[發明專利]一種適用于太陽能電池片的鈍化處理工藝

在審

• 申請號: 201910119522.6
• 申請日: 2019-02-18
• 公開（公告）號: CN110021682A
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 何一峰;邱小永;趙慶國;陸波;呂文輝;金德琳;陳偉林
• 申請（專利權）人: 浙江貝盛光伏股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0216
• 代理公司: 杭州千克知識產權代理有限公司 33246
• 代理人: 裴金華

1.一種適用于太陽能電池片的鈍化處理工藝，包含制絨、擴散、刻蝕、鍍膜、印刷、燒結步驟，其特征在于：所述鍍膜步驟具體包含以下步驟：

S01、預熱步驟；

將硅片整體升溫；

S02、預處理步驟；

通入氮氣，經高頻電離后對硅片表面進行清洗；

S03、底層膜制作步驟；

通入硅烷和氨氣，經高頻電離后在電場的作用下沉積在硅片表面，形成底層氮化硅薄膜；

S04、中間層膜制作步驟；

通入硅烷和氨氣，經高頻電離后在電場的作用下沉積在所述底層膜之上，形成第二層氮化硅薄膜；

S05、頂層膜制作步驟；

通入硅烷和氨氣，經高頻電離后在電場的作用下沉積在所述中間層膜之上，形成頂層氮化硅薄膜。

2.根據權利要求1所述的一種適用于太陽能電池片的鈍化處理工藝，其特征在于：在所述預熱步驟中，預熱溫度450-500 ℃，預熱時間25-30分鐘。

3.根據權利要求1所述的一種適用于太陽能電池片的鈍化處理工藝，其特征在于：再所述預處理步驟中，沉積溫度為450-500 ℃，功率3400-4400 W，氮氣流量5 slm，不抽真空，沉積時間5-15 秒。

4.根據權利要求1所述的一種適用于太陽能電池片的鈍化處理工藝，其特征在于：在所述底層膜制作步驟中，鍍膜薄膜參數為：沉積溫度450-500℃，功率6000-7000 W，氨氣流量3.5-3.9 slm，硅烷流量800-900 sccm，壓力1650 mTor，占空比5:50 ms，沉積時間80-100s；要求第一層膜折射率控制在2.20-2.30，膜厚控制在15-20 nm。

5.根據權利要求4所述的一種適用于太陽能電池片的鈍化處理工藝，其特征在于：在所述中間層膜制作步驟中，鍍膜薄膜參數為：沉積溫度450-500 ℃，功率6000-7000 W，氨氣流量3.5-4.5 slm，硅烷流量600-700 sccm，壓力1650 mTor，占空比5:50 ms，沉積時間140-150 s；要求第二層膜折射率控制在2.1-2.20，膜厚控制在15-20 nm。

6.根據權利要求5所述的一種適用于太陽能電池片的鈍化處理工藝，其特征在于：在所述頂層膜制作步驟中，鍍膜薄膜參數為：沉積溫度450-500 ℃，功率6000-7000 W，氨氣流量6-7 slm，硅烷流量600-700 sccm，壓力1650 mTor，占空比5:50 ms，沉積時間450-550 s；要求第三層膜折射率控制在2.00-2.02，膜厚控制在45-55 nm。

7.根據權利要求6所述的一種適用于太陽能電池片的鈍化處理工藝，其特征在于：三層膜沉積完成后，整體折射率控制在2.07-2.09，膜厚控制在78-82nm。

8.根據權利要求1或2或3或4或5或6或7所述的一種適用于太陽能電池片的鈍化處理工藝，其特征在于：在所述燒結工序后還包含電增強步驟。

9.根據權利要求8所述的一種適用于太陽能電池片的鈍化處理工藝，其特征在于：所述電增強步驟具體包含以下步驟，

S11、擺放和預熱步驟，將燒結后電池片整齊擺放，上下增加電極板，開啟控制電流對電池片進行預熱；

S12、多區恒溫加熱步驟，存在多個工作區，電池片依次進入多個所述的工作區進行恒溫加熱；

S13、降溫步驟。

10.根據權利要求9所述的一種適用于太陽能電池片的鈍化處理工藝，其特征在于：在S12中，所述電池片進入下一個工作區后降溫溫度不吵過30攝氏度，每個所述工作區控制的電流在5-15安，時間500-600s，電池片恒溫溫度300-400度。