[發(fā)明專利]一種無線壓力傳感器及其制作方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910091014.1 | 申請日： | 2019-01-30 |
| 公開（公告）號： | CN109738094A | 公開（公告）日： | 2019-05-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 聶寶清;陳新建;黃蓉 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘇州大學(xué) |
| 主分類號： | G01L1/14 | 分類號： | G01L1/14;G08C17/04 |
| 代理公司： | 南京縱橫知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林;范青青 |
| 地址： | 215100 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 無線壓力傳感器 隔板 鐵氧體薄膜 無源天線 一一對應(yīng)設(shè)置 導(dǎo)電材料 陣列分布 靈敏度 磁能 制作 對準(zhǔn) 吸收 | ||
1.一種無線壓力傳感器，其特征在于，包括織物隔板；
所述織物隔板的一側(cè)設(shè)有多個呈陣列分布的無源天線，織物隔板的另一側(cè)設(shè)有多個鐵氧體薄膜；
所述鐵氧體薄膜與無源天線一一對應(yīng)設(shè)置，位置相互對準(zhǔn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無線壓力傳感器，其特征在于，所述無源天線包括基板、設(shè)于基板上的電感器和電容器；所述電感器與所述電容器串聯(lián)構(gòu)成LC諧振器，所述電感器與外部接收器線圈耦合，實現(xiàn)壓力信號無線傳輸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的無線壓力傳感器，其特征在于，所述電感器為呈螺旋狀分布于所述基板上的感應(yīng)線圈。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的無線壓力傳感器，其特征在于，所述基板為雙面覆銅層的PI膜，所述電容器與其中一個銅層電連接，電感器與另一銅層電連接，兩銅層通過通孔銅電鍍連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無線壓力傳感器，其特征在于，所述鐵氧體薄膜的磁導(dǎo)率大于100。
6.一種無線壓力傳感器的制作方法，其特征在于，所述傳感器包括：織物隔板和分設(shè)于織物隔板兩側(cè)的無源天線、鐵氧體薄膜；所述方法包括如下步驟：
在所述織物隔板上創(chuàng)建雙面對準(zhǔn)標(biāo)記；
在織物隔板的其中一個側(cè)面上根據(jù)對準(zhǔn)標(biāo)記固定無源天線；
在織物隔板的另一側(cè)面上與無源天線相對準(zhǔn)的固定鐵氧體薄膜。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的無線壓力傳感器的制作方法，其特征在于，所述無源天線的制作方法包括：
選取雙面覆銅層的PI膜作為基板，使兩銅層保持電連接；
分別對兩銅層進(jìn)行圖案化；
將電感器、電容器分別固定于兩銅層上，并與相應(yīng)銅層保持電連接，實現(xiàn)電感器和電容器串聯(lián)連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的無線壓力傳感器的制作方法，其特征在于，通過設(shè)置通孔銅的方法實現(xiàn)兩銅層的電連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的無線壓力傳感器的制作方法，其特征在于，所述圖案化的方法包括：標(biāo)準(zhǔn)絲網(wǎng)印刷法和濕法蝕刻法。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的無線壓力傳感器的制作方法，其特征在于，所述方法還包括采用激光微加工技術(shù)將所述鐵氧體薄膜、無源天線劃分為大小一致的單一形狀。
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