[發明專利]一種適用于太陽能電池片的鈍化處理工藝

在審

• 申請號: 201910119522.6
• 申請日: 2019-02-18
• 公開（公告）號: CN110021682A
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 何一峰;邱小永;趙慶國;陸波;呂文輝;金德琳;陳偉林
• 申請（專利權）人: 浙江貝盛光伏股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0216
• 代理公司: 杭州千克知識產權代理有限公司 33246
• 代理人: 裴金華

本發明涉及化工設備領域，具體涉及一種適用于太陽能電池片的鈍化處理工藝。本發明的上述技術目的是通過以下技術方案得以實現的：一種適用于太陽能電池片的鈍化處理工藝，包含制絨、擴散、刻蝕、鍍膜、印刷、燒結步驟，所述鍍膜步驟具體包含以下步驟：預熱步驟、預處理步驟、底層膜制作步驟、中間層膜制作步驟、頂層膜制作步驟。本發明的目的是提供一種適用于太陽能電池片的鈍化處理工藝，對鍍膜部分采用了新的三層設計，增加鈍化效果，減少了電子空穴對復合，提高了少子壽命。

技術領域

本發明涉及化工設備領域，具體涉及一種適用于太陽能電池片的鈍化處理工藝。

背景技術

光伏技術是一種利用太陽電池半導體材料的光伏效應，將太陽光輻射能直接轉換為電能的一種新型發電系統。光伏發電作為一種清潔、安全、便利的清潔能源，在可再生能源技術中具有重要地位。我國正大力支持光伏行業的發展，深入研究和利用太陽能資源，對緩解資源危機、改善生態環境具有十分重要的意義。

目前市場主流的光伏電池為硅基太陽能電池，其生產過程中硅體內會存在部分雜質和晶體缺陷。雜質和缺陷的存在嚴重降低了少數載流子的壽命，制約了晶硅太陽電池的光電轉換效率。針對各類雜質及晶體缺陷，強化鈍化水平對于提高太陽能電池的轉換效率具有重要意義。

隨著光伏電池技術不斷創新，電池片效率不斷被刷新，與此同時電池片的可靠性的主要性也逐步突顯。常規下的電池片在經過衰減后轉換效率會大幅縮減，直接影響做成組件后的發電功率。如何將電池片的制造工藝優化，從而提高轉換效率降低光伏電池衰減成為長期以來難以解決的技術難題。

發明內容

本發明的目的是提供一種適用于太陽能電池片的鈍化處理工藝，對鍍膜部分采用了新的三層設計，增加鈍化效果，減少了電子空穴對復合，提高了少子壽命。

本發明的上述技術目的是通過以下技術方案得以實現的：一種適用于太陽能電池片的鈍化處理工藝，包含制絨、擴散、刻蝕、鍍膜、印刷、燒結步驟，所述鍍膜步驟具體包含以下步驟：

S01、預熱步驟；

將硅片整體升溫；

S02、預處理步驟；

通入氮氣，經高頻電離后對硅片表面進行清洗；

S03、底層膜制作步驟；

通入硅烷和氨氣，經高頻電離后在電場的作用下沉積在硅片表面，形成底層氮化硅薄膜；

S04、中間層膜制作步驟；

通入硅烷和氨氣，經高頻電離后在電場的作用下沉積在所述底層膜之上，形成第二層氮化硅薄膜；

S05、頂層膜制作步驟；

通入硅烷和氨氣，經高頻電離后在電場的作用下沉積在所述中間層膜之上，形成頂層氮化硅薄膜；

作為本發明的優選，在所述預熱步驟中，預熱溫度450-500 ℃。預熱時間25-30分鐘。

作為本發明的優選，再所述預處理步驟中，沉積溫度為450-500 ℃，功率3400-4400 W，氮氣流量5 slm，不抽真空，沉積時間5-15 秒。

作為本發明的優選，在所述底層膜制作步驟中，鍍膜薄膜參數為：沉積溫度450-500℃，功率6000-7000 W，氨氣流量3.5-3.9 slm，硅烷流量800-900 sccm，壓力1650 mTor，占空比5:50 ms，沉積時間80-100 s；要求第一層膜折射率控制在2.20-2.30，膜厚控制在15-20 nm。