[發(fā)明專利]一種用于太陽(yáng)能電池制作的摻雜方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910650331.2
• 申請(qǐng)日: 2019-07-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111564520A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-08-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張?zhí)旖?/a>;劉大偉;倪玉鳳;楊露;宋志成
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 國(guó)家電投集團(tuán)西安太陽(yáng)能電力有限公司;黃河水電西寧太陽(yáng)能電力有限公司;國(guó)家電投集團(tuán)黃河上游水電開(kāi)發(fā)有限責(zé)任公司;青海黃河上游水電開(kāi)發(fā)有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18
• 代理公司: 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31253
• 代理人: 安曼

1.一種用于太陽(yáng)能電池制作的摻雜方法，其特征在于：所述方法按順序包括制絨工藝、單面刻蝕工藝、離子注入工藝、RCA清洗工藝、擴(kuò)散摻雜工藝和鍍膜及金屬化工藝；

所述制絨工藝為將原始硅片利用加熱的強(qiáng)酸或者強(qiáng)堿溶液去除損傷層，然后利用低濃度的堿性溶液對(duì)硅片的各向異性腐蝕特性進(jìn)行制絨；

所述單面刻蝕工藝為利用HNO3及HF的混合溶液對(duì)硅片進(jìn)行單面刻蝕；

所述離子注入工藝為通過(guò)離子注入機(jī)臺(tái)在刻蝕面注入磷源或硼源；

所述RCA清洗工藝為將離子注入后的硅片通過(guò)強(qiáng)酸溶液去除所述離子注入工藝引入的有機(jī)物及表面的金屬離子污染；

所述擴(kuò)散摻雜工藝為將RCA清洗后的兩塊晶片經(jīng)過(guò)所述離子注入工藝的面朝向內(nèi)，載入到石英舟內(nèi)，完成正面的硼擴(kuò)散摻雜工藝或磷摻雜工藝，N2和O2的混合氣體攜帶硼源或磷源氣體，在硅片表面形成形成N性電池的PN結(jié)；

所述鍍膜及金屬化工藝為將經(jīng)過(guò)所述擴(kuò)散摻雜工藝的晶片采用質(zhì)量分?jǐn)?shù)為3％-6％的HF溶液對(duì)正面發(fā)射極及背面硅玻璃同時(shí)去除，最后再進(jìn)行鍍膜及金屬化工藝完成N型電池結(jié)構(gòu)的制作。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于太陽(yáng)能電池制作的摻雜方法，其特征在于：所述制絨工藝采用KOH(質(zhì)量分?jǐn)?shù)為1％～10％)與H2O2(質(zhì)量分?jǐn)?shù)為3～6％)的混合溶液去除損傷層，溫度為50℃～85℃。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于太陽(yáng)能電池制作的摻雜方法，其特征在于：所述制絨工藝采用質(zhì)量分?jǐn)?shù)為1％～4％的KOH或NaOH溶液對(duì)硅片表面進(jìn)行制絨。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于太陽(yáng)能電池制作的摻雜方法，其特征在于：所述制絨工藝過(guò)程添加異丙醇溶液以減慢制絨速率。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于太陽(yáng)能電池制作的摻雜方法，其特征在于：所述離子注入工藝的磷源為紅磷或磷烷，注入劑量為1.0×1014atoms/cm2～6.0×1015atoms/cm2。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于太陽(yáng)能電池制作的摻雜方法，其特征在于：所述離子注入工藝的硼源為硼烷，注入劑量為1.0×1014atoms/cm2～5.0×1015atoms/cm2。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于太陽(yáng)能電池制作的摻雜方法，其特征在于：所述RCA清洗工藝通過(guò)HCl(質(zhì)量分?jǐn)?shù)為1％～2％)及H2O2(質(zhì)量分?jǐn)?shù)為1％～2％)的混合溶液進(jìn)行清洗120～360s。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于太陽(yáng)能電池制作的摻雜方法，其特征在于：所述擴(kuò)散摻雜工藝的硼源氣體為BBr3源氣體，硼擴(kuò)散溫度為880-980℃。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于太陽(yáng)能電池制作的摻雜方法，其特征在于：所述擴(kuò)散摻雜工藝的磷源氣體為POCl3氣體，磷擴(kuò)散溫度為830-870℃。