[發(fā)明專利]表面性狀測(cè)定裝置的控制方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910574688.7
• 申請(qǐng)日: 2019-06-28
• 公開（公告）號(hào): CN110657739B
• 公開（公告）日: 2023-03-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 石岡鷹幸;片山實(shí)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社三豐
• 主分類號(hào): G01B5/28
• 分類號(hào): G01B5/28;G01B5/20;G01B21/30;G01B21/20
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

本發(fā)明提供一種表面性狀測(cè)定裝置的控制方法，使得在自動(dòng)設(shè)置時(shí)不使觸針的頂端產(chǎn)生位移。通過相對(duì)移動(dòng)機(jī)構(gòu)使測(cè)定器與測(cè)定對(duì)象面在Z軸方向上進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)以使測(cè)定器與測(cè)定對(duì)象面接近，探測(cè)觸針的頂端是否接觸到測(cè)定對(duì)象面，計(jì)算從觸針的頂端接觸到測(cè)定對(duì)象面起直到測(cè)定臂變?yōu)樗綖橹顾枰摹y(cè)定器與測(cè)定對(duì)象物的在Z軸方向上的相對(duì)位移量ΔZ0，并計(jì)算在測(cè)定器與測(cè)定對(duì)象物在Z軸方向上相對(duì)移動(dòng)了ΔZ0時(shí)觸針的頂端所產(chǎn)生的X軸方向的位移量ΔX0，在通過相對(duì)移動(dòng)機(jī)構(gòu)使測(cè)定器與測(cè)定對(duì)象物在Z軸方向上相對(duì)移動(dòng)ΔZ0來使測(cè)定臂成為水平的同時(shí)，通過相對(duì)移動(dòng)機(jī)構(gòu)使測(cè)定器與測(cè)定對(duì)象物在X軸方向上相對(duì)位移ΔX0。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種表面性狀測(cè)定裝置的控制方法。

背景技術(shù)

已知以下的表面性狀測(cè)定裝置(例如專利文獻(xiàn)1(日本特開2012-225742號(hào)公報(bào)))：通過觸針對(duì)測(cè)定對(duì)象物的表面進(jìn)行仿形掃描，由此對(duì)測(cè)定對(duì)象物的表面的性狀(輪廓、粗糙度、波紋度等)進(jìn)行測(cè)定。

圖1是示出表面性狀測(cè)定裝置100的圖。

表面性狀測(cè)定裝置100具備表面性狀測(cè)定機(jī)200和控制裝置300。

表面性狀測(cè)定機(jī)200具備基座210、工作臺(tái)220、相對(duì)移動(dòng)機(jī)構(gòu)230以及測(cè)定器270。

工作臺(tái)220配置于基座210上，在工作臺(tái)220的上表面載置測(cè)定對(duì)象物W。

相對(duì)移動(dòng)機(jī)構(gòu)230使測(cè)定器270與工作臺(tái)220進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)。作為相對(duì)移動(dòng)機(jī)構(gòu)230，具有Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)240、Z軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)250以及X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)260。Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)240設(shè)置于基座210與工作臺(tái)220之間，使工作臺(tái)220向水平方向的一個(gè)方向(Y軸方向)移動(dòng)。

在此，Y軸方向設(shè)為垂直于圖1的紙面的方向。

Z軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)250具備豎立設(shè)置于基座210的上表面的Z柱251以及以能夠在上下方向(Z軸方向)上進(jìn)行升降移動(dòng)的方式設(shè)置于Z柱251的Z滑塊252。雖然省略Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)240和Z軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)250的詳細(xì)的圖示，但是例如也可以由具有滾珠絲杠軸以及與該滾珠絲杠軸螺紋結(jié)合的螺母構(gòu)件的進(jìn)給絲杠機(jī)構(gòu)構(gòu)成。

此外，針對(duì)Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)240附設(shè)有用于檢測(cè)基座210與工作臺(tái)220的相對(duì)位移的Y方向位置檢測(cè)器241(參照?qǐng)D5)，針對(duì)Z軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)250附設(shè)有用于檢測(cè)Z滑塊252的升降量的Z方向位置檢測(cè)器253(參照?qǐng)D5)。

X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)260設(shè)置于Z滑塊252的內(nèi)部，用于使測(cè)定器270在X軸方向上移動(dòng)。此外，X軸方向在圖1中為紙面左右方向，即，是與工作臺(tái)220的移動(dòng)方向(Y軸方向)及Z滑塊252的移動(dòng)方向(Z軸方向)正交的方向。

圖2是示出X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)260和測(cè)定器270的結(jié)構(gòu)的圖。此外，在圖2中，作為一例，示出用于對(duì)輪廓進(jìn)行測(cè)定的測(cè)定器270。

在圖2中，示出了Z滑塊252的內(nèi)部和測(cè)定器270的外殼276的內(nèi)部。X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)260具備導(dǎo)軌261、X滑塊262、X方向位置檢測(cè)器263以及進(jìn)給機(jī)構(gòu)264。

導(dǎo)軌261沿著X方向固定地設(shè)置，以能夠在導(dǎo)軌261上滑動(dòng)的方式設(shè)置有X滑塊262。

X方向位置檢測(cè)器263對(duì)X滑塊262的X軸方向位置進(jìn)行檢測(cè)。

進(jìn)給機(jī)構(gòu)264具有進(jìn)給絲杠軸265、電動(dòng)機(jī)266以及動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)267。

進(jìn)給絲杠軸265與X滑塊262進(jìn)行螺紋結(jié)合。電動(dòng)機(jī)266的旋轉(zhuǎn)動(dòng)力經(jīng)由動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)267被傳遞至進(jìn)給絲杠軸265。X滑塊262通過進(jìn)給絲杠軸265的旋轉(zhuǎn)而沿著X軸方向移動(dòng)。

接著，對(duì)測(cè)定器270的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。