[發(fā)明專利]晶圓安裝機構(gòu)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910375194.6
• 申請日: 2019-05-07
• 公開（公告）號: CN110010531A
• 公開（公告）日: 2019-07-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 向軍;馮霞霞;封浩
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇新智達新能源設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 南京中高專利代理有限公司 32333
• 代理人: 祝進

本發(fā)明提供了一種晶圓安裝機構(gòu)，包括；旋轉(zhuǎn)座，所述旋轉(zhuǎn)座轉(zhuǎn)動連接在基座上；兩個擺臂，兩個所述擺臂對稱設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)座左右兩側(cè)，且兩個所述擺臂能分別上下移動的連接在所述旋轉(zhuǎn)座上，兩個所述擺臂的自由端均具有用于抓取晶圓的夾口。通過旋轉(zhuǎn)座帶動兩個擺臂轉(zhuǎn)動，并且兩個擺臂能相對于旋轉(zhuǎn)座上下移動，以使一個擺臂可以抓取晶圓，另一個擺臂同時將其上的晶圓安裝到石墨盤上，從而提高通過擺臂拾取晶圓的效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種晶圓安裝機構(gòu)。

背景技術(shù)

晶圓一般都是儲存在擴晶環(huán)上，將擴晶環(huán)上的晶圓拾取到石墨盤上，目前有兩種方法，方法一是人工采用吸盤的方式，但是這種方法的效率不高，不適用于高速的生產(chǎn)使用，方法二是通過擺臂的形式自動抓取，通過擺臂的轉(zhuǎn)動從而將擴晶環(huán)上的晶圓拾取到石墨盤上，但是這種拾取方式只能先抓取在放置，一個工序只能完成一個晶圓的安裝，效率也得不到實質(zhì)的提高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種晶圓安裝機構(gòu)，以解決在通過擺臂拾取晶圓時效率不高的問題。

本發(fā)明的上述目的可采用下列技術(shù)方案來實現(xiàn)：

本發(fā)明提供一種晶圓安裝機構(gòu)，包括；

旋轉(zhuǎn)座，所述旋轉(zhuǎn)座轉(zhuǎn)動連接在固定的基座上；

兩個擺臂，兩個所述擺臂對稱設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)座的左右兩側(cè)，且兩個所述擺臂位于同一條水平方向的直線上，所述旋轉(zhuǎn)座能帶動兩個所述擺臂轉(zhuǎn)動；

且兩個所述擺臂能分別上下滑動的連接在所述旋轉(zhuǎn)座上，兩個所述擺臂的自由端均具有用于抓取晶圓的夾口。

進一步的，兩個所述擺臂分別連接在兩個連接座上，所述旋轉(zhuǎn)座的兩個側(cè)面均連接有一對沿豎直方向設(shè)置的第一導(dǎo)軌，各所述第一導(dǎo)軌上均滑動連接有第一滑塊，所述第一滑塊連接在相對應(yīng)的所述連接座上。

進一步的，所述基座的下端設(shè)有兩個支座，所述旋轉(zhuǎn)座位于兩個所述支座之間；

兩個所述支座上分別連接有能上下移動的半圓形上下轉(zhuǎn)環(huán)，兩個所述半圓形上下轉(zhuǎn)環(huán)分別環(huán)繞在所述旋轉(zhuǎn)座的左右兩側(cè)，各所述半圓形上下轉(zhuǎn)環(huán)均具有半圓形滑道；

兩個所述連接座上均連接有支撐塊，兩個所述支撐塊上均轉(zhuǎn)動連接有滾輪，兩個所述滾輪分別在相對應(yīng)的所述半圓形滑道內(nèi)滾動。

進一步的，兩個所述支座上分別設(shè)置有直線電機，所述直線電機的固定端連接在所述支座上，所述直線電機的運動端通過滑座連接在所述半圓形上下轉(zhuǎn)環(huán)上。

進一步的，所述支座上連接有沿豎直方向設(shè)置的兩個第二導(dǎo)軌，所述直線電機位于兩個所述第二導(dǎo)軌之間；

各所述第二導(dǎo)軌上均滑動連接有第二滑塊，各所述第二滑塊連接在相對應(yīng)的所述滑座上。

進一步的，所述半圓形滑道內(nèi)設(shè)有兩個半圓形耐磨板，兩個所述半圓形耐磨板上下設(shè)置形成所述半圓形滑道，所述滾輪滾動設(shè)置在兩個所述半圓形耐磨板之間。

進一步的，兩個所述半圓形上下轉(zhuǎn)環(huán)沿豎直方向間隔設(shè)置。

進一步的，所述基座的兩側(cè)分別連接有鏡頭筒，所述鏡頭筒的下端連接有環(huán)形燈。

進一步的，所述基座上安裝有驅(qū)動電機，所述驅(qū)動電機的轉(zhuǎn)軸豎直向下設(shè)置，所述旋轉(zhuǎn)座固定設(shè)置在所述驅(qū)動電機的轉(zhuǎn)軸上。

本發(fā)明的晶圓安裝機構(gòu)的特點及優(yōu)點是：通過旋轉(zhuǎn)座帶動兩個擺臂轉(zhuǎn)動，并且兩個擺臂能相對于旋轉(zhuǎn)座上下移動，以使一個擺臂可以抓取晶圓，另一個擺臂同時將其上的晶圓安裝到石墨盤上，從而提高通過擺臂拾取晶圓的效率。

附圖說明