[發(fā)明專利]槽與孔的激光加工

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910313717.4
• 申請(qǐng)日: 2014-12-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109909622B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: T·哈克特;S·馬加諾維克;G·A·皮切;S·楚達(dá);R·S·瓦格納
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號(hào): B23K26/364
• 分類號(hào): B23K26/364;B23K26/06;B23K26/0622;B23K26/142;B23K26/402;B23K26/70
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 陳潔;何焜

1.一種形成玻璃制品的方法，包括：

使脈沖第一激光束聚焦成激光束焦線；

在沿著限定內(nèi)部玻璃件的閉合內(nèi)部輪廓的多個(gè)位置處將所述激光束焦線引導(dǎo)到玻璃基板中，所述激光束焦線在所述玻璃基板內(nèi)產(chǎn)生誘導(dǎo)吸收，使得所述激光束焦線在所述多個(gè)位置中的每一個(gè)位置處產(chǎn)生延伸穿過(guò)所述玻璃基板的厚度的缺陷線；

加熱所述玻璃基板，從而在所述玻璃基板中誘導(dǎo)應(yīng)力，所述應(yīng)力沿著所述閉合內(nèi)部輪廓將所述內(nèi)部玻璃件與所述玻璃基板分離；以及

在所述分離之后用第二激光束加熱所述內(nèi)部玻璃件，使得所述內(nèi)部玻璃件軟化并從所述玻璃基板脫落。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，加熱所述玻璃基板包括在加熱腔室中加熱所述玻璃基板。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，加熱所述玻璃基板包括在所述閉合內(nèi)部輪廓上描繪紅外第三激光束。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述紅外第三激光束的波長(zhǎng)在9微米至11微米的范圍內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述紅外第三激光束是散焦激光束。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述多條缺陷線中的相鄰缺陷線之間的間隔在0.1微米至15微米的范圍內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述閉合內(nèi)部輪廓是圓。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括在所述玻璃基板的邊緣與所述內(nèi)部輪廓外部的外部輪廓之間切割釋放線。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述玻璃基板沿著所述內(nèi)部輪廓的切割邊緣的表面粗糙度R_a小于0.5微米。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，垂直于所述切割邊緣的次表面損傷延伸到所述玻璃基板中小于75微米。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，所述次表面損傷小于25微米。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述多條缺陷線垂直于所述玻璃基板的主表面延伸。

13.一種玻璃制品，通過(guò)如權(quán)利要求1至12中任一項(xiàng)所述的方法制作。