[發明專利]一種錫鎳焊料IMC層金相腐蝕劑及其金相組織顯示方法在審
| 申請號: | 201910343621.2 | 申請日: | 2019-04-26 |
| 公開(公告)號: | CN109916905A | 公開(公告)日: | 2019-06-21 |
| 發明(設計)人: | 鄭明輝;張健健;郭玲;楊思 | 申請(專利權)人: | 紫光宏茂微電子(上海)有限公司 |
| 主分類號: | G01N21/84 | 分類號: | G01N21/84;G01N1/28;G01N1/32;G01N1/34 |
| 代理公司: | 上海市嘉華律師事務所 31285 | 代理人: | 黃琮;傅云 |
| 地址: | 201700 上海市*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 金相腐蝕劑 焊料 金相組織顯示 錫鎳 質量百分比 烘干 沖洗 形貌 腐蝕 機械拋光 機械研磨 顯微設備 顯微組織 研磨 拋光 乙醇 鹽酸 配制 清晰 展示 | ||
本發明實施例公開了一種錫鎳焊料IMC層金相腐蝕劑及其金相組織顯示方法。其中,金相腐蝕劑由質量百分比為36%~38%的鹽酸和質量百分比大于95%的乙醇按照體積比例為1:9配制而成。金相組織顯示方法,包括以下步驟:對試樣進行機械研磨;對已研磨的試樣進行機械拋光;利用該種金相腐蝕劑對已拋光的試樣進行金相腐蝕;將已金相腐蝕的試樣進行沖洗;對沖洗干凈的試樣進行烘干;利用顯微設備顯示已烘干的試樣的IMC金相顯微組織界面,可以清晰地展示錫鎳焊料IMC層的形貌。
技術領域
本發明涉及錫鎳焊料IMC層金相腐蝕劑及金相組織顯示方法,屬于錫鎳焊料IMC層金相組織觀察試驗技術領域。
背景技術
金屬材料的內部組織結構與硬度、強度、延展性等材料性能有著直接和密切的聯系,金相觀察是研究金屬材料內部組織結構最為直接有效的方法。金相是指金屬或合金的化學成分以及各種成份金屬或合金內部的物理狀態和化學狀態。采用金相顯微顯示方法可對不同金屬或合金層界線和厚度進行金相顯微組織觀測。
要對錫鎳焊料IMC(Intermetallic compound,界面合金共化物)層金相顯微組織進行觀測首先要采用化學浸蝕法,即采用合適的金相腐蝕劑使分層間界線顯示出來,然后用光學或電子顯微鏡量測IMC層的厚度。
目前,行業通過制備微切片的方法來觀察IMC的形貌及厚度,但該種方法得到的IMC金相顯微組織界面模糊不清,可參見圖1,容易導致對IMC形貌及厚度的誤判。
發明內容
本發明的目的在于提供一種錫鎳焊料IMC層金相腐蝕劑及其金相組織顯示方法,可以清晰地展示錫鎳焊料IMC層的形貌。
為了實現以上目的,本發明在一方面提供了一種錫鎳焊料IMC層金相腐蝕劑,所述金相腐蝕劑由質量百分比為36%~38%的鹽酸和質量百分比大于95%的乙醇按照體積比例為1:9配制而成。
本發明在另一方面提供了一種錫鎳焊料IMC層金相組織顯示方法,包括以下步驟:
對試樣進行機械研磨;
對已研磨的試樣進行機械拋光;
利用上述金相腐蝕劑對已拋光的試樣進行金相腐蝕;
將已金相腐蝕的試樣進行沖洗;
對沖洗干凈的試樣進行烘干;
利用顯微設備顯示已烘干的試樣的IMC金相顯微組織界面。
在一可行的方案中,上述方法在對已拋光的試樣進行金相腐蝕的步驟中,具體包括:
將試樣浸入所述金相腐蝕劑中腐蝕45s~60s。
在一可行的方案中,上述方法在將已金相腐蝕的試樣進行沖洗的步驟中,具體包括:
對試樣用流動水沖洗5s~10s。
在一可行的方案中,上述方法在對沖洗干凈的試樣進行烘干的步驟中,具體包括:
將試樣在烘烤溫度為50℃的條件下,烘烤3min~5min。
本發明提供的金相腐蝕劑能有效地對錫鎳焊料進行腐蝕,并配合清晰地顯示IMC層。本發明提供的金相組織顯示方法,可清晰地顯示出錫鎳焊料的IMC層。
附圖說明
為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案,下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作一簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖是本發明的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動性的前提下,還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
圖1為通過現有技術中的制備微切片的方法得到的錫鎳焊料合金層的金相組織顯示圖;
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