[發明專利]襯套的制造方法、基板支撐組件及基板處理裝置在審
| 申請號： | 201910316819.1 | 申請日： | 2019-04-19 |
| 公開（公告）號： | CN110394938A | 公開（公告）日： | 2019-11-01 |
| 發明（設計）人： | 崔東旻;梁鎮赫;丁永勛;盧潤曙 | 申請（專利權）人： | 細美事有限公司 |
| 主分類號： | B29C45/00 | 分類號： | B29C45/00;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 | 代理人： | 延美花;臧建明 |
| 地址： | 韓國忠清*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 襯套 頂桿 基板支撐組件 內部孔 基板處理裝置 成型部件 基板 移動 貫通 成型空間 注塑成型 底面 可用 制造 支撐 配置 | ||
1.一種襯套的制造方法，用于制造具有用于頂桿移動的內部孔的襯套，其特征在于，包括：
提供為了同時形成所述襯套的外形及所述內部孔而包括用于形成所述襯套的外形的成型空間及用于形成所述內部孔的內部銷的成型部件的步驟；
執行向所述成型空間內填充用于形成襯套的物質的注塑成型工程的步驟；以及
向所述成型空間內填充用于形成所述襯套的物質時或向所述成型空間內填充用于形成所述襯套的物質后冷卻所述內部銷的步驟。
2.根據權利要求1所述的襯套的制造方法，其特征在于：
用于形成所述襯套的物質包括聚醚醚酮(Polyether Ether Ketone：PEEK)。
3.根據權利要求1所述的襯套的制造方法，其特征在于，還包括：
向所述成型空間內填充用于形成所述襯套的物質時向所述成型空間內提供負壓的步驟。
4.根據權利要求1所述的襯套的制造方法，其特征在于：
向所述內部銷的銷孔內注入冷媒以冷卻所述內部銷。
5.一種基板支撐組件，其特征在于，包括：
板，其上部用于配置基板；
頂桿，其為了支撐所述基板的底面而貫通所述板向上方及下方移動；以及
襯套，其具有所述頂桿貫通所述板移動時引導所述頂桿的移動的內部孔，
其中，所述襯套通過利用成型部件的注塑成型工程得到，所述成型部件為了同時形成所述襯套的外形及所述內部孔而包括用于形成所述襯套的外形的成型空間及用于形成所述內部孔的內部銷。
6.根據權利要求5所述的基板支撐組件，其特征在于：
所述內部銷具有在所述注塑成型工程被注入冷媒的銷孔。
7.根據權利要求5所述的基板支撐組件，其特征在于：
用于形成所述襯套的外形的所述成型空間在所述注塑成型工程被提供負壓。
8.根據權利要求5所述的基板支撐組件，其特征在于：
所述襯套包括聚醚醚酮(Polyether Ether Ketone)。
9.根據權利要求5所述的基板支撐組件，其特征在于：
所述襯套插入到所述板的貫通孔。
10.根據權利要求5所述的基板支撐組件，其特征在于：
所述襯套配置在所述板的底面下部。
11.根據權利要求5所述的基板支撐組件，其特征在于：
所述襯套部分插入到所述板內。
12.一種基板處理裝置，其特征在于，包括：
工程腔室，其包括收容基板且執行預定的工程的空間；以及
基板支撐組件，其在執行所述預定的工程時在所述工程腔室內支撐所述基板，
其中，所述基板支撐組件包括：
板，其上部用于配置基板；
頂桿，其為了支撐所述基板的底面而貫通所述板向上方及下方移動；
以及
襯套，其具有所述頂桿貫通所述板移動時引導所述頂桿的移動的內部孔，
其中，所述襯套通過利用成型部件的注塑成型工程得到，所述成型部件為了同時形成所述襯套的外形及所述內部孔而包括用于形成所述襯套的外形的成型空間及用于形成所述內部孔的內部銷。
13.根據權利要求12所述的基板處理裝置，其特征在于：
所述襯套由聚醚醚酮構成。
14.根據權利要求12所述的基板處理裝置，其特征在于：
所述襯套插入到所述板的貫通孔內。
15.根據權利要求12所述的基板處理裝置，其特征在于：
所述襯套配置在所述板的底面下部。
16.根據權利要求12所述的基板處理裝置，其特征在于：
所述襯套部分插入到所述板。
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