[發(fā)明專利]襯套的制造方法、基板支撐組件及基板處理裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910316819.1
• 申請(qǐng)日: 2019-04-19
• 公開（公告）號(hào): CN110394938A
• 公開（公告）日: 2019-11-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔東旻;梁鎮(zhèn)赫;丁永勛;盧潤曙
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 細(xì)美事有限公司
• 主分類號(hào): B29C45/00
• 分類號(hào): B29C45/00;H01L21/687
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 延美花;臧建明

本發(fā)明提供一種襯套的制造方法、基板支撐組件及基板處理裝置。基板支撐組件可包括板、頂桿及襯套。所述板上可用于配置基板。所述頂桿為了支撐所述基板的底面而能夠貫通所述板向上方及下方移動(dòng)。所述襯套可具有所述頂桿貫通所述板移動(dòng)時(shí)用于引導(dǎo)所述頂桿的移動(dòng)的內(nèi)部孔。所述襯套可通過利用成型部件的注塑成型工程得到，所述成型部件為了同時(shí)形成所述襯套的外形及所述內(nèi)部孔而包括用于形成所述襯套的外形的成型空間及用于形成所述內(nèi)部孔的內(nèi)部銷。

本申請(qǐng)享有2018年4月25日向韓國特許廳申請(qǐng)的韓國專利申請(qǐng)第10-2018-0048113號(hào)的優(yōu)先權(quán)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明例示性的實(shí)施例涉及一種襯套的制造方法、基板支撐組件及基板處理裝置。更具體來講，本發(fā)明的例示性的實(shí)施例涉及能夠有利地用于半導(dǎo)體裝置或顯示裝置的制造的襯套的制造方法、包括這種襯套的基板支撐組件及具有所述襯套的基板處理裝置。

背景技術(shù)

在制造半導(dǎo)體裝置或顯示裝置時(shí)可執(zhí)行用于在基板上層積層的工程、用于選擇性地蝕刻形成于所述基板上的層的蝕刻工程等工程。對(duì)所述基板的工程大體上可在工程腔室內(nèi)執(zhí)行。所述工程腔室內(nèi)可配置有用于支撐玻璃基板或半導(dǎo)體晶片之類的基板的基板支撐組件。所述基板支撐組件可具有上部用于配置基板的板、插入到所述板的貫通孔的襯套、通過所述襯套的內(nèi)部孔向上方及下方移動(dòng)的頂桿等。該情況下，所述襯套大體上通過注塑成型工程及二次處理制成。例如，利用所述注塑成型工程形成主體后，為了連接所述主體與頭部分及形成所述襯套的外形及所述內(nèi)部孔而對(duì)所述主體進(jìn)行二次處理以制造成預(yù)定的尺寸及形狀。

而通過如上所述的二次處理在所述主體連接所述頭部分的情況下，使用所述襯套的過程中所述頭部分能夠輕易地從所述主體分離。尤其，通過所述二次處理形成的襯套的內(nèi)部孔的表面粗糙度(surface roughness)低，并且所述襯套的均勻性低，因此所述襯套與所述頂桿之間摩擦而可能發(fā)生的顆粒的發(fā)生。這些顆粒可在對(duì)所述基板的工程中引起工程不良。并且，由于通過所述注塑成型工程及所述二次處理制造所述襯套，因此能夠造成制造所述襯套所需的時(shí)間及費(fèi)用上升。

發(fā)明內(nèi)容

技術(shù)問題

本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種包括能夠具有多種期望的特性的內(nèi)部孔的襯套的制造方法。

本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種包括具有上述內(nèi)部孔的襯套的基板支撐組件。

本發(fā)明的又一個(gè)目的是提供一種具有包括具有上述內(nèi)部孔的襯套的基板支撐組件的基板處理裝置。

技術(shù)方案

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種具有用于頂桿移動(dòng)的內(nèi)部孔的襯套的制造方法。根據(jù)具有用于所述頂桿移動(dòng)的內(nèi)部孔的襯套的制造方法，可提供為了同時(shí)形成所述襯套的外形及所述內(nèi)部孔而包括用于形成所述襯套的外形的成型空間及用于形成所述內(nèi)部孔的內(nèi)部銷的成型部件。可執(zhí)行向所述成型空間內(nèi)填充用于形成襯套的物質(zhì)的注塑成型工程。向所述成型空間內(nèi)填充用于形成所述襯套的物質(zhì)時(shí)或向所述成型空間內(nèi)填充用于形成所述襯套的物質(zhì)后可冷卻所述內(nèi)部銷。

根據(jù)例示性的實(shí)施例，用于形成所述襯套的物質(zhì)可包括聚醚醚酮(PolyetherEther Ketone：PEEK)。

根據(jù)例示性的實(shí)施例，向所述成型空間內(nèi)填充用于形成所述襯套的物質(zhì)時(shí)可向所述成型空間內(nèi)提供負(fù)壓。

根據(jù)例示性的實(shí)施例，可向所述內(nèi)部銷的銷孔內(nèi)注入冷媒冷卻所述內(nèi)部銷。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種基板支撐組件，可包括：板，其上部用于配置基板；頂桿，其為了支撐所述基板的底面而貫通所述板向上方及下方移動(dòng)；以及襯套，其具有所述頂桿貫通所述板移動(dòng)時(shí)引導(dǎo)所述頂桿的移動(dòng)的內(nèi)部孔。所述襯套可通過利用成型部件的注塑成型工程得到，所述成型部件為了同時(shí)形成所述襯套的外形及所述內(nèi)部孔而包括用于形成所述襯套的外形的成型空間及用于形成所述內(nèi)部孔的內(nèi)部銷。