[發(fā)明專(zhuān)利]調(diào)整集成電路的方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910572282.5 | 申請(qǐng)日: | 2019-06-28 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN110729234A | 公開(kāi)(公告)日: | 2020-01-24 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 歐纮誌;陳文豪 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L21/77 | 分類(lèi)號(hào): | H01L21/77;H01L27/02 |
| 代理公司: | 11006 北京律誠(chéng)同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人: | 徐金國(guó) |
| 地址: | 中國(guó)臺(tái)灣新竹市*** | 國(guó)省代碼: | 中國(guó)臺(tái)灣;71 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 電線 加寬 第一位置 電線布局 第二位置 集成電路 鄰近 | ||
1.一種調(diào)整集成電路的方法,其特征在于,包括以下步驟:
識(shí)別在一電線布局中一第一位置處的一第一電線,其中該電線布局中鄰近于該第一位置的一第二位置為一第一空位置;
加寬該第一位置處的該第一電線以變?yōu)橐患訉挼谝浑娋€;
關(guān)于一第一參數(shù),計(jì)算該加寬第一電線的一效能結(jié)果;以及
比較該加寬第一電線的該效能結(jié)果與一第一參數(shù)效能閾值。
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- 同類(lèi)專(zhuān)利
- 專(zhuān)利分類(lèi)
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專(zhuān)門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專(zhuān)門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專(zhuān)門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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