[發明專利]一種激光直接成像設備對準相機位置關系自動標定方法

在審

• 申請號: 201910534138.2
• 申請日: 2019-06-20
• 公開（公告）號: CN110308620A
• 公開（公告）日: 2019-10-08
• 發明（設計）人: 尤勇;嚴孝年
• 申請（專利權）人: 合肥芯碁微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 合肥天明專利事務所(普通合伙) 34115
• 代理人: 奚華保

本發明涉及一種激光直接成像設備對準相機位置關系自動標定方法，該方法首先在激光直接成像設備的基礎臺面（吸盤）上設置兩個圓形的MARK1和MARK2，并且使激光直接成像設備中的左側對準相機和右側對準相機分別可以移動到MARK1和MARK2的中心位置處，然后通過計算MARK1和MARK2在X方向上和Y方向上的間距，并分別采用左側對準相機和右側對準相機測量MARK1和MARK2的中心坐標，最后再根據計算出的間距和測量出的中心坐標值，準確測量出兩個對準相機之間的位置誤差。本發明對對準相機的安裝位置沒有限定，有效解決了兩個對準相機距離遠就無法快速標定位置關系的問題，具有方法簡單快速、準確度高等特點。

技術領域

本發明涉及印刷電路板圖形轉移技術領域，具體涉及一種激光直接成像設備對準相機位置關系自動標定方法。

背景技術

對于印刷電路板加工領域，尤其是高精度HDI板和封裝基板的制造，圖像轉移設備無疑是其中最核心的部分。目前，印刷電路板（PCB）圖像轉移設備有兩大類：傳統的投影式曝光設備和激光直接成像設備（LDI）。傳統的投影式曝光設備圖形已經印制在菲林底片上，通過紫外線照射菲林底片將圖形轉移到表面覆有感光干膜的PCB上，干膜曝光完成后經過化學溶液將未曝光部分的干膜溶解掉，剩下的干膜就是所要制作的圖形。而在激光直接成像設備中，激光束發出的紫外光將曝光圖形通過空間光調制器直接掃描成像在感光干膜上，再經過同樣的化學顯影。在激光直接成像設備中，激光束將曝光圖形通過空間光調制器直接掃描成像在感光干膜上，掃描成像的圖形需要準確定位在電路板上，這就需要使用到多個對準相機，并且多個對準相機之間的位置關系需要在系統中準確標定。由于對準相機機械安裝會有精度誤差，這就必須進行位置標定，準確測量相機的位置誤差。目前，測量對準相機位置關系誤差的方法必須多個相機能夠測量同一個MARK，這樣限制了相機的安裝距離，距離大無法測量同一個MARK，則無法標定。

發明內容

本發明的目的在于提供一種激光直接成像設備對準相機位置關系自動標定方法，該方法能夠解決現有技術中存在的不足，準確測量激光直接成像設備中的兩個對準相機之間的位置誤差。

為實現上述目的，本發明采用了以下技術方案：

一種激光直接成像設備對準相機位置關系自動標定方法，該方法包括以下步驟：

（1）建立激光直接成像設備的基礎臺面的直角坐標系。所述基礎臺面即指激光直接成像設備的吸盤。

（2）在基礎臺面上粘貼圓形MARK1，使激光直接成像設備中左側的對準相機可以移動到該MARK1的中心處；設MARK1中心的坐標為（X1，Y1）。

（3）在基礎臺面上粘貼圓形MARK2，使激光直接成像設備中右側的對準相機可以移動到該MARK2的中心處；設MARK2中心的坐標為（X2，Y2）。

（4）計算MARK1與MARK2在X方向上的間距D_X=X2－X1。

（5）計算MARK1與MARK2在Y方向上的間距D_Y=Y2－Y1。

（6）采用激光直接成像設備中左側的對準相機測量MARK1中心的坐標（X1′，Y1′）。

（7）采用激光直接成像設備中右側的對準相機測量MARK2中心的坐標（X2′，Y2′）。

（8）采用公式E_X= X2′－X1′－D_X計算激光直接成像設備中左側對準相機與右側對準相機在X方向上的位置關系誤差E_X。

（9）采用公式E_Y= Y2′－Y1′－D_Y計算激光直接成像設備中左側對準相機與右側對準相機在Y方向上的位置關系誤差E_Y。