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[發明專利]一種帶載頻單幅干涉條紋相位重構方法有效

專利信息
申請號: 201910254803.2 申請日: 2019-04-01
公開(公告)號: CN109916332B 公開(公告)日: 2020-09-08
發明(設計)人: 張洪鑫;張旭;仇浩然;周昊 申請(專利權)人: 哈爾濱理工大學
主分類號: G01B11/24 分類號: G01B11/24
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 150080 黑龍江省哈*** 國省代碼: 黑龍江;23
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 載頻 單幅 干涉 條紋 相位 方法
【權利要求書】:

1.一種帶載頻單幅干涉條紋相位重構方法,其特征在于,包括以下步驟:

步驟1:讀取由干涉測量裝置采集到的帶載頻單幅干涉條紋圖,其干涉強度為:

I(x,y)=a(x,y)+c(x,y)exp[2πj(f′xx+f′yy)]+c*(x,y)exp[-2πj(f′xx+f′yy)]

式中,a(x,y)為背景光強度,c*(x,y)為c(x,y)的共軛,b(x,y)為干涉條紋的調制度,是被測光學元件的波面相位,f′x和f′y分別是x和y方向的載頻;

步驟2:對干涉圖中圓形輪廓內的條紋,采用基于條紋相似度最大的延拓方法進行延拓,使條紋從圓域延拓到矩形區域,延拓分為三步:(1)計算條紋邊界上每一點的優先延拓系數,中心點P為條紋邊界上的任一點,以P點為中心的模板ψp的優先延拓系數表示為:

其中α是歸一化因子,取值255;|ψp|是模板的面積,C(q)是模板內像素點的貢獻度值,C(q)取值為1或0,np為P點處干涉圖邊界的單位法向量,是P點處的單位等照度,計算如下:

式中Ix(p)和Iy(p)分別為P點在x和y方向的偏微分;(2)確定條紋邊界上優先延拓系數最大的點P'和與之對應的模板ψP′,然后在條紋區域進行掃描,找到與ψP′的條紋結構最相似的模板ψq′,即滿足模板ψq′與模板ψP′對應像素的灰度值的均方差之和最小;將模板ψq′內的數據復制到模板ψP′當中,完成優先延拓系數最大的模板的延拓;(3)更新邊界點,重復步驟(1)和(2),直到非條紋區域被填充滿,完成延拓;

步驟3:對延拓后的矩形干涉條紋進行二維傅里葉變換,得到空間譜:

I(fx,fy)=A(fx,fy)+C(fx-f′x,fy-f′y)+C*(fx+f′x,fy+f′y)

其中A(fx,fy)為零級譜,C(fx-f′x,fy-f′y)和C*(fx+f′x,fy+f′y)分別為正負1級譜,也稱作載頻,其中包含有被測光學元件的波面相位信息;

步驟4:將矩形干涉條紋的傅里葉變換空間譜,投影到二維平面上得到二維譜圖像;(1)對譜圖像進行圖像處理:首先將圖像二值化,得到能用0和1區分開背景與目標譜的二值圖;然后通過腐蝕膨脹處理,濾除譜輪廓內部的假邊緣,只保留譜的邊界;(2)提取正一級譜的位置坐標:對正一級譜C(fx-f′x,fy-f′y)計算質心坐標Z(f′x,f′y)和質心Z(f′x,f′y)到零級譜中心O(fx,fy)的距離(3)解調載頻分量:按照距離OZ的大小平移正一級譜到零級譜中心位置,濾除零級譜,解調出載頻分量C(fx,fy);

步驟5:對解調后的載頻分量C(fx,fy)進行二維傅里葉逆變換,求出c(x,y),通過解相位公式,求出包裹相位

步驟6:對包裹相位采樣,得到離散相位沿著x和y方向分別求相位梯度:

相位梯度系數為:

對ρij求二維離散余弦變換,求出ρij′:

將ρij′帶入下式,解包裹,重構出相位

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