[發明專利]用于單晶金剛石生長的晶種托在審
| 申請號： | 201910164039.X | 申請日： | 2019-03-05 |
| 公開（公告）號： | CN111663179A | 公開（公告）日： | 2020-09-15 |
| 發明（設計）人： | 閆石;李俊杰;顧長志 | 申請（專利權）人： | 中國科學院物理研究所 |
| 主分類號： | C30B25/00 | 分類號： | C30B25/00;C30B29/04;C23C16/27;C23C16/517;C23C16/458 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 金剛石 生長 晶種托 | ||
1.一種用于單晶金剛石生長的晶種托，其特征在于，所述晶種托上表面(7)為凹球面，所述凹球面中心具有貫穿孔(5)，所述貫穿孔底部設有晶種墊(6)。
2.根據權利要求1所述的用于單晶金剛石生長的晶種托，其特征在于，所述晶種托的高度為4mm～10mm。
3.根據權利要求1所述的用于單晶金剛石生長的晶種托，其特征在于，所述晶種托下部為圓柱，上部為圓臺。
4.根據權利要求3所述的用于單晶金剛石生長的晶種托，其特征在于，所述圓柱的直徑為30mm～45mm，所述圓柱的高度為3mm～9mm。
5.根據權利要求3所述的用于單晶金剛石生長的晶種托，其特征在于，所述圓臺的高度為1mm～2mm，圓臺上表面直徑為20mm～35mm。
6.根據權利要求1所述的用于單晶金剛石生長的晶種托，其特征在于，所述凹球面曲率半徑不小于113mm。
7.根據權利要求1所述的用于單晶金剛石生長的晶種托，其特征在于，所述貫穿孔(5)為正方形孔，所述晶種墊(6)為正方形墊。
8.根據權利要求7所述的用于單晶金剛石生長的晶種托，其特征在于，所述正方形孔邊長為5mm～10mm。
9.根據權利要求1所述的用于單晶金剛石生長的晶種托，其特征在于，所述晶種墊(6)以滑配的方式置于所述貫穿孔(5)內。
10.根據權利要求7所述的用于單晶金剛石生長的晶種托，其特征在于，所述正方形墊邊長為4.9mm～9.9mm，厚度為2mm～9mm。
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