[發(fā)明專利]一種晶圓夾具以及使用所述夾具的晶圓刻蝕方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910485035.1
• 申請日: 2019-06-04
• 公開（公告）號: CN110176428A
• 公開（公告）日: 2019-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉洪浩;高英哲;張文福
• 申請（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/306
• 代理公司: 北京市一法律師事務(wù)所 11654
• 代理人: 劉榮娟

1.一種晶圓夾具，其特征在于，包括：

載體，所述載體包括第一表面和第二表面；

至少兩組夾持臂，所述夾持臂連接至所述載體的第一表面并可沿所述第一表面運動，所述每組夾持臂都可獨立夾持晶圓；

升降裝置，所述升降裝置連接至所述第二表面，用于控制所述晶圓夾具移動；

驅(qū)動部件，所述驅(qū)動部件安裝在所述升降裝置上，可使所述載體繞所述驅(qū)動部件與所述第二表面連接處的軸線旋轉(zhuǎn)。

2.如權(quán)利要求1所述晶圓夾具，其特征在于，所述載體的第一表面設(shè)置有至少兩條溝槽，所述每組夾持臂對應(yīng)設(shè)置于一條所述溝槽內(nèi)，并可沿所述溝槽運動。

3.如權(quán)利要求2所述晶圓夾具，其特征在于，所述至少兩條溝槽平行設(shè)置。

4.如權(quán)利要求2所述晶圓夾具，其特征在于，所述溝槽為兩條，沿所述第一表面的中心對稱設(shè)置。

5.如權(quán)利要求1所述晶圓夾具，其特征在于，所述每組夾持臂包括至少兩個所述夾持臂。

6.如權(quán)利要求1所述晶圓夾具，其特征在于，所述每個夾持臂上包括至少五十個晶圓卡槽，用于夾持晶圓。

7.如權(quán)利要求1所述晶圓夾具，其特征在于，所述驅(qū)動部件為驅(qū)動部件為連桿驅(qū)動裝置。

8.如權(quán)利要求7所述晶圓夾具，其特征在于，所述連桿驅(qū)動裝置包括驅(qū)動氣缸、連桿以及滾軸，所述連桿第一端連接至所述驅(qū)動氣缸，第二端與所述滾軸第一端相連，所述滾軸第二端連接至所述第二表面。

9.一種晶圓刻蝕方法，其特征在于，包括：

將晶圓裝載于權(quán)利要求1-8中任意一項所述的晶圓夾具的所述夾持臂中；

將裝載有所述晶圓的晶圓夾具放入刻蝕容器，執(zhí)行刻蝕工藝；

在所述刻蝕工藝執(zhí)行至一半時，將裝載有所述晶圓的所述晶圓夾具旋轉(zhuǎn)一定角度；

繼續(xù)執(zhí)行所述刻蝕工藝直至完成。

10.如權(quán)利要求9所述晶圓刻蝕方法，其特征在于，所述一定角度為180度。