[發明專利]基板處理設備

在審

• 申請號: 201910525909.1
• 申請日: 2019-06-18
• 公開（公告）號: CN112105151A
• 公開（公告）日: 2020-12-18
• 發明（設計）人: 陳安順
• 申請（專利權）人: 群翊工業股份有限公司
• 主分類號: H05K3/00
• 分類號: H05K3/00;B65G29/02;B65G49/05
• 代理公司: 北京律和信知識產權代理事務所(普通合伙) 11446
• 代理人: 劉興;冷文燕

本發明揭露一種基板處理設備，其包含：直送移載裝置及兩個基板處理裝置。直送移載裝置用以使多個固持架沿直送路徑移動，而使各個固持架由入料位置移動至出料位置。各個固持架用以固持基板。兩個基板處理裝置用以對多個基板分別進行不同的預定處理。各個基板處理裝置設置于直送路徑上，包含：多個固持架及回送移載裝置。回送移載裝置用以使位于出料位置的多個固持架，沿回送路徑移動至入料位置，回送路徑與直送路徑共同形成一循環路徑。基板處理裝置設置于循環路徑上。

技術領域

本發明涉及一種基板處理設備，特別是一種適用于電路板制成中的基板處理設備。

背景技術

現有一般常見的電路板處理設備，在對電路板進行噴涂、烘烤等處理時，大多是使電路板平躺于設備中。然而，使電路板平躺于設備中進行相關處理的方式，將使得電路板處理設備的整體體積龐大，且在電路板的尺寸較大的情況下，將存在有處理效率低的問題。

發明內容

本發明公開一種基板處理設備，主要用以改善現有電路板處理設備，使電路板平躺地設置于設備的方式，解決在實際應用中所存在的效率低的問題。

本發明實施例公開一種基板處理系統，其包含：至少一直送移載裝置，其用以承載多個固持架；直送移載裝置用以使多個固持架沿一直送路徑移動；各個固持架用以固持一基板，以使基板吊掛于空中；至少兩個回送移載裝置，兩個回送移載裝置鄰近于直送移載裝置設置，各個回送移載裝置用以承載多個固持架；各個回送移載裝置與直送移載裝置相鄰接的兩個位置分別定義為一入料位置及一出料位置，直送移載裝置用以使多個固持架沿直送路徑，由各個入料位置移動至相對應的出料位置；各個回送移載裝置用以使多個固持架由出料位置沿一回送路徑移動至入料位置；其中，回送路徑與直送路徑共同形成一循環路徑；至少兩個基板處理裝置，兩個循環路徑上分別設置有一個基板處理裝置，各個基板處理裝置用以對設置多個固持架上的多個基板進行預定處理。

優選地，直送移載裝置包含有至少一第一移載裝置，第一移載裝置包含一第一承載機構及一第一移動模塊，第一承載機構用以承載多個固持架，第一移動模塊用以使設置于第一承載機構上的多個固持架沿直送路徑移動；回送移載裝置包含：至少一第二移載裝置，其包含一第二承載機構及一第二移動模塊，第二承載機構用以承載多個固持架，第二移動模塊用以使設置于第二承載機構上的多個固持架沿一第一旁路路徑移動；一第一轉換裝置，其用以將設置于第一承載機構上的固持架及其所夾持的基板，移載至第二承載機構；至少一第三移載裝置，其包含一第三承載機構及一第三移動模塊，第三承載機構用以承載多個固持架，第三移動模塊用以使設置于第三承載機構上的多個固持架沿一第二旁路路徑移動；一第二轉換裝置，其用以將設置于第二承載機構上的固持架，移載至第三承載機構；至少一第四移載裝置，其包含一第四承載機構及一第四移動模塊，第四承載機構用以承載多個固持架，第四移動模塊用以使設置于第四承載機構上的多個固持架沿一第三旁路路徑移動；一第三轉換裝置，其用以將設置于第三承載機構上的固持架，移載至第四承載機構；一第四轉換裝置，其鄰近于第四承載機構及第一承載機構設置，第四轉換裝置用以將設置于第四承載機構上的固持架，移載至第一承載機構；其中，第一旁路路徑不同于第二旁路路徑，第二旁路路徑不同于第三旁路路徑，第一旁路路徑不同于第三旁路路徑，第一旁路路徑、第二旁路路徑及第三旁路路徑共同形成回送路徑。

優選地，其中一個基板處理裝置用以對設置于各個固持架上的基板進行一上漆作業，以使各個基板的至少一表面覆蓋有一漆料；另一個基板處理裝置用以對設置于各個固持架上的基板進行一烘烤作業，以使各個基板的表面的漆料固化。

優選地，基板處理系統還包含一清洗裝置，其設置于回送路徑上，回送移載裝置能使多個固持架通過清洗裝置，而清洗裝置用以對多個固持架進行一清洗作業。

優選地，第一轉換裝置、第二轉換裝置、第三轉換裝置及第四轉換裝置分別具有一固持組件及一旋轉機構，各個固持組件能固持固持架，且而各個旋轉機構能使固持組件所固持的固持架旋轉一預定角度。