[發(fā)明專利]一種用于激光在線測(cè)厚儀的檢驗(yàn)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910400971.8
• 申請(qǐng)日: 2019-05-15
• 公開（公告）號(hào): CN110672019B
• 公開（公告）日: 2021-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉超;呂杰;馬長(zhǎng)生;連軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州奧瑞克精密測(cè)量系統(tǒng)有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/06
• 分類號(hào): G01B11/06
• 代理公司: 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32231
• 代理人: 滕詣迪

本發(fā)明涉及激光測(cè)距技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種基于全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)分析量具的用于激光在線測(cè)厚儀的檢驗(yàn)方法，全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)分析量具包括安裝在激光在線測(cè)厚儀上的夾具組，所述夾具組為標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊夾具組，標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊夾具組上安裝不少于4張不同厚度的標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊，本發(fā)明能夠快速的按照測(cè)量系統(tǒng)分析評(píng)測(cè)標(biāo)準(zhǔn)和方法完成，保證計(jì)量精度檢驗(yàn)一致性和標(biāo)準(zhǔn)性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及激光測(cè)距技術(shù)領(lǐng)域，具體領(lǐng)域?yàn)橐环N用于激光在線測(cè)厚儀的檢驗(yàn)方法。

背景技術(shù)

激光在線測(cè)厚儀是一種無(wú)輻射危害、高精度的板/帶/箔材料生產(chǎn)線自動(dòng)厚度測(cè)量和質(zhì)量監(jiān)控儀器。近一二十年在世界范圍應(yīng)用發(fā)展迅速，已成為自動(dòng)厚度測(cè)量設(shè)備儀器的一個(gè)大門類。激光在線測(cè)厚技術(shù)建立在上世紀(jì)末興起的光電像素測(cè)量技術(shù)基礎(chǔ)上，實(shí)現(xiàn)材料厚度測(cè)微精度跨越式提升；同時(shí)無(wú)輻射危害的光學(xué)測(cè)量方法替代傳統(tǒng)工業(yè)中有危害射線類測(cè)厚儀，從而在環(huán)境安全和測(cè)量精度兩方面基礎(chǔ)性意義卓著。

目前激光在線測(cè)厚儀基本是采用橫向梁臂安裝上下兩只激光位移傳感器，傳感器檢測(cè)梁臂中間被測(cè)材料表面上下位移差得到厚度測(cè)量的方法。可以實(shí)現(xiàn)寬度量程(測(cè)量區(qū)域)內(nèi)對(duì)被測(cè)材料進(jìn)行掃描式和定點(diǎn)式測(cè)量，精度分辨可以達(dá)到0.1微米級(jí)。

激光在線測(cè)厚儀發(fā)展歷史不長(zhǎng)，目前國(guó)內(nèi)還沒有制定如射線測(cè)厚儀那樣國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，特別是在最基礎(chǔ)的儀器精度檢驗(yàn)中沒有一種無(wú)人為參與、全自動(dòng)運(yùn)行，并符合測(cè)量系統(tǒng)分析量具檢驗(yàn)分析的方法。由此帶來(lái)的技術(shù)缺陷和不足如下：

1、由于精度檢驗(yàn)過程繁雜且人為誤差因素影響，實(shí)際使用中往往采用某一項(xiàng)易于操作的檢驗(yàn)測(cè)試結(jié)果代替量具精度指標(biāo)使用，導(dǎo)致生產(chǎn)線正常使用時(shí)存在測(cè)量值偏離風(fēng)險(xiǎn)。：

例如，測(cè)量系統(tǒng)分析對(duì)量具精度定義理論上包含偏倚(Bias)、線性(Linearity)、穩(wěn)定性(Stability)、重復(fù)性(Repeatability)和再現(xiàn)性(Reproducibility)(后兩項(xiàng)亦稱GRR)等5項(xiàng)含義。由于沒有實(shí)現(xiàn)使用同一檢驗(yàn)裝置和同一方法同步完成上述5類精度的分析，籠統(tǒng)使用易于檢驗(yàn)的重復(fù)性測(cè)試精度指標(biāo)代替精度定義，使得激光在線測(cè)厚儀計(jì)量精度的科學(xué)評(píng)判依據(jù)和標(biāo)準(zhǔn)不能統(tǒng)一，測(cè)量精度缺少置信。

2、目前激光在線測(cè)厚儀檢驗(yàn)過程采用標(biāo)準(zhǔn)量塊+人工取樣測(cè)量的方式，存在不能保證同一手法取樣測(cè)量，不能同一測(cè)量線點(diǎn)取樣，不能同一時(shí)效取樣等非一致性檢驗(yàn)缺陷，且效率低下，檢驗(yàn)操作性差：

例如，如果按照測(cè)量系統(tǒng)分析定義要完成激光在線測(cè)厚儀Bias、Linearity、和GRR的量具分析,以往需要人工更換安裝不同標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊和手工測(cè)量相交叉的取樣方式。這個(gè)過程存在人為非系統(tǒng)性誤差風(fēng)險(xiǎn)，無(wú)法保證檢驗(yàn)的一致性條件。同時(shí)人工的檢驗(yàn)手法效率低，費(fèi)時(shí)費(fèi)力不能快速開展和完成，產(chǎn)線使用受到非常大限制和抵觸。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種用于激光在線測(cè)厚儀的全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)分析量具及其檢驗(yàn)方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中精度檢驗(yàn)過程繁雜、存在測(cè)量值偏離風(fēng)險(xiǎn)、且效率低下、檢驗(yàn)操作性差的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種用于激光在線測(cè)厚儀的全自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)分析量具，包括安裝在激光在線測(cè)厚儀上的夾具組，所述夾具組為標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊夾具組，標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊夾具組上安裝不少于4張不同厚度的標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊。

優(yōu)選的，所述的標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊夾具組設(shè)置有兩副，兩副標(biāo)準(zhǔn)厚度量塊夾具組分別安裝在激光在線測(cè)厚儀的量域兩端。

優(yōu)選的，所述的夾具組與激光在線測(cè)厚儀之間設(shè)置有微型水平尺可調(diào)裝置，通過微型水平尺可調(diào)裝置調(diào)節(jié)夾具組上標(biāo)準(zhǔn)量塊與測(cè)厚儀測(cè)量平面一致。

優(yōu)選的，所述的夾具組上還設(shè)置有自動(dòng)清吹裝置，通過自動(dòng)清吹裝置能夠在開始自動(dòng)檢驗(yàn)過程前自動(dòng)清潔標(biāo)準(zhǔn)量塊表面。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供如下技術(shù)方案：一種用于激光在線測(cè)厚儀的檢驗(yàn)方法，其步驟為：