[發明專利]攝像面板

有效

• 申請號: 201910239502.2
• 申請日: 2019-03-27
• 公開（公告）號: CN110323233B
• 公開（公告）日: 2023-04-25
• 發明（設計）人: 森脅弘幸
• 申請（專利權）人: 夏普株式會社
• 主分類號: H01L27/144
• 分類號: H01L27/144;H01L27/146
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所 11323
• 代理人: 權鮮枝;劉寧軍

不使閃爍光的檢測精度下降地抑制水分向攝像面板的侵入。攝像面板(1)具備：有源矩陣基板(1a)，其在多個像素的每一個像素中具備光電轉換元件；閃爍器(1b)，其設置于有源矩陣基板(1a)的表面；防濕材料(212)，其覆蓋有源矩陣基板(1a)和閃爍器(1b)；以及粘接層(211)，其將防濕材料(212)與閃爍器(1b)及有源矩陣基板(1a)之間粘接。有源矩陣基板(1a)具備俯視時與閃爍器(1b)重疊并包括感光性樹脂膜的第1平坦化膜(108)。第1平坦化膜(108)的整體在俯視時配置于設置有粘接層(211)的粘接層區域的內側。

技術領域

本發明涉及攝像面板。

背景技術

以往以來，在X射線攝像裝置中使用按每一像素具備與開關元件連接的光電轉換元件的有源矩陣基板。在下述專利文獻1中，公開了抑制水分向這種X射線攝像裝置侵入的技術。該專利文獻1的X射線攝像裝置抑制水分經由將防濕保護層和光電轉換基板粘接的粘接劑的侵入，上述防濕保護層保護設置于光電轉換基板上的熒光體層。具體地，在光電轉換基板上設置包括聚酰亞胺等的表面有機膜，沿著熒光體層的外周將埋入了樹脂的槽部設置于表面有機膜。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：特許第6074111號公報

發明內容

發明要解決的問題

在上述專利文獻1中，將具有防濕效果的表面有機膜設置于光電轉換基板上，在表面有機膜中設置埋入了樹脂的槽部，因此，不易發生粘接劑的積液，水分不易侵入光電轉換基板。因此，能夠在某種程度上抑制水分從光電轉換基板向熒光體層的侵入。然而，雖然例如數10μm的聚酰亞胺等的表面有機膜有防濕效果，但是由于吸收閃爍光的波段，因此，閃爍光的檢測精度下降。

本發明提供一種能夠不使閃爍光的檢測精度下降地抑制水分向攝像面板的侵入的技術。

用于解決問題的方案

解決上述問題的本發明的攝像面板具備：有源矩陣基板，其具有包含多個像素的像素區域，在上述多個像素的每一個像素中具備光電轉換元件；閃爍器，其設置于上述有源矩陣基板的表面，將X射線轉換為閃爍光；防濕材料，其覆蓋上述有源矩陣基板和上述閃爍器；以及粘接層，其將上述防濕材料與上述閃爍器及上述有源矩陣基板之間粘接，上述有源矩陣基板具備第1平坦化膜，上述第1平坦化膜以與上述閃爍器俯視時重疊的方式設置，包括感光性樹脂膜，上述第1平坦化膜的整體在俯視時配置于設置有上述粘接層的粘接層區域的內側。

發明效果

根據本發明，能夠不使閃爍光的檢測精度下降地抑制水分向攝像面板的侵入。

附圖說明

圖1是表示第1實施方式的X射線攝像裝置的示意圖。

圖2是表示圖1所示的有源矩陣基板的概略構成的示意圖。

圖3是將圖2所示的有源矩陣基板的設置有像素的像素部的一部分放大后的俯視圖。

圖4A是圖3的像素部的A-A線的截面圖。

圖4B是圖1所示的攝像面板的像素部的截面圖。

圖5A是圖1所示的攝像面板的概略俯視圖。

圖5B是圖5A所示的B-B線的截面圖。

圖6是第2實施方式的攝像面板的端部區域的截面圖。

圖7是第3實施方式的攝像面板的端部區域的截面圖。