[發明專利]表面性狀測定裝置的控制方法

有效

• 申請號: 201910574688.7
• 申請日: 2019-06-28
• 公開（公告）號: CN110657739B
• 公開（公告）日: 2023-03-17
• 發明（設計）人: 石岡鷹幸;片山實
• 申請（專利權）人: 株式會社三豐
• 主分類號: G01B5/28
• 分類號: G01B5/28;G01B5/20;G01B21/30;G01B21/20
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種表面性狀測定裝置的控制方法，其特征在于，

所述表面性狀測定裝置具備：

測定器，其通過一邊與測定對象物的測定對象面接觸一邊對所述測定對象面進行仿形掃描，來測定所述測定對象面的表面性狀；以及

相對移動機構，其使所述測定器與所述測定對象物三維地進行相對移動，以使所述測定器沿著所述測定對象面進行仿形移動，

其中，所述測定器具備：

測定臂，其以旋轉軸為支點來以能夠進行圓弧運動的方式被支承；

觸針，其設置于所述測定臂的頂端；以及

位移檢測器，其對所述測定臂的由圓弧運動產生的位移進行檢測，

其中，將鉛直方向設為Z軸方向，將與Z軸方向正交的一個方向設為X軸方向，

在該表面性狀測定裝置的控制方法中，

通過所述相對移動機構使所述測定器與所述測定對象面在Z軸方向上進行相對移動以使所述測定器與所述測定對象面接近，

探測所述觸針的頂端是否接觸到所述測定對象面，

計算從所述觸針的頂端接觸到所述測定對象面起直到所述測定臂變為水平為止所需要的、所述測定器與所述測定對象物的在Z軸方向上的相對位移量ΔZ0，

計算在所述測定器與所述測定對象物在Z軸方向上相對移動了所述相對位移量ΔZ0時所述觸針的頂端所產生的X軸方向的位移量ΔX₀，

在通過所述相對移動機構使所述測定器與所述測定對象物在Z軸方向上相對移動所述相對位移量ΔZ0來使所述測定臂成為水平的同時，通過所述相對移動機構使所述測定器與所述測定對象物在X軸方向上相對位移所述位移量ΔX₀。

2.根據權利要求1所述的表面性狀測定裝置的控制方法，其特征在于，

在將與X軸平行且穿過所述旋轉軸的軸設為U軸、將與Z軸平行且穿過在所述測定臂處于水平時的所述觸針的頂端的軸設為W軸、將U軸與W軸的交點設為第一主點Q、將所述觸針的頂端設為第二主點D、將從所述第一主點Q到所述第二主點D的長度H設為頂端突出長度H、將從所述旋轉軸到所述第一主點Q的長度L設為臂長L、將所述第二主點D接觸到所述測定對象面時的所述第一主點Q的W坐標值設為Q_w0、且將所述第二主點D接觸到所述測定對象面時的所述第二主點D的W坐標值設為Dw0時，

所述相對位移量ΔZ0為Dw0+H，

通過下面的式子給出所述位移量ΔX₀，

(式4)

3.根據權利要求1或2所述的表面性狀測定裝置的控制方法，其特征在于，

在探測出所述觸針的頂端接觸到所述測定對象面的時間點，使所述測定器與所述測定對象面的相對移動暫時停止。

4.一種表面性狀測定裝置的控制方法，其特征在于，

所述表面性狀測定裝置具備：

測定器，其通過一邊與測定對象物的測定對象面接觸一邊對所述測定對象面進行仿形掃描，來測定所述測定對象面的表面性狀；以及

相對移動機構，其使所述測定器與所述測定對象物三維地進行相對移動，以使所述測定器沿著所述測定對象面進行仿形移動，

其中，所述測定器具備：

測定臂，其以旋轉軸為支點來以能夠進行圓弧運動的方式被支承；

觸針，其設置于所述測定臂的頂端；以及

位移檢測器，其對所述測定臂的由圓弧運動產生的位移進行檢測，

其中，將鉛直方向設為Z軸方向，將與Z軸方向正交的一個方向設為X軸方向，

在該表面性狀測定裝置的控制方法中，

通過所述相對移動機構使所述測定器與所述測定對象面在Z軸方向上進行相對移動以使所述測定器與所述測定對象面接近，

探測所述觸針的頂端是否接觸到所述測定對象面，

在所述觸針的頂端接觸到所述測定對象面之后，使所述測定器與所述測定對象面的在Z軸方向上的相對移動繼續進行規定時間，

計算在所述規定時間的期間內所述觸針的頂端所產生的X軸方向的位移量ΔXG，

一邊通過所述相對移動機構使所述測定器與所述測定對象物在Z軸方向上進行相對移動，一邊通過所述相對移動機構使所述測定器與所述測定對象物在X軸方向上相對位移所述位移量ΔXG。