[發明專利]電子材料包裝容器的清洗及在線式潔凈度檢測方法

在審

• 申請號: 201910146546.0
• 申請日: 2019-02-27
• 公開（公告）號: CN109894450A
• 公開（公告）日: 2019-06-18
• 發明（設計）人: 馬新龍;施軍民;顧大公;毛智彪;許從應
• 申請（專利權）人: 江蘇南大光電材料股份有限公司
• 主分類號: B08B9/46
• 分類號: B08B9/46;G01N27/10
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 陶海鋒

1.一種電子材料包裝容器的清洗及在線式潔凈度檢測方法，其特征在于：設置連接電子材料包裝容器的清洗液輸入管路和水樣輸出測試管路；所述清洗液輸入管路前端分別連接超純水輸入管路和氮氣輸入管路；所述超純水輸入管路上設有第二閥門，所述氮氣輸入管路上設有第三閥門；所述清洗液輸入管路上設有第四閥門；所述第四閥門的出口連接電子材料包裝容器的清洗液輸入口；所述水樣輸出測試管路的末端連有電阻率測定儀；所述水樣輸出測試管路的進口端和電子材料包裝容器的水樣輸出口連接，中間設有第五閥門；

在所述清洗液輸入管路在第四閥門的前端和水樣輸出測試管路在第五閥門的后端之間設置第一閥門，形成旁路連通；

清洗及在線式潔凈度檢測包括以下步驟：

(1) 將待清洗的電子材料包裝容器放入超聲池中，將上述清洗液輸入管路和水樣輸出測試管路分別連接電子材料包裝容器的清洗液輸入口和水樣輸出口；

(2) 關閉第一閥門和第二閥門，打開第四閥門和第五閥門，打開第三閥門，用氮氣吹掃管路、容器中的空氣，吹掃完成后依次關閉第四閥門、第五閥門和第三閥門；

(3) 打開第一閥門和第二閥門，調節進水閥門至超純水流量在100～500mL/min，且電阻率測定儀檢測數值大于18兆歐；

(4) 打開超聲池的超聲波發生裝置，超聲清洗30～60min；

(5) 先分別打開第四閥門和第五閥門，再關閉第一閥門，進行電阻率檢測直至電阻率大于18兆歐；

(6) 關閉超聲波發生裝置，用超純水沖洗包裝容器，沖洗時間為超聲清洗時間的1～3倍；

(7) 打開第一閥門，關閉第四閥門和第五閥門；

(8) 斷開包裝容器與清洗管路的連接，倒空包裝容器內的純水，完成清洗和潔凈度檢測。

2.根據權利要求1所述的電子材料包裝容器的清洗及在線式潔凈度檢測方法，其特征在于：所述電子材料包裝容器為玻璃瓶時，清洗時將具螺帽的清洗配件插入玻璃瓶內并蓋緊；所述具螺帽的清洗配件的低口和清洗液輸入口相連；所述具螺帽的清洗配件的高口和水樣輸出口連接。

3.根據權利要求1所述的電子材料包裝容器的清洗及在線式潔凈度檢測方法，其特征在于：所述電子材料包裝容器為不銹鋼容器時，清洗時將所述容器的低口和清洗液輸入口相連；所述容器的高口和水樣輸出管路連接。

4.根據權利要求1所述的電子材料包裝容器的清洗及在線式潔凈度檢測方法，其特征在于：設置轉子流量計檢測超純水的流量。

5.根據權利要求1所述的電子材料包裝容器的清洗及在線式潔凈度檢測方法，其特征在于：所述超聲池中設有震板和水，待清洗的電子材料包裝容器放置在震板上，容器主體浸入水中，超聲清洗時，打開電源使震板的振動頻率達到20000Hz以上。

6.根據權利要求1所述的電子材料包裝容器的清洗及在線式潔凈度檢測方法，其特征在于：步驟(2)中，氮氣吹掃的時間為1-10分鐘。