[發明專利]用于質譜分析的設備以及用于分析半導體晶圓的方法

在審

• 申請號: 201910095748.7
• 申請日: 2019-01-31
• 公開（公告）號: CN110231393A
• 公開（公告）日: 2019-09-13
• 發明（設計）人: 金國柱;嚴基柱;尹喆祥;李康宅
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社;延世大學校產學協力團
• 主分類號: G01N27/62
• 分類號: G01N27/62
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 程月;劉燦強

1.一種用于質譜分析的設備，所述設備包括：

板，其上設置有包括有機物的半導體晶圓；

混合進料器，將ZnO-石墨烯雜化物提供到半導體晶圓上的預定區域；以及

質量分析器，利用激光解吸/電離質譜檢測預定區域中的有機物。

2.根據權利要求1所述的設備，其中，ZnO-石墨烯雜化物包括ZnO納米顆粒和還原氧化石墨烯。

3.根據權利要求2所述的設備，其中，ZnO-石墨烯雜化物相對于100wt％的ZnO-石墨烯雜化物包括1.5wt％至6wt％的還原氧化石墨烯。

4.根據權利要求1所述的設備，其中，有機物具有等于或小于1,000Da的分子量。

5.根據權利要求1所述的設備，其中，有機物包括固體芳香族化合物和固體脂肪族化合物中的至少一種。

6.根據權利要求1所述的設備，其中，混合進料器將分散有ZnO-石墨烯雜化物的懸浮液提供到預定區域中。

7.根據權利要求1所述的設備，其中，混合進料器每單位面積0.0225cm²的預定區域提供2ng至2,000ng的ZnO-石墨烯雜化物。

8.根據權利要求1所述的設備，其中，質量分析器包括：

光照射單元，照射光以使有機物電離，以生成電離的有機物；以及

離子檢測單元，檢測電離的有機物并生成有機物的質量數據。

9.一種用于質譜分析的設備，所述設備包括：

板，其上設置有包括分析物的基底；

混合進料器，提供將要吸附在分析物上的ZnO-石墨烯雜化物，以在基底上制備混合樣品；

光照射單元，照射光以使分析物電離，以生成電離的分析物；以及

離子檢測單元，檢測電離的分析物以生成分析物的質量數據。

10.根據權利要求9所述的設備，其中，分析物包括固體有機物。

11.根據權利要求9所述的設備，其中，混合進料器包括微量移液管。

12.根據權利要求9所述的設備，其中，光照射單元使分析物從ZnO-石墨烯雜化物解吸以使分析物電離。

13.根據權利要求9所述的設備，其中，光照射單元照射具有300nm至400nm的波長的脈沖激光。

14.根據權利要求9所述的設備，所述設備還包括使電離的分析物加速的光學系統。

15.根據權利要求9所述的設備，所述設備還包括溫度控制器和壓力控制器。

16.一種用于分析半導體晶圓的方法，所述方法包括：

準備包括有機物的半導體晶圓；

將ZnO-石墨烯雜化物提供到半導體晶圓上的預定區域；以及

利用激光解吸/電離質譜檢測預定區域中的有機物。

17.根據權利要求16所述的方法，其中，提供ZnO-石墨烯雜化物的步驟包括：

將ZnO納米顆粒與氧化石墨烯混合以制備ZnO-氧化石墨烯混合物；以及

還原ZnO-氧化石墨烯混合物。

18.根據權利要求17所述的方法，其中，ZnO-氧化石墨烯混合物相對于100wt％的ZnO-氧化石墨烯混合物包括2wt％至8wt％的氧化石墨烯。