[發明專利]一種堆棧式介電彈性體作動器制作方法

在審

• 申請號: 201910218612.0
• 申請日: 2019-03-21
• 公開（公告）號: CN109980080A
• 公開（公告）日: 2019-07-05
• 發明（設計）人: 陳花玲;李卓遠
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: H01L41/37
• 分類號: H01L41/37;H01L41/27;H01L41/335;H01L41/23
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 徐文權

1.一種堆棧式介電彈性體作動器制作方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1，利用流延制膜機將液態硅橡膠溶液均勻地涂覆在PET薄膜上，形成一層硅橡膠膜，并加熱使其固化，這一層材料為作動器的底層絕緣封裝層；

步驟2，用激光切割機在PET薄膜或者離型紙上切割出多個作動器電極的形狀，以此作為制作電極層時的掩膜版；

步驟3，將掩膜版緊密貼合在硅橡膠膜表面，然后利用流延制膜機將配置好的液態導電材料均勻地涂覆在掩膜板和硅橡膠膜的表面形成電極層，或者利用噴筆將液態導電材料均勻地噴涂在掩膜板和硅橡膠膜表面形成電極層；電極層制作好后將掩膜板揭下，并加熱使揭下掩膜板后的部分固化；

步驟4，然后再在電極層上面流延一層硅橡膠薄膜，以此形式重復疊加，得到一塊包含多個堆棧式作動器的硅橡膠，最后流延的一層硅橡膠薄膜為作動器頂層絕緣封裝層；

步驟5，用切刀沿電極邊緣切割得到多個作動器；給正負極引電極導線并用導電膠水粘牢，完成堆棧式介電彈性體作動器的制作。

2.根據權利要求1所述的一種堆棧式介電彈性體作動器制作方法，其特征在于，步驟1中硅橡膠膜的厚度通過流延制膜機的刮刀高度調整。

3.根據權利要求1所述的一種堆棧式介電彈性體作動器制作方法，其特征在于，步驟3中，通過流延涂覆方法得到的電極層，其材料由導電顆粒與硅橡膠以1:4的質量比進行混合后得到。

4.根據權利要求1所述的一種堆棧式介電彈性體作動器制作方法，其特征在于，步驟3中，通過噴筆噴涂方法得到的電極層，其材料由導電顆粒與異丙醇以1:54的質量比進行混合后得到。

5.根據權利要求1所述的一種堆棧式介電彈性體作動器制作方法，其特征在于，步驟4中，所有的電極層正負極交替排列，且同極性的引出端排布在作動器的同側，并用導電銀膠并聯連通。

6.根據權利要求1所述的一種堆棧式介電彈性體作動器制作方法，其特征在于，步驟5中，堆棧式介電彈性體作動器的上下表面均帶有絕緣封裝層。