[發明專利]激光槍鏡頭透過率測試裝置及測試方法

在審

• 申請號: 201910350038.4
• 申請日: 2019-04-28
• 公開（公告）號: CN109916603A
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發明（設計）人: 張立;雍翔;張宇;王燦;張迪;王小進;胡成龍
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;劉偉

本發明提供了一種鏡頭透過率測試裝置及測試方法，所述激光槍鏡頭透過率測試裝置包括：光源組件，用于產生模擬激光槍激光的模擬光束；視場光闌，設置于激光槍鏡頭一側，用于使模擬光束的光斑形狀形成為預定形狀，預定形狀為激光槍鏡頭上的光束標記形狀；信號采集組件，設置于激光槍鏡頭的另一側，用于采集經過激光槍鏡頭的光束標記區域各坐標點位的光信號，并將所采集的光信號轉換為電信號；以及，處理器，與信號采集組件連接，用于將電信號處理為圖像信息。本發明的激光槍鏡頭透過率測試裝置及測試方法，可以對激光槍鏡頭上的激光波束標記區域進行透過率測試，對此區域的透過率進行量化判斷，保證激光輸出透過率的準確性。

技術領域

本發明涉及一種顯示技術領域，尤其涉及一種準分子激光退火設備的激光槍鏡頭透過率測試裝置及測試方法。

背景技術

低溫多晶硅(Low Temperature Poly-Silicon，簡稱LTPS)因其較高的電子遷移率和穩定性，而被廣泛用于液晶顯示技術(Liquid Crystal Display)和有機發光顯示技術(Organic Light-Emitting Diode，簡稱OLED)。目前，通過準分子激光退火工藝(ELA)，在相對較低的溫度下，實現非晶硅到多晶硅的轉變。通過準分子激光對非晶硅(AmorphousSilicon)進行照射，可以實現向Poly-Si(多晶硅)的轉變。

但ELA準分子激光退火設備在使用過程中，隨著Gaslife time(準分子激光氣體壽命)的不同，ELA準分子激光退火設備的激光槍鏡頭(Laser Tube Window)上的激光波束標記(Beam Mark)嚴重程度會有所不同。通常到達既定的Gaslife(準分子激光氣體壽命)時，激光槍鏡頭上的激光波束標記(Beam Mark)已經較為明顯，此時激光槍鏡頭的透過率已經大打折扣，若繼續使用，會影響激光輸出的質量(Laser Performance)，從而影響產品質量。因此，需要對ELA準分子激光退火設備的激光槍鏡頭進行清潔和更換，清潔完成需要進行透過率測試。

目前激光槍鏡頭主要是通過人工方式進行清潔，衡量清潔是否達標的重要指標主要為：①清除鏡頭表面激光波束標記，在強光照射下無可見異物(Particle)；②通過測試鏡頭透過率，判斷鏡頭是否達標，然而，目前的激光槍鏡頭透過率測試裝置主要通過人為調解坐標對激光槍鏡頭上的不同點位進行測試，測試隨機性大，測試點位數量有限，測試周期較長，測試結果受測試位置以及人為影響較大。

發明內容

本發明的主要目的在于提供一種鏡頭透過率測試裝置及測試方法，可以對激光槍鏡頭上的激光波束標記區域進行透過率測試，對此區域的透過率進行量化判斷，保證激光輸出透過率的準確性。

本發明所提供的技術方案如下：

一方面，本發明實施例提供一種激光槍鏡頭透過率測試裝置，包括：

光源組件，用于產生模擬激光槍激光的模擬光束；

視場光闌，設置于所述光源組件的出光側，并設置于激光槍鏡頭一側，用于使所述模擬光束的光斑形狀形成為預定形狀，所述預定形狀為激光槍鏡頭上的光束標記形狀；

信號采集組件，設置于激光槍鏡頭的另一側，用于采集經過所述激光槍鏡頭的光束標記區域各坐標點位的光信號，并將所采集的光信號轉換為電信號；

以及，處理器，與所述信號采集組件連接，用于將所述電信號處理為圖像信息。

進一步的，所述光源組件包括：

矩陣式光源，包括呈矩陣排列的多個光源元件，用于產生與所述激光槍激光相同波長的激光光束；

聚焦元件，設置于所述矩陣式光源的出光側，用于將所述矩陣式光源出射的激光光束進行聚焦；

孔徑光闌，設置于所述聚焦元件的出光側，用于將所述聚焦部件出射的激光光束進行攔光，以使得激光光束由預設焦點區域出射；