[發明專利]一種多線陽極循環傳動式掃描式電沉積加工裝置

在審

• 申請號: 201910310746.5
• 申請日: 2019-04-18
• 公開（公告）號: CN111826693A
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 明平美;侯亞楠;張新民;鄭興帥;王偉;閆亮;秦歌;李欣潮;楊文娟;楊志波;陳旭
• 申請（專利權）人: 河南理工大學
• 主分類號: C25D5/04
• 分類號: C25D5/04;C25D17/12;C25D17/00;C25D21/10
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本發明公開了一種多線陽極循環傳動式掃描式電沉積加工裝置，包括安裝桿、可拆卸地固定于安裝桿上的攪拌槳、直線狀陽極和陰極基底，還包括傳送單元和調平架。傳送單元包括傳送帶、主動輪和從動輪，傳送帶張緊地固定在主動輪和從動輪上。調平架中部設有攪拌槳通行孔，其兩邊框設有一組相互平行且相對安裝的等長的滑槽。安裝桿兩端設有導塊。導塊與滑槽為過渡配合聯接。安裝桿為3個以上，等間距且相互平行地可轉動地安設在傳送帶上。調平架位于傳送單元的正下方，陰極基底位于調平架的正下方。此裝置工作時，處于帶電工作狀態（向陰極基底沉積金屬）的直線狀陽極至少3根，且能連續不斷地進行，沒有空檔加工時間，生產效率大幅提高。

技術領域

本發明屬于電化學加工領域，特別是涉及一種用于掃描式電沉積加工裝置。

背景技術

直線狀陽極掃描式電沉積是一種可獲得極高厚度均勻性的獨特的電沉積加工方法。它是通過直線狀陽極貼近陰極做往復掃描運動來實現電沉積的，其電沉積過程可分解為兩個過程：一是微量沉積金屬隨著直線狀陽極的移動而在陰極面上逐步平鋪的過程；二是金屬薄層隨著掃描次數的增加而逐層累積疊加的過程。直線狀陽極掃描式電沉積最初采用單根直線狀陽極（見申請號為CN201810453008.1專利），此時，陰極上的金屬層是間歇式逐層疊加的，直線狀陽極每掃描一次金屬層就疊加一層。它與常規電沉積過程金屬層連續逐層疊加的方式相比，效率顯然偏低。為此，申請號為CN201910158272.7的專利公開了一種多線陽極并行布置的掃描式電沉積加工方法及裝置。該方法通過增加直線狀陽極的根數，一定程度上增加了生產效率，但仍然不夠理想，主要原因是：多根直線狀陽極每掃描一次后，需要較長的調整與等待時間后才可啟動下一次掃描動作，導致生產效率增加不明顯。所以，很有必要研究開發效率更高的直線狀陽極近陰極掃描式電沉積加工裝置，以能實現多根直線狀陽極連續循環地（無需等待和調整時間）進行高效電沉積加工。

發明內容

本發明目的在于提供一種新的掃描式電沉積加工裝置，以能使多根直線狀陽極連續循環地進行高效電沉積加工。

一種多線陽極循環傳動式掃描式電沉積加工裝置，包括安裝桿、可拆卸地固定于安裝桿上的攪拌槳、直線狀陽極和陰極基底，其特征在于：它還包括傳送單元和調平架；所述的傳送單元包括傳送帶、主動輪和從動輪；所述的主動輪與從動輪為圓滾筒狀；所述的傳送帶張緊地固定在主動輪和從動輪上；所述的調平架中部設有攪拌槳通行孔，其兩邊框設有一組相互平行且相對安裝的等長的滑槽；所述的安裝桿兩端設有導塊；所述的攪拌槳為平面框狀，其中部設有通孔；所述的安裝桿為3個以上，等間距且相互平行地可轉動地安設在傳送帶上；所述的導塊與滑槽為過渡配合聯接；所述的調平架位于傳送單元的正下方；所述的陰極基底位于調平架的正下方。

所述的直線狀陽極固定于攪拌槳的底部，且它的最下沿與攪拌槳的底面平齊。

所述的攪拌槳的底面和所述的直線狀陽極均與陰極基底的表面平行。

所述的調平架與陰極基底的距離可調。

所述的導塊和滑槽的材質均為聚四氟乙烯。這是因為聚四氟乙烯滑動摩擦系數極低，利于導塊低摩擦力小阻力地通過滑槽。

所述的導塊可沿滑槽滑動。

所述的滑槽的長度為兩個相鄰安裝桿間距的2.5倍以上，使陰極的正上方始終至少有三根以上的直線狀陽極處于帶電工作狀態（作為電沉積的陽極）。

所述的滑槽的橫截面形狀為長方形。