[發(fā)明專(zhuān)利]一種微馬達(dá)及內(nèi)嵌式角度測(cè)量裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910444857.5
• 申請(qǐng)日: 2019-05-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110044253A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王藝程;李小石;孫翔宇;陳余
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)工程物理研究院電子工程研究所
• 主分類(lèi)號(hào): G01B7/30
• 分類(lèi)號(hào): G01B7/30
• 代理公司: 北京高沃律師事務(wù)所 11569
• 代理人: 程華

1.一種用于微馬達(dá)的內(nèi)嵌式角度測(cè)量裝置，其特征在于，所述測(cè)量裝置包括：金屬上底座、金屬下底座、多個(gè)測(cè)量頂電極、多個(gè)測(cè)量底電極、多個(gè)屏蔽頂電極和多個(gè)屏蔽底電極；其中，

所述金屬上底座蓋合在所述金屬下底座的開(kāi)口部形成封閉腔體，微馬達(dá)位于所述腔體內(nèi)；

多個(gè)所述屏蔽頂電極處于一個(gè)與所述微馬達(dá)的定子同軸的虛擬圓環(huán)上，對(duì)應(yīng)每一所述屏蔽頂電極設(shè)置有一個(gè)所述屏蔽底電極；

在每一所述屏蔽底電極的正下方設(shè)置有一個(gè)所述測(cè)量頂電極，且所述屏蔽底電極與所述測(cè)量頂電極之間絕緣；

對(duì)應(yīng)每一所述測(cè)量頂電極設(shè)置有一個(gè)所述測(cè)量底電極，所述測(cè)量頂電極和所述測(cè)量底電極形成多個(gè)電容結(jié)構(gòu)，所述微馬達(dá)的轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)能夠帶動(dòng)各所述測(cè)量底電極運(yùn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述金屬上底座的下表面對(duì)應(yīng)每一所述屏蔽頂電極的區(qū)域設(shè)置有底硅，所述屏蔽頂電極固定在所述底硅的下表面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述屏蔽底電極與所述測(cè)量頂電極之間設(shè)置有第一絕緣層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述測(cè)量頂電極的下表面設(shè)置有第二絕緣層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述屏蔽底電極與所述屏蔽頂電極之間設(shè)置有鋯鈦酸鉛壓電陶瓷層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述測(cè)量頂電極為金屬電極。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述測(cè)量頂電極為金電極。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述測(cè)量底電極設(shè)置在所述微馬達(dá)的轉(zhuǎn)子底板上。

9.一種微馬達(dá)，其特征在于，所述微馬達(dá)包括權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的內(nèi)嵌式角度測(cè)量裝置。