[發明專利]一種激光干涉裝置

在審

• 申請號: 201910340111.X
• 申請日: 2019-04-25
• 公開（公告）號: CN109916296A
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發明（設計）人: 張白;孔德超;張家坤;鄭忍
• 申請（專利權）人: 北方民族大學
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02;G01B11/02
• 代理公司: 北京市領專知識產權代理有限公司 11590
• 代理人: 林輝輪;張玲

1.一種激光干涉裝置，其特征在于，包括：

激光源，用于發射激光束一，且激光束一入射至分光鏡；

所述分光鏡，用于將所述激光束一分為激光束二與激光束三；

三角反射鏡組一，用于接收所述激光束二，并將激光束二反射至分光鏡；

可隨被測物體同步移動的移動反射鏡，包括至少兩個三角反射鏡組二，所述至少兩個三角反射鏡組二沿被測物體的移動方向的垂直方向依次分布；

靜止反射鏡，包括至少一個三角反射鏡組三，所述至少一個三角反射鏡組三沿被測物體的移動方向的垂直方向依次分布；

每個三角反射鏡組三與兩個三角反射鏡組二對應，所述三角反射鏡組三用于接收三角反射鏡組二反射的激光束三，并使得激光束三入射至下一個三角反射鏡組二；

所述三角反射鏡組二，用于接收所述激光束三，并使得激光束三反射至三角反射鏡組三或分光鏡；

經三角反射鏡組一反射的激光束二與經三角反射鏡組二反射的激光束三分別入射至分光鏡，形成干涉光束，所述干涉光束入射至光電探測器；

處理系統，用于根據光電探測器上的信號變化，計算出被測物體的位移變化值。

2.根據權利要求1所述的激光干涉裝置，其特征在于，所述三角反射鏡組一包括固定反射鏡一與固定反射鏡二，所述固定反射鏡一與固定反射鏡二呈90°夾角相接，所述固定反射鏡一將激光束二反射至固定反射鏡二，固定反射鏡二使得激光束二反射至分光鏡；所述三角反射鏡組二包括移動反射鏡一與移動反射鏡二，所述三角反射鏡組三包括固定反射鏡三與固定反射鏡四；所述移動反射鏡一與移動反射鏡二呈90°夾角相接，所述固定反射鏡三與固定反射鏡四呈90°夾角相接；所述移動反射鏡一，用于接收經分光鏡分光后的激光束三，并將激光束三反射至固定反射鏡三，或接收固定反射鏡四反射的激光束三；所述移動反射鏡二，用于接收移動反射鏡一反射的激光束三，并使得激光束三反射至下一個三角反射鏡組三的固定反射鏡三，或反射至分光鏡。

3.根據權利要求1所述的激光干涉裝置，其特征在于，所述分光鏡將激光束二分為激光束四與激光束五，所述分光鏡將激光束三分為激光束六與激光束七，所述干涉光束由分光鏡中透射出的激光束四與分光鏡反射出的激光束六組成。

4.根據權利要求1所述的激光干涉裝置，其特征在于，所述分光鏡將激光束二分為激光束四與激光束五，所述分光鏡將激光束三分為激光束六與激光束七，所述干涉光束由分光鏡中反射出的激光束五與分光鏡透射出的激光束七組成。

5.根據權利要求1所述的激光干涉裝置，其特征在于，還包括用于激光干涉光路調試并協助所述移動反射鏡定位的定位件。

6.根據權利要求5所述的激光干涉裝置，其特征在于，所述定位件包括定位鏡一與定位鏡二呈90°夾角，所述定位鏡一，用于接收經分光鏡分光后的激光束三，并使得激光束三入射至定位鏡二；所述定位鏡二，用于將激光束三反射至分光鏡。

7.根據權利要求6所述的激光干涉裝置，其特征在于，所述定位件與移動反射鏡設置有相吸引的磁性件。

8.根據權利要求5所述的激光干涉裝置，其特征在于，還包括殼體，激光源、固定反射鏡一、分光鏡、靜止反射鏡和光電探測器均固定設置于殼體內，組成一個激光頭。

9.根據權利要求1所述的激光干涉裝置，其特征在于，所述三角反射鏡組一接收所述激光束一經分光鏡反射后得到的激光束二；所述三角反射鏡組二接收所述激光束一經分光鏡透射后得到的激光束三。

10.根據權利要求1所述的激光干涉裝置，其特征在于，所述三角反射鏡組一接收所述激光束一經分光鏡透射后得到的激光束二；所述三角反射鏡組二接收所述激光束一經分光鏡反射后得到的激光束三。