向等間隔依次設置的U型托架。

5.根據權利要求1所述的可承載硅片的石英舟，其特征在于，任一端板的內側壁上設有一組U型托架組，該組U型托架組由至少兩個U型托架組成，且同一U型托架組中的各個U型托架處于同一高度。

6.根據權利要求1所述的可承載硅片的石英舟，其特征在于，任一端板的內側壁上設有兩組U型托架組，該兩組U型托架組上下設置，各組U型托架組都由至少兩個U型托架組成，且同一U型托架組中的各個U型托架處于同一高度。

7.根據權利要求1所述的可承載硅片的石英舟，其特征在于，任一端板的內側壁上設有多組U型托架組，該多組U型托架組豎向依次設置，各組U型托架組都由至少兩個U型托架組成，且同一U型托架組中的各個U型托架處于同一高度。

8.根據權利要求1所述的可承載硅片的石英舟，其特征在于，任一端板的內側壁上設有多組U型托架組，該多組U型托架組豎向等間隔依次設置，各組U型托架組都由至少兩個U型托架組成，且同一U型托架組中的各個U型托架處于同一高度。

9.根據權利要求5至8中任一項所述的可承載硅片的石英舟，其特征在于，任一端板上有一組U型托架組裝配至少兩個支承桿。

10.根據權利要求1所述的可承載硅片的石英舟，其特征在于，所述支承桿為槽桿，槽桿頂面設有一排可供硅片底邊插放的豎向插槽，且槽桿上的插槽與側架上的插槽相配合。