[發明專利]掩模板溫度控制裝置和掩模曝光裝置

有效

• 申請號: 201910409932.4
• 申請日: 2019-05-16
• 公開（公告）號: CN111948907B
• 公開（公告）日: 2022-01-28
• 發明（設計）人: 張明輝;周劍鋒;鄭鋒標;張帥
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種掩模板溫度控制裝置，其特征在于，包括：氣體溫控單元、氣體輸送單元和掩模存放單元；

所述氣體輸送單元用于向所述掩模存放單元輸送氣浴氣體，所述氣體溫控單元用于將所述氣體輸送單元傳輸至所述掩模存放單元的氣浴氣體的溫度變化范圍調節至預設溫度范圍；

其中，所述掩模存放單元包括版架主體和隔板，所述隔板固定在所述版架主體內，相鄰兩個所述隔板中間形成容納空間，所述容納空間用于放置掩模板；所述隔板為直板結構；

所述版架主體包括底面、頂面以及側面；側面為氣浴氣體吹入的面，氣浴氣體進入所述掩模存放單元后的流動方向平行于底面和頂面；

所述掩模存放單元只受到一個水平方向上的氣浴氣體；

所述氣體溫控單元包括熱交換器，所述熱交換器設置于所述氣體輸送單元的傳輸路徑中；

所述熱交換器用于將所述氣體輸送單元所傳輸的氣體的溫度穩定至第一溫度閾值范圍；

所述掩模 板溫度控制裝置，還包括溫度傳感器；所述溫度傳感器設置于所述氣體輸送單元中，且位于所述氣體溫控單元與所述氣體輸送單元的出氣口之間；

所述熱交換器為管殼式熱交換器；

所述管殼式熱交換器中流通有導熱流體，所述導熱流體的流向與所述氣體在所述氣體輸送單元中的傳輸方向相反。

2.根據權利要求1所述的掩模板溫度控制裝置，其特征在于，所述掩模存放單元還包括掩模支撐件；

每個所述隔板的承載面分別設置多個所述掩模支撐件；

所述掩模支撐件用于支撐放置于所述容納空間中的掩模板，以及用于固定所述隔板。

3.根據權利要求2所述的掩模板溫度控制裝置，其特征在于，所述掩模支撐件包括連接件和圓柱支撐體；所述版架主體包括輔助固定平臺；

所述連接件的第一端與所述輔助固定平臺固定連接，所述連接件的第二端與所述輔助固定平臺的臺面之間設置有固定間隙，所述固定間隙用于固定所述隔板；

所述圓柱支撐體的一端設置于所述連接件背離與其固定的輔助固定平臺的一側，所述圓柱支撐體的另一端用于支撐所述掩模板。

4.根據權利要求3所述的掩模板溫度控制裝置，其特征在于，所述隔板的邊側被所述固定間隙夾緊固定。

5.根據權利要求1所述的掩模板溫度控制裝置，其特征在于，所述預設溫度閾值范圍為22±0.05℃。

6.根據權利要求1所述的掩模板溫度控制裝置，其特征在于，還包括壓力流量調節單元，所述壓力流量調節單元設置于所述氣體輸送單元的進氣口處；

所述壓力流量調節單元用于將氣體的壓力調節至預設壓力閾值，且將氣體的流量調節至預設流量閾值。

7.根據權利要求6所述的掩模板溫度控制裝置，其特征在于：

所述預設壓力閾值的范圍為1.7Bar-5Bar；

所述預設流量閾值的范圍為200NL/min-500NL/min。

8.根據權利要求6所述的掩模板溫度控制裝置，其特征在于，所述壓力流量調節單元包括調壓閥和節流閥；

所述調壓閥用于調節氣體的壓力，所述節流閥用于調節氣體的流量。

9.根據權利要求1所述的掩模板溫度控制裝置，其特征在于，所述氣體輸送單元包括氣體傳輸管路和濾布；

所述氣體傳輸管路的進氣口為所述氣體輸送單元的進氣口，所述氣體傳輸管路的出氣口為所述氣體輸送單元的出氣口，所述氣體傳輸管路的出氣口與所述掩模存放單元連接，所述氣浴氣體的流動方向與所述隔板所在的平面平行；

所述濾布固定于所述氣體傳輸管路的出氣口。

10.根據權利要求9所述的掩模板溫度控制裝置，其特征在于，所述濾布的目數的取值范圍為300目-500目。