[發明專利]硬掩模用組合物

在審

• 申請號: 201910406716.4
• 申請日: 2019-05-16
• 公開（公告）號: CN110850683A
• 公開（公告）日: 2020-02-28
• 發明（設計）人: 金烔永;趙庸桓;崔漢永
• 申請（專利權）人: 東友精細化工有限公司
• 主分類號: G03F7/11
• 分類號: G03F7/11;C08G12/26
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 金鮮英;張敬強

1.一種硬掩模用組合物，其包含下述化學式1所表示的聚合物和溶劑，

化學式1

所述化學式1中，R₁為取代或非取代的碳原子數6～40的芳基、取代或非取代的碳原子數6～40的雜芳基、或者取代或非取代的碳原子數1～4的烷基，

R₂為氫、羥基、取代或非取代的碳原子數6～40的芳基、或者取代或非取代的碳原子數6～40的雜芳基，

R₃為取代或非取代的碳原子數6～40的芳基、或者取代或非取代的碳原子數6～40的雜芳基，

n為1～100的整數。

2.根據權利要求1所述的硬掩模用組合物，其特征在于，所述化學式1所表示的聚合物為通過下述化學式2所表示的第一單元體或其合成等價物與下述化學式3所表示的第二單元體或其合成等價物的縮合反應而制造的聚合物，

化學式2

所述化學式2中，R₁為取代或非取代的碳原子數6～40的芳基、取代或非取代的碳原子數6～40的雜芳基、取代或非取代的碳原子數1～4的烷基，

R₂為氫、羥基、取代或非取代的碳原子數6～40的芳基、取代或非取代的碳原子數6～40的雜芳基，

化學式3

所述化學式3中，R₃為取代或非取代的碳原子數6～40的芳基、取代或非取代的碳原子數6～40的雜芳基。

3.根據權利要求2所述的硬掩模用組合物，其特征在于，所述化學式2所表示的第一單元體為選自由下述化學式2-1～化學式2-4所表示的化合物組成的組中的任一種，

化學式2-1

化學式2-2

化學式2-3

化學式2-4

4.根據權利要求2所述的硬掩模用組合物，其特征在于，

所述化學式3所表示的第二單元體為選自由下述化學式3-1～化學式3-5所表示的化合物組成的組中的任一種，

化學式3-1

化學式3-2

化學式3-3

化學式3-4

化學式3-5

所述化學式3-4和3-5中，X為氮(N)、氧(O)或硫(S)。

5.根據權利要求1所述的硬掩模用組合物，其特征在于，所述R₃為選自下述化學式4-1～4-5所表示的化合物中的任一種，

化學式4-1

化學式4-2

化學式4-3

化學式4-4

化學式4-5

所述化學式4-4和4-5中，X為氮(N)、氧(O)或硫(S)。

6.根據權利要求1所述的硬掩模用組合物，其特征在于，所述硬掩模用組合物以組合物總重量為基準包含：

化學式1所表示的聚合物5～25重量％；以及

溶劑75～95重量％。

7.根據權利要求1所述的硬掩模用組合物，其特征在于，所述硬掩模用組合物進一步包含選自交聯劑、催化劑和表面活性劑中的一種以上。