[發(fā)明專利]慢提拉裝置及硅片清洗機(jī)

在審

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• 申請日: 2019-06-28
• 公開（公告）號: CN110211904A
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黎彬
• 申請（專利權(quán)）人: 阜寧協(xié)鑫光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 閆曉欣

本發(fā)明涉及一種慢提拉裝置及硅片清洗機(jī)。慢提拉裝置包括機(jī)臺；平衡板，用以放置裝有硅片的花籃；平衡板具有相對的第一側(cè)邊和第二側(cè)邊；升降機(jī)構(gòu)，位于平衡板的下側(cè)；升降機(jī)構(gòu)可驅(qū)動平衡板升起并驅(qū)使平衡板的第一側(cè)邊高于平衡板的第二側(cè)邊；以及擋件，設(shè)于機(jī)臺上，并位于平衡板的第一側(cè)邊的上升路徑上的上方；擋件用以在平衡板的第一側(cè)邊上升至預(yù)設(shè)高度時，阻擋平衡板的第一側(cè)邊繼續(xù)上升，使得升降機(jī)構(gòu)可驅(qū)使平衡板的第二側(cè)邊上升。上述慢提拉裝置，通過升降機(jī)構(gòu)和擋件共同作用，即可實現(xiàn)花籃的放平操作。擋件的作用在于可在平衡板的第一側(cè)邊升高至預(yù)設(shè)高度時阻擋平衡板的第一側(cè)邊的上升即可，結(jié)構(gòu)簡單，即使得慢提拉裝置結(jié)構(gòu)簡單。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及硅片清洗領(lǐng)域，特別是涉及一種慢提拉裝置及硅片清洗機(jī)。

背景技術(shù)

一般地，硅料經(jīng)切割形成硅片后，硅片表面硅料碎屑或切割液等臟污，故需要通過硅片清洗機(jī)對切割后的硅片進(jìn)行清洗，然后進(jìn)行烘干處理。一般地，在通過硅片清洗機(jī)對硅片進(jìn)行清洗后，利用慢提拉裝置將裝有硅片的花籃提起進(jìn)行瀝水。

而為了降低花籃的瀝水時間，設(shè)置慢提拉結(jié)構(gòu)在將硅片的花籃提起時，還使得裝有硅片的花籃傾斜，及再將花籃重新放平。然而，傳統(tǒng)的方式是利用機(jī)械手將花籃提起，并向一側(cè)傾斜，且但通過機(jī)械手難以將花籃重新放平，以至需要另外設(shè)置可以將花籃放平的機(jī)構(gòu)，導(dǎo)致慢提拉裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，有必要提供一種能實現(xiàn)花籃傾斜和放平，且結(jié)構(gòu)簡單的慢提拉裝置。

一種慢提拉裝置，包括：

機(jī)臺；

平衡板，用以放置裝有硅片的花籃；所述平衡板具有相對的第一側(cè)邊和第二側(cè)邊；

升降機(jī)構(gòu)，位于所述平衡板的下側(cè)；所述升降機(jī)構(gòu)可驅(qū)動所述平衡板升起并驅(qū)使所述平衡板的第一側(cè)邊高于所述平衡板的第二側(cè)邊；以及

擋件，設(shè)于所述機(jī)臺上，并位于所述平衡板的第一側(cè)邊的上升的路徑上的上方；所述擋件用以在所述平衡板的第一側(cè)邊上升至預(yù)設(shè)高度時，阻擋所述平衡板的第一側(cè)邊繼續(xù)上升，并與所述升降機(jī)構(gòu)共同驅(qū)使所述平衡板的第二側(cè)邊上升。

上述慢提拉裝置，通過設(shè)于平衡板底部的升降機(jī)構(gòu)實現(xiàn)平衡板的傾斜，進(jìn)而實現(xiàn)花籃的傾斜。然后通過增設(shè)一個擋件，通過升降機(jī)構(gòu)和擋件共同作用，即可實現(xiàn)花籃的放平操作。擋件的作用在于可在平衡板的第一側(cè)邊升高至預(yù)設(shè)高度時阻擋平衡板的第一側(cè)邊的上升即可，結(jié)構(gòu)簡單，即使得慢提拉裝置結(jié)構(gòu)簡單。

在其中一個實施例中，所述升降機(jī)構(gòu)的頂端設(shè)有頂桿，所述頂桿沿平行于所述平衡板的第一側(cè)邊的方向延伸。

在其中一個實施例中，沿所述頂桿的延伸方向，所述頂桿的長度大于等于所述平衡板的寬度。

在其中一個實施例中，所述擋件的下表面設(shè)有緩沖墊。

在其中一個實施例中，所述擋件上設(shè)有一端開口的滑槽，所述滑槽的開口端位于所述擋件的下表面；所述平衡板的上表面設(shè)有可插入所述凹陷的凸起；所述凸起可在所述凹陷內(nèi)沿垂直于所述平衡板的第一側(cè)邊的方向移動。

在其中一個實施例中，所述平衡板下表面設(shè)有限位部，以限制所述升降機(jī)構(gòu)的頂端相對所述平衡板沿垂直于所述第一側(cè)邊的方向移動。

在其中一個實施例中，所述平衡板具有相對的第三側(cè)邊和第四側(cè)邊；所述升降機(jī)構(gòu)上升可將所述平衡板頂起并驅(qū)使所述平衡板的第三側(cè)邊高于所述平衡板的第四側(cè)邊。

在其中一個實施例中，所述升降機(jī)構(gòu)包括可沿豎直方向伸縮的氣缸。

在其中一個實施例中，所述升降機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、升降桿以及用以限制所述升降桿轉(zhuǎn)動的限位件；所述升降桿具有沿軸向延伸的圓孔；所述電機(jī)的輸出軸插設(shè)于所述升降桿的圓孔內(nèi)，并與所述升降桿螺紋連接。

本發(fā)明還提供一種硅片清洗機(jī)。