[發(fā)明專利]顯示面板的金屬圖案制作方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910585008.1 | 申請日： | 2019-07-01 |
| 公開（公告）號： | CN110230059B | 公開（公告）日： | 2020-11-24 |
| 發(fā)明（設計）人： | 梅園;吳豪旭 | 申請（專利權(quán)）人： | 深圳市華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/02 | 分類號： | C23F1/02;C23F1/18;C23F1/26;C23F1/46 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知識產(chǎn)權(quán)事務所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黃威 |
| 地址： | 518132 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 顯示 面板 金屬 圖案 制作方法 | ||
1.一種顯示面板的金屬圖案制作方法，其特征在于，包括:
在35℃下，對一厚度為的銅/鉬金屬層進行蝕刻145秒，當所述銅/鉬金屬層的金屬離子在蝕刻液中到達5500-7500ppm之間的濃度時，在所述蝕刻液中額外連續(xù)或間歇地添加蝕刻功能劑或蝕刻維持劑，直至所述蝕刻功能劑或所述蝕刻維持劑占所述蝕刻液和所加入的所述蝕刻功能劑或所述蝕刻維持劑總量的3wt％時為止，其中，所述金屬離子為銅離子或鉬離子；所述蝕刻液包含：
5-20wt％的過氧化氫、0.1-2wt％的過氧化氫穩(wěn)定劑、5-20wt％的有機酸、5-10wt％的螯合劑、0.001-0.2wt％的蝕刻抑制劑、3-15wt％的錐度調(diào)節(jié)劑、以及余量的去離子水；所述蝕刻功能劑由3wt％的有機酸、7wt％的螯合劑、及7wt％的錐度調(diào)節(jié)劑所組成；以及
所述蝕刻維持劑由所述蝕刻功能劑、7wt％的過氧化氫、以及余量的去離子水所組成。
2.如權(quán)利要求1所述的顯示面板的金屬圖案制作方法，其特征在于，所述過氧化氫穩(wěn)定劑選自于N-苯基脲、N，N'-二苯基脲、1，3-二乙基-1，3-二苯基脲、4-甲基硫代氨基脲、二苯氨基脲中的至少一種。
3.如權(quán)利要求1所述的顯示面板的金屬圖案制作方法，其特征在于，所述有機酸選自苯甲酸、蘋果酸、胱氨酸、天門冬氨酸、乳酸、乙酸、鄰苯二甲酸、水楊酸、天冬酰胺、精氨酸中的至少一種。
4.如權(quán)利要求1所述的顯示面板的金屬圖案制作方法，其特征在于，所述螯合劑選自氨基三亞甲基膦酸。
5.如權(quán)利要求1所述的顯示面板的金屬圖案制作方法，其特征在于，所述蝕刻抑制劑選自1，3-噻唑、苯駢三氮唑、1，2，4-1H-三唑、3-氨基-1H-1，2，4-三唑中的至少一種。
6.如權(quán)利要求1所述的顯示面板的金屬圖案制作方法，其特征在于，所述錐度調(diào)節(jié)劑選自異丙醇胺、N-乙基乙醇胺、二甘醇胺、二乙醇胺、三異丙醇胺、一乙醇胺中的至少一種。
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