[發明專利]曝光裝置

有效

• 申請號: 201910149661.3
• 申請日: 2019-02-28
• 公開（公告）號: CN110320765B
• 公開（公告）日: 2023-05-16
• 發明（設計）人: 綠川悟;松永真一
• 申請（專利權）人: 株式會社ORC制作所
• 主分類號: G03F7/22
• 分類號: G03F7/22;G03F7/20;G03F7/24;G03F9/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 崔成哲

本發明提供曝光裝置。構成能夠抑制長基板的曲折前行的基板輸送系統。在RtoR輸送系統能夠與曝光載臺(15)一起沿著基板輸送方向M移動的曝光裝置(10’)中，張力輥(36)設置于曝光載臺(15)的下游側。并且，在RtoR輸送系統的移動中，張力輥(36)相對于其他的輥而進行位置變動并施加張力，以抑制長基板W1、W2的撓曲。

技術領域

本發明涉及通過卷筒對卷筒輸送系統(Roll?to?Roll?carrier,以下稱為RtoR輸送系統)來輸送撓性印刷基板等長基板(工件)的曝光裝置。

背景技術

在具備RtoR輸送系統的曝光裝置中，在曝光載臺的上游側配置有供給卷軸(卷繞卷筒)，在下游側配置有收卷卷軸(收卷卷筒)，在將印刷電路板等長基板卷繞在供給卷軸、收卷卷軸上之后，在從上游側向下游側輸送的同時進行曝光。

具體而言，在使吸附支承長基板的背面的曝光載臺沿著長基板輸送方向移動的同時，通過設置于長基板的上方的曝光頭而投影與投影區域(曝光對象區域)的位置對應的圖案光。當曝光載臺移動到曝光完成位置時，曝光載臺下降而返回到最初的曝光位置。通過反復進行相同的曝光動作，從而在整個長基板上形成圖案(例如，參照專利文獻1、2)。

以往的RtoR輸送系統固定在曝光裝置的基座(殼體)上。因此，在曝光開始之前，長基板從供給卷軸間歇性地引出而向下游側送出。另外，在曝光結束之后，隨著曝光載臺復位到上游側，有時會發生長基板向上游側反卷的情況。因這樣的基板的移動，導致在長基板曲折前行，還產生曝光位置偏離、長基板的翹曲、褶皺、擦痕等損傷。特別是，在使多個長基板并行移動而同時曝光的情況下，難以調整曲折前行。

因此，需要研發能夠抑制長基板的曲折前行的基板輸送系統。

專利文獻1：日本特開2015-222370號公報

專利文獻2：日本特開2009-276522號公報

發明內容

本發明的曝光裝置包括：曝光載臺，其支承至少一個長基板，并能夠沿著基板輸送線而進行往返移動；至少一個卷軸對，其隔著曝光載臺而對置配置，并輸送長基板；多個輥，它們設置在卷軸對之間，并與長基板相接，卷軸對以及多個輥能夠與曝光載臺一起沿著基板輸送線而進行往返移動，多個輥包括張力輥，在沿著基板輸送線而進行的往返移動中，該張力輥能夠相對于其他輥進行位置變動。

曝光裝置可具備：載臺移動機構，其使曝光載臺沿著基板輸送線而進行往返移動；以及輸送部移動機構，其使卷軸對與曝光載臺一起沿著基板輸送線而進行往返移動。

張力輥可配置于曝光載臺的下游側。另外，張力輥可構成為偏心的輥。進而，對于張力輥，可限制其向上方的移動、例如沿著鉛直方向的移動。

可具備供給側驅動機構，該供給側驅動機構對卷軸對的供給卷軸向與長基板的送出方向相反的方向施加扭矩。另外，可具備收卷側驅動機構，該收卷側驅動機構根據長基板的被計測出的張力來控制施加于卷軸對的收卷卷軸的扭矩量。

例如，長基板可由并列的多個長基板構成，張力輥可橫跨多個長基板而配置。

多個輥可具備張力測定輥，該張力測定輥配置于比張力輥靠下游側的位置，對長基板的張力進行計測。

發明效果

根據本發明，能夠構成可靠地抑制長基板的曲折前行的基板輸送系統。

附圖說明

圖1是本實施方式的曝光裝置的概略性結構圖。

圖2是示意性地示出曝光裝置的一部分的立體圖。

圖3是曝光裝置的概略性框圖。

圖4是示出曝光開始時和曝光完成時的曝光載臺和輸送系統的位置的圖。