[發明專利]一種顯示面板的陰極的制作方法、顯示面板及顯示裝置

有效

• 申請號: 201910249683.7
• 申請日: 2019-03-29
• 公開（公告）號: CN109950422B
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發明（設計）人: 代青
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤湘

本發明公開了一種顯示面板的陰極的制作方法、顯示面板及顯示裝置，用以解決現有技術中存在的在采用濺射工藝制作透明陰極時，存在對發光層造成損傷的技術問題。顯示面板的陰極的制作方法包括：在已形成有機功能層的基板表面上形成磁性離子液體層；采用磁控濺射的方式，以所述磁性離子液體層作為濺射離子的緩沖層，在已形成有機功能層的基板表面上形成透明金屬氧化物電極。

技術領域

本發明涉及OLED面板領域，尤其是涉及一種顯示面板的陰極的制作方法、顯示面板及顯示裝置。

背景技術

在頂發射型OLED器件中，為了使發光層發出的光能夠透過陰極從 OLED的頂部出射，需要透明陰極。

通常制作透明陰極可用的材料體系有兩種：一種是鎂/銀（Mg/Ag）復合電極，另一種是金屬氧化物，例如氧化銦錫(IndiumTinOxides，ITO)或銦鋅氧化物(IZO)。

由于金屬氧化物的透過率較高，在采用金屬氧化物制作透明陰極時，一般采用濺射的方式形成，但濺射工藝會對透明陰極下方的發光層造成損傷，從而影響OLED的發光效率和壽命等。

鑒于此，在采用濺射工藝制作透明陰極時，如何防止對發光層造成損傷成為一個亟待解決的技術問題。

發明內容

本發明提供一種顯示面板的陰極的制作方法、顯示面板及顯示裝置，用以解決現有技術中存在的在采用濺射工藝制作透明陰極時，存在對發光層造成損傷的技術問題。

第一方面，為解決上述技術問題，本發明實施例提供的一種顯示面板的陰極的制作方法的技術方案如下：

在已形成有機功能層的基板表面上形成磁性離子液體層；

采用磁控濺射的方式，以所述磁性離子液體層作為濺射離子的緩沖層，在已形成有機功能層的基板表面上形成透明金屬氧化物電極。

通過在已形成有機功能層的基板表面上形成磁性離子液體層后，在采用磁控濺射的方式時，以磁性離子液體層作為濺射離子的緩沖層，在已形成有機功能層的基板表面上形成透明金屬氧化物電極，從而在形成透明金屬氧化物電極的過程中通過磁性離子液體層減小濺射離子的運動速度，防止濺射離子因運動速度過快而對有機功能層中的發光層造成物理損傷，并且還能有效的防止濺射離子對發光層造成轟擊損失。

可選的，在已形成有機功能層的基板表面上形成磁性離子液體層，具體包括：

采用與所述有機功能層表面不互溶的材料，在所述有機功能層表面上形成所述磁性離子液體層。

可選的，在已形成有機功能層的基板表面上形成磁性離子液體層之前，還包括：

采用真空蒸鍍的方式，在所述有機功能層的表面形成金屬電極。

可選的，在已形成有機功能層的基板表面上形成磁性離子液體層，具體包括：

采用與所述有機功能層表面相溶且與所述金屬電極不互溶的材料，在所述金屬電極上形成所述磁性離子液體層。

可選的，在已形成有機功能層的基板表面上形成磁性離子液體層，具體包括：

采用由陽離子和陰離子組成材料形成所述磁性離子液體層；

其中，所述陽離子為由1-乙基-3-甲基咪唑[Emim]、1-丁基-3-甲基咪唑[Bmim]、1-丁腈-3-甲基咪唑、三己基-一十四烷基磷[P_{6，6，6，14}]、膽堿[choline]、三丁基-一甲基季銨鹽[Aliquat 336]所構成的陽離子集合中的至少一種，所述陰離子為由[FeCl₄]、 [MnCl₄]、[CoCl₄] 和 [GdCl₆]、[Co(NCS)₄]所構成的陰離子集合中的至少一種。