[發明專利]速率監控裝置、蒸鍍設備及蒸鍍方法

有效

• 申請號: 201910356905.5
• 申請日: 2019-04-29
• 公開（公告）號: CN110257791B
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發明（設計）人: 陳海濤
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;C23C14/24
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 黃溪;劉芳

1.一種速率監控裝置，用于監控蒸鍍設備的蒸鍍速率，其特征在于，所述速率監控裝置包括擋板組件、膜厚檢測組件和多個晶振片，所述擋板組件包括本體、開設于所述本體上的第一開口和第二開口以及設置于所述本體上的用于封閉和暴露所述第二開口的第一擋板，所述本體遮擋所述多個晶振片，所述第一開口暴露一所述晶振片，所述第二開口暴露另一所述晶振片，所述膜厚檢測組件用于檢測所述第一開口暴露出的所述晶振片上所沉積蒸鍍材料層的膜厚，以確定所述蒸鍍速率；

所述速率監控裝置還包括連接所述膜厚檢測組件的第一控制器，所述第一控制器用于控制所述第一擋板暴露所述第二開口，并在所述膜厚檢測組件所檢測到所述第二開口暴露的晶振片的膜厚超出預設膜厚閾值時，封閉所述第二開口；或者

所述速率監控裝置包括第二控制器以及連接所述第二控制器的計時器，所述控制器用于從所述計時器獲取計時數據，并控制所述第一擋板以第一預設時長暴露所述第二開口后，封閉所述第二開口。

2.根據權利要求1所述的速率監控裝置，其特征在于，所述擋板組件還包括連接所述本體的第二擋板，所述第二擋板用于以第二預設時長暴露所述第一開口后，封閉所述第一開口。

3.根據權利要求2所述的速率監控裝置，其特征在于，所述第二擋板樞轉連接所述本體。

4.根據權利要求3所述的速率監控裝置，其特征在于，所述第二擋板的邊沿具有缺口，所述缺口面積大于所述第一開口的面積；所述缺口隨所述第二擋板移動并經過所述第一開口上方。

5.根據權利要求1所述的速率監控裝置，其特征在于，所述第二開口和所述第一開口之間間隔至少一個所述晶振片。

6.根據權利要求1所述的速率監控裝置，其特征在于，所述第一擋板樞轉連接所述本體。

7.一種蒸鍍設備，其特征在于，包括蒸鍍源和權利要求1-6任一項所述的速率監控裝置，所述速率監控裝置內第一開口和第二開口面對所述蒸鍍源。

8.一種蒸鍍方法，其特征在于，所述方法通過所述權利要求7所述的蒸鍍設備進行蒸鍍，所述方法包括：

啟動所述蒸鍍源進行蒸鍍；

通過所述膜厚檢測組件檢測所述第一開口暴露出的所述晶振片上所沉積蒸鍍材料層的膜厚，以確定所述蒸鍍速率；

通過所述第一擋板暴露出所述第二開口，以使得所述第二開口所暴露出的另一所述晶振片進行預沉積；

在另一所述晶振片預沉積膜厚滿足預設預沉積標準時，通過所述第一擋板封閉所述第二開口。