[發(fā)明專利]一種多用途復(fù)合式等離子體鍍膜用偏壓電源在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910441985.4 | 申請(qǐng)日： | 2019-05-24 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN110224627A | 公開（公告）日： | 2019-09-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李民久;陳慶川;蒲世豪;熊濤;姜亞南;賀巖斌;黃雨;邵斌 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 核工業(yè)西南物理研究院;成都同創(chuàng)材料表面科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H02M9/06 | 分類號(hào)： | H02M9/06;H03K5/26;H03K7/10 |
| 代理公司： | 核工業(yè)專利中心 11007 | 代理人： | 劉昕宇 |
| 地址： | 610041 四川*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 負(fù)偏壓 可調(diào)節(jié) 等離子體鍍膜 單極性脈沖 雙極性脈沖 偏壓電源 直流疊加 復(fù)合式 占空比 電力電子技術(shù)領(lǐng)域 脈沖電壓幅度 直流電壓幅度 直流疊加脈沖 自動(dòng)控制技術(shù) 低壓大電流 正脈沖電壓 直流負(fù)偏壓 偏壓模式 輸出波形 非對(duì)稱 電源 輸出 | ||
1.一種多用途復(fù)合式等離子體鍍膜用偏壓電源，包括：AC三相電源(101)，三相工頻整流濾波電路模塊(102)、第一DC-DC1/DC2直流電源模塊(103)、第二DC-DC3直流電源模塊(104)、第三DC-DC4直流電源模塊(105)、第一半橋電路模塊(109)、第二半橋電路模塊(110)、單相H橋電路模塊(111)、橋臂串并聯(lián)轉(zhuǎn)換電路模塊(114)、電弧抑制電路模塊(113)、多路驅(qū)動(dòng)隔離電路模塊(106)、接觸器控制電路模塊(112)；
其特征在于：所述AC三相電源(101)輸出端連接到三相工頻整流濾波電路模塊(102)的輸入端，三相工頻整流濾波電路模塊(102)的輸出端分別連接到第一DC-DC1/DC2直流電源模塊(103)、第二DC-DC3直流電源模塊(104)、第三DC-DC4直流電源模塊(105)的輸入端；
所述第一DC-DC1/DC2直流電源模塊(103)的第一隔離直流電壓DC1輸出端連接到第一半橋電路模塊(109)，第一DC-DC1/DC2直流電源模塊(103)的第二隔離直流電壓DC2輸出端連接到第二半橋電路模塊(110)的輸入端；
所述第二DC-DC3直流電源模塊(104)的輸出端連接到單相H橋電路模塊(111)的第一輸入端；
所述第三DC-DC4直流電源模塊(105)的輸出端連接到單相H橋電路模塊(111)的第二輸入端；
所述橋臂串并聯(lián)轉(zhuǎn)換電路模塊(114)的一輸入端連接到第一半橋電路模塊(109)的輸出端、橋臂串并聯(lián)轉(zhuǎn)換電路模塊(114)的另一輸入端連接到第二半橋電路模塊(110)的輸出端，橋臂串并聯(lián)轉(zhuǎn)換電路模塊(114)的第三輸入端連接到單相H橋電路模塊(111)的輸出端，以實(shí)現(xiàn)第一半橋電路模塊(109)、第二半橋電路模塊(110)和單相H橋電路模塊(111)串聯(lián)或并聯(lián)連接方式，達(dá)到串聯(lián)時(shí)電源能輸出高電壓小電流或并聯(lián)時(shí)電源能輸出低電壓大電流的能力，滿足鍍膜工藝的需要；
所述橋臂串并聯(lián)轉(zhuǎn)換電路模塊(114)的輸出端連接到電弧抑制電路模塊(113)的輸入端，電弧抑制電路模塊(113)輸出端穿過電流傳感器(115)連接到負(fù)載(117)；
所述多路驅(qū)動(dòng)隔離電路模塊(106)的一輸出端連接到第一半橋電路模塊(109)的控制輸入端，多路驅(qū)動(dòng)隔離電路模塊(106)的一輸出端連接到第二半橋電路模塊(110)的控制輸入端，多路驅(qū)動(dòng)隔離電路模塊(106)的一輸出端連接到單相H橋電路模塊(111)的控制輸入端，以控制第一半橋電路模塊(109)、第二半橋電路模塊(110)和單相H橋電路模塊(111)的內(nèi)部開關(guān)管的開關(guān)頻率和開關(guān)占空比，最終控制電源輸出5種波形；
所述橋臂串并聯(lián)轉(zhuǎn)換電路模塊(114)由接觸器KM1、接觸器KM2、接觸器KM3、均流互感器TR5和均流互感器TR6構(gòu)成；
所述接觸器KM1和接觸器KM2分別各有四個(gè)隔離觸點(diǎn)，接觸器KM3有三個(gè)隔離觸點(diǎn)；
所述KM1的1腳和KM2的1腳與第一半橋電路模塊(109)的開關(guān)管Q1的源極相連接；
所述KM1的3腳、5腳和KM2的7腳與第一半橋電路模塊(109)的開關(guān)管Q2的源極相連接；
所述KM1的4腳和KM2的2腳與第二半橋電路模塊(110)的開關(guān)管Q4的源極相連接；
所述KM2的3腳和KM3的1腳與第二半橋電路模塊(110)的開關(guān)管Q3的源極相連接；
所述KM1的6腳與單相H橋電路模塊(111)的開關(guān)管Q6的源極相連接；
所述KM2的5腳和KM3的3腳與單相H橋電路模塊(111)的開關(guān)管Q5的源極相連接；
所述KM2的4腳和KM1的8腳與單相H橋電路模塊(111)的開關(guān)管Q7的源極相連接；
所述KM1的7腳和KM2的8腳相連接作為橋臂串并聯(lián)轉(zhuǎn)換電路模塊(114)的負(fù)向輸出端；
所述TR5的1腳連接到KM1的2腳，TR5的4腳連接到KM3的2腳，TR5的2腳和3腳連接到TR6的1腳；
所述TR6的4腳連接到KM3的4腳，TR6的2腳和3腳連接到KM3的5腳；
所述KM2的6腳和KM3的6腳相連接作為橋臂串并聯(lián)轉(zhuǎn)換電路模塊(114)的正向輸出端；
所述接觸器KM1和接觸器KM3斷開狀態(tài)時(shí)，接觸器KM2閉合，使第一半橋電路模塊、第二半橋電路模塊和單相H橋電路模塊的右橋臂工作于串聯(lián)模式；
所述接觸器KM1和接觸器KM3閉合狀態(tài)時(shí)，接觸器KM2斷開，使第一半橋電路模塊、第二半橋電路模塊和單相H橋電路模塊的右橋臂工作于并聯(lián)模式；
電弧抑制電路模塊(113)由兩只電感和四只快恢復(fù)二極管組成，四只快恢復(fù)二極管分別與電阻和電容并聯(lián)，L1的一端與D1的陽極相連接，L1的另一端與D2的陰極相連接，D1的陰極與D2的陽極相連接，L2的一端與D3的陰極相連接，L2的另一端與D4的陽極相連接，D3的陽極與D4的陰極相連接，D2的陰極與D3的陰極相連接，D1陽極為電弧抑制電路模塊(113)輸入端，D4陽極為電弧抑制電路模塊(113)輸出端。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于核工業(yè)西南物理研究院;成都同創(chuàng)材料表面科技有限公司，未經(jīng)核工業(yè)西南物理研究院;成都同創(chuàng)材料表面科技有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201910441985.4/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 負(fù)偏壓溫度不穩(wěn)定性的測試方法
- 半導(dǎo)體器件負(fù)偏置溫度不穩(wěn)定性的測試結(jié)構(gòu)及測試方法
- 高電壓發(fā)生器和產(chǎn)生高電壓的方法
- 用于氮化鎵GaN器件的電路系統(tǒng)和方法
- 一種偏壓調(diào)制方法、偏壓調(diào)制系統(tǒng)和等離子體處理設(shè)備
- 一種負(fù)升壓電路、半導(dǎo)體器件及電子裝置
- 基座偏壓調(diào)節(jié)裝置、半導(dǎo)體加工設(shè)備及薄膜制作方法
- 等離子體刻蝕設(shè)備及刻蝕方法
- 一種多用途復(fù)合式等離子體鍍膜用偏壓電源
- 一種多用途復(fù)合式等離子體鍍膜用偏壓電源
- 可調(diào)節(jié)托架及可調(diào)節(jié)托架組件
- 可調(diào)節(jié)組件及可調(diào)節(jié)裝飾系統(tǒng)
- 可調(diào)節(jié)組件及可調(diào)節(jié)裝飾系統(tǒng)
- 一種回彈儀檢定裝置
- 可調(diào)節(jié)燈桿及可調(diào)節(jié)吊燈
- 一種骨科康復(fù)用高適應(yīng)性康復(fù)支撐架
- 需求側(cè)可調(diào)節(jié)資源分時(shí)間尺度聚合參與需求響應(yīng)的方法
- 一種可調(diào)節(jié)易安拆的鋼支撐預(yù)應(yīng)力加卸裝置
- 一種中心滑環(huán)連接桿
- 一種電解鋁可調(diào)節(jié)負(fù)荷潛力分析方法及系統(tǒng)
