[發明專利]濺射裝置

有效

• 申請號: 201910547442.0
• 申請日: 2019-06-24
• 公開（公告）號: CN110643956B
• 公開（公告）日: 2022-01-07
• 發明（設計）人: 武井純一;曾根浩;鈴木直行;居本伸二
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;劉芃茜

1.一種濺射裝置，其特征在于，包括：

收納基片的處理容器；和

縫隙板，其將所述處理容器內劃分為設置靶材的第一空間和設置所述基片的第二空間，

所述縫隙板包括：內側部件，其具有在板厚方向將該縫隙板貫通的開口部；和設置在所述內側部件的周圍的外側部件，

所述內側部件相對于所述外側部件是可拆裝的，通過更換不同的所述內側部件來改變所述開口部的形狀，

所述內側部件從內側向外側去依次具有第1錐形部、內側厚壁部、薄壁部和外側厚壁部，由所述內側厚壁部的外側面、所述薄壁部的上表面和所述外側厚壁部的內側面形成遍及所述內側部件的整周的第1凹部，

所述外側部件從內側向外側去依次具有凸部、第2錐形部和支承部，所述凸部形成在所述第2錐形部的前端側，向所述內側部件的所述第1凹部突出，

在所述凸部與所述第1凹部之間形成有第1間隙，由該第1間隙形成第1迷宮結構，

由所述外側部件的所述凸部和所述第2錐形部形成第2凹部，所述內側部件的所述外側厚壁部向所述第2凹部突出，在所述外側厚壁部與所述第2凹部之間形成有第2間隙，由該第2間隙形成第2迷宮結構。

2.如權利要求1所述的濺射裝置，其特征在于：

所述開口部具有大致矩形形狀，該大致矩形形狀的長邊比成膜時的所述基片的所述長邊方向的尺寸大，短邊比成膜時的所述基片的所述短邊方向的尺寸小。

3.如權利要求1或2所述的濺射裝置，其特征在于：

所述靶材相對于所述開口部設置在斜上方。

4.如權利要求3所述的濺射裝置，其特征在于：

具有在所述開口部的長邊側支承所述內側部件的壁部件。

5.如權利要求4所述的濺射裝置，其特征在于：

所述內側部件僅在所述開口部的長邊側固定于所述壁部件。

6.如權利要求1或2所述的濺射裝置，其特征在于：

所述第1錐形部的板厚從外周去向中心而變小，所述第1錐形部的中心側的角被施加了倒角加工。

7.如權利要求1或2所述的濺射裝置，其特征在于：

具有從所述內側部件的內部向所述基片供給氣體的第一氣體供給部。

8.如權利要求7所述的濺射裝置，其特征在于：

所述第一氣體供給部具有氣體排出孔，所述氣體排出孔形成于所述內側部件中的至少所述開口部的長度方向和寬度方向的一者中的至少任一側的部分。

9.如權利要求1或2所述的濺射裝置，其特征在于：

在所述開口部的長邊側具有壁部件，所述壁部件在其與所述內側部件之間形成迷宮結構的間隙并支承所述內側部件，

具有對所述間隙供給氣體的第二氣體供給部。

10.如權利要求1所述的濺射裝置，其特征在于：

具有第三氣體供給部，其對在所述內側部件與所述外側部件的連接部位形成的所述第1迷宮結構和所述第2迷宮結構的間隙供給氣體。