[發(fā)明專利]一種超導(dǎo)腔表面化學(xué)緩沖拋光全自動(dòng)酸液配制設(shè)備和方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910333491.4
• 申請(qǐng)日: 2019-04-24
• 公開（公告）號(hào): CN110124545A
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 游志明;何源;郭浩;熊平然;李璐;張生虎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院近代物理研究所
• 主分類號(hào): B01F3/08
• 分類號(hào): B01F3/08;B01F15/00;B01F15/02;B01F15/04;G01F1/00;G01F23/00;G01N33/00
• 代理公司: 北京紀(jì)凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11245
• 代理人: 孫楠

1.一種超導(dǎo)腔表面化學(xué)緩沖拋光全自動(dòng)酸液配制設(shè)備，其特征在于：其包括混酸箱、酸液回路控制機(jī)構(gòu)和計(jì)算機(jī)控制顯示系統(tǒng)；

所述混酸箱頂部設(shè)置有第一混酸進(jìn)口和第二混酸進(jìn)口，

所述第一混酸進(jìn)口與第一酸液配制管路相連，所述第一酸液配制管路另一端與一個(gè)以上并聯(lián)設(shè)置的酸液抽取管路相連，各所述酸液抽取管路另一端與裝有不同酸液的原酸桶相連；

所述第二混酸進(jìn)口通過第二酸液配制管路與混酸輸送管路相連；

所述混酸箱下部一側(cè)設(shè)置有出液口，所述出液口通過出液管路與混酸輸送管路相連；

所述混酸輸送管路另一端與整腔化學(xué)緩沖拋光設(shè)備或零部件化學(xué)緩沖拋光設(shè)備相連；

所述酸液回路控制機(jī)構(gòu)設(shè)置在各管路上，在所述計(jì)算機(jī)控制顯示系統(tǒng)的控制下，對(duì)各管路中的酸液進(jìn)行控制。

2.如權(quán)利要求1所述的一種超導(dǎo)腔表面化學(xué)緩沖拋光全自動(dòng)酸液配制設(shè)備，其特征在于：所述酸液回路控制機(jī)構(gòu)包括進(jìn)酸閥控機(jī)構(gòu)和混合酸液閥控機(jī)構(gòu)；

所述進(jìn)酸閥控機(jī)構(gòu)設(shè)置在各所述酸液抽取管路上，用于對(duì)各所述酸液抽取管路上的不同酸液進(jìn)行抽取和控制；

所述混合酸液閥控機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述第一、第二酸液配制管路、出液管路以及混酸輸送管路上，用于對(duì)混合酸液進(jìn)行配制或輸送；

所述進(jìn)酸閥控機(jī)構(gòu)和混合酸液閥控機(jī)構(gòu)分別與所述計(jì)算機(jī)控制顯示系統(tǒng)相連，由所述計(jì)算機(jī)控制顯示系統(tǒng)控制。

3.如權(quán)利要求2所述的一種超導(dǎo)腔表面化學(xué)緩沖拋光全自動(dòng)酸液配制設(shè)備，其特征在于：所述進(jìn)酸閥控機(jī)構(gòu)包括氣動(dòng)隔膜泵、第一隔斷閥、緩沖槽、流量計(jì)和第二隔斷閥；

所述氣動(dòng)隔膜泵用于將所述原酸桶內(nèi)的酸液抽取到所述緩沖槽內(nèi)；

所述緩沖槽的不同液位高度設(shè)置有多個(gè)所述液位計(jì)，各所述液位計(jì)用于實(shí)時(shí)檢測(cè)所述緩沖槽內(nèi)的液位信息，并發(fā)送到所述計(jì)算機(jī)控制顯示系統(tǒng)；

所述流量計(jì)用于對(duì)所述緩沖槽流出的酸液流量進(jìn)行檢測(cè)，并發(fā)送到所述計(jì)算機(jī)控制顯示系統(tǒng)；

所述第一隔斷閥和第二隔斷閥用于當(dāng)酸液達(dá)到所需配制液量后關(guān)閉相應(yīng)的酸液抽取管路。

4.如權(quán)利要求3所述的一種超導(dǎo)腔表面化學(xué)緩沖拋光全自動(dòng)酸液配制設(shè)備，其特征在于：所述計(jì)算機(jī)控制顯示系統(tǒng)內(nèi)設(shè)置有酸液自動(dòng)配制模塊，所述酸液自動(dòng)配制模塊包括參數(shù)設(shè)置模塊、酸液抽取模塊、酸液計(jì)量模塊、酸液攪拌模塊、酸液輸送模塊、狀態(tài)監(jiān)測(cè)模塊和聲光報(bào)警模塊；

所述參數(shù)設(shè)置模塊用于根據(jù)對(duì)所需配制混合酸液的各類酸液容量進(jìn)行參數(shù)輸入；

所述酸液抽取模塊用于控制相應(yīng)酸液抽取管路上的進(jìn)酸閥控機(jī)構(gòu)，以保持所述緩沖槽液位高于低液位；

所述酸液計(jì)量模塊用于讀取所述流量計(jì)的信號(hào)，判斷各所述緩沖槽輸出的酸液容量是否與酸液配方的預(yù)設(shè)容量匹配，當(dāng)達(dá)到預(yù)設(shè)容量時(shí)，關(guān)閉相應(yīng)酸液抽取管路上的氣動(dòng)隔膜泵和隔斷閥停止抽酸，當(dāng)所有酸液均達(dá)到預(yù)設(shè)容量值時(shí)，關(guān)閉所述進(jìn)酸閥；

所述酸液攪拌模塊用于對(duì)混合酸液閥控機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制實(shí)現(xiàn)對(duì)混合酸液的混合攪拌，當(dāng)達(dá)到設(shè)定的攪拌時(shí)間參數(shù)時(shí)，停止攪拌；

所述酸液輸送模塊用于對(duì)混合酸液輸送閥控機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，當(dāng)達(dá)到所需混酸容量時(shí)，停止混合酸液輸送；

所述狀態(tài)監(jiān)測(cè)模塊用于對(duì)設(shè)備狀態(tài)、危險(xiǎn)氣、液體泄漏進(jìn)行監(jiān)測(cè)，當(dāng)設(shè)備故障或異常危險(xiǎn)氣體達(dá)到閾值或液體泄漏時(shí)發(fā)送報(bào)警信號(hào)到所述聲光報(bào)警模塊進(jìn)行報(bào)警。

5.如權(quán)利要求2所述的一種超導(dǎo)腔表面化學(xué)緩沖拋光全自動(dòng)酸液配制設(shè)備，其特征在于：所述混合酸液閥控機(jī)構(gòu)包括進(jìn)酸閥、混酸閥、出液閥、輸送泵和混合酸液輸送閥；

所述進(jìn)酸閥設(shè)置在所述第一酸液配制管路上，用于對(duì)進(jìn)入所述混酸箱的酸液進(jìn)行控制；

所述混酸閥設(shè)置在所述第二酸液配制管路上，所述出液閥和輸送泵設(shè)置在所述出液管路上，所述混合酸液輸送閥設(shè)置在所述混合酸液輸送管路上，所述混酸閥、出液閥、輸送泵和混合酸液輸送閥共同實(shí)現(xiàn)酸液混合配制或輸送；

所述進(jìn)酸閥、混酸閥、出液閥、輸送泵和混合酸液輸送閥均與所述計(jì)算機(jī)控制顯示系統(tǒng)相連，由所述計(jì)算機(jī)控制顯示系統(tǒng)控制。

6.如權(quán)利要求1所述的一種超導(dǎo)腔表面化學(xué)緩沖拋光全自動(dòng)酸液配制設(shè)備，其特征在于：所述混酸箱上設(shè)置有用于防止混酸箱酸液溢出的液位計(jì)，所述液位計(jì)與所述計(jì)算機(jī)控制顯示系統(tǒng)相連。