[發明專利]制備半導體及光伏用石英管的均勻加料連熔爐及其方法

有效

• 申請號: 201910547981.4
• 申請日: 2019-06-24
• 公開（公告）號: CN110171921B
• 公開（公告）日: 2023-10-13
• 發明（設計）人: 張堯;濮陽坤;陶明頓
• 申請（專利權）人: 連云港福東正佑照明電器有限公司
• 主分類號: C03B5/06
• 分類號: C03B5/06;C03B3/00;C03B20/00
• 代理公司: 連云港潤知專利代理事務所 32255
• 代理人: 劉喜蓮

本發明公開了一種制備半導體及光伏用石英管的均勻加料連熔爐，涉及石英管生產技術領域，包括爐體，爐體上設有大蓋，大蓋上設有排氣口，大蓋上轉動連接有小蓋，小蓋上偏心固定設有入料斗；小蓋連接有動力機構；在坩堝內設有吹氣管，在吹氣管的出氣端設有布氣器。通過入料斗的旋轉和氣體噴吹的雙重作用實現石英砂的均勻下料，制備的石英管無氣泡、氣線，提高石英管成型質量，提高產品合格率；本發明還公開了利用這種制備半導體及光伏用石英管的均勻加料連熔爐制備半導體及光伏用石英管的方法，本方法將石英砂經過物理、化學提純后再進行氯化處理，最終得到二氧化硅含量大于99.998%的高純度石英砂，保證了半導體及光伏用石英管的透光性。

技術領域

本發明涉及石英管生產技術領域，尤其是一種制備半導體及光伏用石英管的均勻加料連熔爐；本發明還涉及采用前述制備半導體及光伏用石英管的均勻加料連熔爐生產半導體及光伏用石英管的制備方法。

背景技術

石英玻璃管是用二氧化硅制造的特種工業技術玻璃，具有耐高溫、耐腐蝕、熱穩定性好、透光性能好、電絕緣性好等一系列的優良的物理化學性能，因此石英管被廣泛的應用于電光源、半導體、光通信、軍工、冶金、建材、化學、機械、電力、環保等各個領域。

半導體及光伏用石英管對管的質量要求較高，要求石英管管壁均勻度高，無氣泡氣線，無色線，而現有石英連熔拉管設備中，加料過程容易形成料堆結蓋，導致連熔爐石英砂原料分布不均勻，砂粒堆積過多容易使氣體被石英熔解包裹，形成氣線、氣泡，爐內石英液面壓力不均，石英料出爐成型受到影響，造成石英管偏壁、氣線過多。因此現有設備生產的半導體及光伏用石英管廢品率較高，成本高。

發明內容

本發明要解決的技術問題在于針對現有技術的不足，提供一種均勻加料，無氣泡、氣線，提高石英管成型質量，提高產品合格率的制備半導體及光伏用石英管的均勻加料連熔爐。

本發明所要解決的另一個技術問題是提供一種采用上述制備半導體及光伏用石英管的均勻加料連熔爐進行生產半導體及光伏用石英管的制備方法。

本發明要解決的技術問題是通過以下技術方案來實現的，本發明是一種制備半導體及光伏用石英管的均勻加料連熔爐，包括爐體，爐體上設有爐蓋，爐體內設有坩堝，坩堝外設有加熱裝置，坩堝底部設有料臺，料臺上設有成型出口，成型出口處設有與芯桿相接的成型器，其特點是，

所述爐蓋包括與爐體固定連接的大蓋，所述大蓋上設有排氣口，所述大蓋上轉動連接有小蓋，所述小蓋上偏心固定設有入料斗，所述入料斗的下端連接有下料管，所述下料管伸入坩堝內，在坩堝內的下料管的下部設有圍繞下料管周向均勻分布的至少兩個分料管；小蓋連接有驅動小蓋轉動的動力機構；

在坩堝內設有氣體噴吹組件，所述氣體噴吹組件包括供氣設備、供氣管和吹氣管，所述供氣設備的氣體出口與供氣管連接，所述供氣管的另一端通過豎向旋轉接頭與吹氣管轉動連接，所述豎向旋轉接頭以軸線與小蓋的軸線共線方式設置，所述吹氣管與小蓋固定連接，吹氣管的出氣端伸進坩堝內，在吹氣管的出氣端設有布氣器，所述布氣器設在若干分料管之間。

本發明要解決的技術問題還可以通過以下技術方案來進一步實現，以上所述的制備半導體及光伏用石英管的均勻加料連熔爐中：所述小蓋和大蓋之間通過軸承轉動連接。

本發明要解決的技術問題還可以通過以下技術方案來進一步實現，以上所述的制備半導體及光伏用石英管的均勻加料連熔爐中：所述吹氣管設在入料斗內，所述吹氣管以軸線與入料斗軸線共線的方式設置，所述布氣器設在若干分料管的中間且與分料管的出料口等高設置。

本發明要解決的技術問題還可以通過以下技術方案來進一步實現，以上所述的制備半導體及光伏用石英管的均勻加料連熔爐中：所述小蓋設有外齒圈，所述動力機構包括與外齒圈配合的齒輪，所述爐體上裝有與齒輪連接并驅動齒輪轉動的電動機。