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[發(fā)明專(zhuān)利]調(diào)整集成電路的方法在審

專(zhuān)利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201910572282.5 申請(qǐng)日: 2019-06-28
公開(kāi)(公告)號(hào): CN110729234A 公開(kāi)(公告)日: 2020-01-24
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 歐纮誌;陳文豪 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
主分類(lèi)號(hào): H01L21/77 分類(lèi)號(hào): H01L21/77;H01L27/02
代理公司: 11006 北京律誠(chéng)同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人: 徐金國(guó)
地址: 中國(guó)臺(tái)灣新竹市*** 國(guó)省代碼: 中國(guó)臺(tái)灣;71
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 電線 加寬 第一位置 電線布局 第二位置 集成電路 鄰近
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種調(diào)整集成電路的方法,其特征在于,包括以下步驟:

識(shí)別在一電線布局中一第一位置處的一第一電線,其中該電線布局中鄰近于該第一位置的一第二位置為一第一空位置;

加寬該第一位置處的該第一電線以變?yōu)橐患訉挼谝浑娋€;

關(guān)于一第一參數(shù),計(jì)算該加寬第一電線的一效能結(jié)果;以及

比較該加寬第一電線的該效能結(jié)果與一第一參數(shù)效能閾值。

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