[發明專利]石英晶片的清洗方法有效
| 申請號： | 201910085017.4 | 申請日： | 2019-01-29 |
| 公開（公告）號： | CN109647784B | 公開（公告）日： | 2022-04-01 |
| 發明（設計）人： | 歐陽林;歐陽晟;韓何明;歐陽華 | 申請（專利權）人： | 廣州晶優電子科技有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/04 | 分類號： | B08B3/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 廣州潤禾知識產權代理事務所(普通合伙) 44446 | 代理人： | 林偉斌 |
| 地址： | 510663 廣東省廣州市高*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 石英 晶片 清洗 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種石英晶片的清洗方法，其特征在于，依次包括以下步驟：
將石英晶片通過排片工序安裝到鍍膜夾具中；
將安裝好石英晶片的鍍膜夾具安裝到一清洗提籃中，所述鍍膜夾具在所述清洗提籃中形成相互平行的，豎直設置的，相鄰兩列交錯排列的，相鄰兩行交錯排列的，整體呈多列和多行設置的安裝方式，然后將所述清洗提籃置入清洗槽中進行清洗；
將清洗好的鍍膜夾具安裝到一脫水提籃中，所述鍍膜夾具在所述脫水提籃中形成相互平行的，豎直設置的，整體呈單列設置的安裝方式，然后通過離心脫水的方式將石英晶片和鍍膜夾具的水分甩干；
將甩干后的鍍膜夾具從脫水提籃中取下，然后放入烤干設備中烤干，烤干后的鍍膜夾具可直接進行下一步的鍍膜工序；
所述清洗提籃設有多個導軌槽，所述導軌槽用于插入安裝所述鍍膜夾具，所述導軌槽呈多列/多行設置，且相鄰的兩列/行的導軌槽為交錯排列，所述清洗提籃的側面和底面設有開孔；
所述脫水提籃設有上開口，其中一對側面上平行設置有多個用于安裝鍍膜夾具的導軌槽，另一對側面上設有第一開窗孔；所述脫水提籃的底面設有第二開窗孔。
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