[發明專利]一種玻璃微蝕刻方法

在審

• 申請號: 201910308840.7
• 申請日: 2019-04-17
• 公開（公告）號: CN110156338A
• 公開（公告）日: 2019-08-23
• 發明（設計）人: 楊金發
• 申請（專利權）人: 蚌埠國顯科技有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 合肥市長遠專利代理事務所(普通合伙) 34119
• 代理人: 段曉微

1.一種玻璃微蝕刻方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、在玻璃表面均勻涂覆金屬鉻形成鉻層，在鉻層表面均勻涂覆光刻膠形成膠層后得到覆膜玻璃；

S2、將覆膜玻璃曝光顯影后得到預蝕刻玻璃；

S3、將預蝕刻玻璃投入蝕刻機中，采用蝕刻液進行蝕刻減薄；其中，所述蝕刻液的原料按質量百分比包括：H₂SO₄ 30-40％、HF 1.1-2％、HCl 0.1-0.5％、HNO₃ 0.1-1％、草酸0.2-1％、脂肪醇聚氧乙烯醚0.03-0.5％，余量為去離子水。

2.根據權利要求1所述玻璃微蝕刻方法，其特征在于，在S1中，所述玻璃為尺寸為550mm×650mm×0.33mm的鈉鈣玻璃。

3.根據權利要求1或2所述玻璃微蝕刻方法，其特征在于，在S1中，在玻璃表面均勻涂覆金屬鉻之前，還包括將玻璃表面進行超聲波清洗。

4.根據權利要求1-3中任一項所述玻璃微蝕刻方法，其特征在于，在S1中，所述膠層的厚度為2-4μm。

5.根據權利要求1-4中任一項所述玻璃微蝕刻方法，其特征在于，在S1中，所述光刻膠的原料按重量份包括：酚醛樹脂35-47份、改性丙烯酸羥乙酯8-13份、雙丙酮丙烯酰胺3-7份、2-苯氧基乙基丙烯酸酯2-11份、光引發劑907 1-2份、光引發劑ITX 0.2-0.6份、硫酸鋇2-11份、水溶性石墨烯3-9份、溶劑25-40份、助劑0.2-1.3份。

6.根據權利要求5所述玻璃微蝕刻方法，其特征在于，所述改性丙烯酸羥乙酯按照以下工藝進行制備：將丙烯酸羥乙酯和對羥基苯甲醚加入反應裝置中，在氮氣的保護下升溫至65-75℃，加入三苯基膦，然后加入苯酐，升溫至80-85℃，保溫反應至酸值穩定后降溫出料，得到物料A；將正丁醇加入反應裝置中，在氮氣的保護下升溫至70-85℃，加入物料A、3-羥基-1-金剛烷基甲基丙烯酸酯、偶氮二異丁腈和鏈轉移劑，攪拌反應3-4.5h，反應結束后調節溫度為105-110℃，加入阻聚劑、催化劑后攪拌20-35min，加入甲基丙烯酸縮水甘油酯，保溫反應100-160min，降溫至80-90℃，脫除溶劑，然后降溫至60-70℃，加入N,N-二甲基乙醇胺攪拌20-35min得到所述改性丙烯酸羥乙酯。

7.根據權利要求6所述玻璃微蝕刻方法，其特征在于，在改性丙烯酸羥乙酯的制備過程中，丙烯酸羥乙酯、苯酐的摩爾比為1：1.5-2；物料A、3-羥基-1-金剛烷基甲基丙烯酸酯的重量比為5-15：2-4；所述催化劑為四丁基溴化銨；所述阻聚劑為4-甲氧基苯酚；所述鏈轉移劑為正十二硫醇。

8.根據權利要求1-7中任一項所述玻璃微蝕刻方法，其特征在于，在S2中，還包括將曝光顯影后的覆膜玻璃在150-180℃下烘烤30-50min。

9.根據權利要求1-8中任一項所述玻璃微蝕刻方法，其特征在于，在S3中，蝕刻的溫度為30-33℃，蝕刻的時間為55-65s。

10.根據權利要求1-9中任一項所述玻璃微蝕刻方法，其特征在于，在S3中，所述蝕刻液的原料按質量百分比包括：H₂SO₄ 39％、HF 1.5％、HCl 0.4％、HNO₃0.7％、草酸0.8％、脂肪醇聚氧乙烯醚0.08％，余量為去離子水。