[發(fā)明專利]復(fù)合型錳氧化合物薄膜及其制備方法與應(yīng)用在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910408052.5 | 申請(qǐng)日: | 2019-05-15 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN110224118A | 公開(kāi)(公告)日: | 2019-09-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 俞兆喆;魏堃;程燕;楊道國(guó);徐華蕊;蔡苗;朱歸勝;顏東亮 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 桂林電子科技大學(xué) |
| 主分類號(hào): | H01M4/36 | 分類號(hào): | H01M4/36;H01M4/50;H01M4/505;H01M10/0525;H01M4/131;C23C14/08;C23C14/34;H01G11/30;H01G11/46;H01G11/86 |
| 代理公司: | 深圳盛德大業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44333 | 代理人: | 左光明 |
| 地址: | 541000 廣西*** | 國(guó)省代碼: | 廣西;45 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 錳氧化合物 薄膜 制備 靶材 密度貢獻(xiàn) 主體元素 共濺射 生長(zhǎng) 固體電解質(zhì)膜 結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性 薄膜化學(xué) 界面電阻 體積變化 鋰離子 脫出 沉積 嵌入 應(yīng)用 保證 | ||
1.一種復(fù)合型錳氧化合物薄膜的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:
將錳氧化合物靶材和能量密度貢獻(xiàn)主體元素靶材在惰性氣氛下進(jìn)行共濺射處理,在基體上生長(zhǎng)復(fù)合型錳氧化合物薄膜。
2.如權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:所述能量密度貢獻(xiàn)主體元素靶材包括硅、錫、鈦、釩、鋁、金、銀、銅、鉬、鈷中的至少一種單質(zhì)靶或合金靶或硅、錫、鈦、釩、鋁、金、銀、銅、鉬、鈷中的至少一種化合物靶;和/或
所述共濺射處理的濺射功率滿足:濺射所述錳氧化合物靶材功率與濺射能量密度貢獻(xiàn)主體元素靶材的功率比為4:1~1:4。
3.如權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:在所述共濺射處理過(guò)程中,所述基體的溫度控制為200℃-700℃;和/或
所述濺射氣氛為氮?dú)狻鍤狻睔庵械闹辽僖环N與氧氣的混合氣體氣氛。
4.如權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的制備方法,其特征在于:所述錳氧化合物靶材是按照如下方法制備:
將錳氧化合物于有機(jī)粘結(jié)劑按比例混合處理,再于40-60MPa/min的升壓速度下將壓力升到設(shè)計(jì)壓力進(jìn)行模壓處理,后按照10-30MPa/min的速度泄壓,得到素坯;將所述素坯先按照1-5℃/min的條件下升到600-800℃,保溫3-6h;再按照1-5℃/min的條件升至800-1200℃進(jìn)行燒結(jié)處理;
和/或
將錳氧化合物粉體鋪設(shè)在基板表面上,然后對(duì)所述錳氧化合物粉體進(jìn)行干壓處理;
和/或
所述錳氧化合物靶材為一氧化錳、二氧化錳、三氧化二錳、錳酸鋰、高錳酸鋰、富鋰錳酸鋰中的至少一種。
5.如權(quán)利要求4所述的制備方法,其特征在于:所述干壓處理為采用5噸單向壓力對(duì)所述錳氧化合物粉體進(jìn)行直接施壓處理。
6.如權(quán)利要求1-3、5任一項(xiàng)所述的制備方法,其特征在于:所述基體為化學(xué)電源負(fù)極集流體。
7.一種復(fù)合型錳氧化合物薄膜,其特征在于:所述復(fù)合型錳氧化合物薄膜是按照權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的制備方法生長(zhǎng)形成。
8.一種電極片,包括集流體,其特征在于:在所述集流體表面上還結(jié)合有復(fù)合型錳氧化合物薄膜,所述復(fù)合型錳氧化合物薄膜是按照權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的制備方法在所述集流體上生長(zhǎng)形成。
9.如權(quán)利要求8所述的電極片,其特征在于:所述復(fù)合型錳氧化合物薄膜的厚度為0.1-10μm。
10.如權(quán)利要求8或9所述的電極片在鋰離子電池或超級(jí)電容器中的應(yīng)用。
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