[發明專利]一種適用于超大規模原子層沉積的氣體勻流系統

有效

• 申請號: 201910080545.0
• 申請日: 2019-01-28
• 公開（公告）號: CN109518166B
• 公開（公告）日: 2023-09-22
• 發明（設計）人: 余偉
• 申請（專利權）人: 南京愛通智能科技有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 南京先科專利代理事務所(普通合伙) 32285
• 代理人: 孫甫臣

本發明公開一種適用于超大規模原子層沉積的氣體勻流系統，包括通入前驅體氣體的流通管道，該流通管道的進氣端端面上開設有若干進氣孔，出氣端端面分隔為數量與進氣孔數量相匹配的出氣孔，流通管道的內腔分隔為數量與出氣孔數量一致的獨立流道；每個出氣孔與相對應的一個或多個進氣孔通過位于流通管道內的對應獨立流道相連通，各獨立流道呈“喇叭狀”，由進氣孔側向出氣孔側，內徑逐漸增大。本發明中在流通管道內設置多個獨立流道，出氣孔與相對應的出氣孔通過位于流通管道內的對應獨立流道相連通，每種前驅體氣體從進氣孔進入獨立流道，經過各獨立流道到達出氣孔，前驅氣體流出裝置時已布滿整個平面，勻流效果更好。

技術領域

本發明屬于半導體制造領域，具體涉及光伏電池制造領域，將原子層沉積（ALD）技術應用到光伏領域，生產超大規模產品的設備。

背景技術

原子層沉積技術通常需要將產品交替暴露在兩種或兩種以上前驅體氣體中，而這一特性使這些化學品交替接觸過的設備部件表面產生鍍膜或粉塵等不良效果。為了避免上訴效應產生有些設備已經采用了每種前驅體采用一根專用管路供氣的設計。

對于大規模原子層沉積設備產品室很大，而原子層沉積技術希望一種前驅體同時均勻的到達產品表面。用一個管路供氣顯然無法實現這一要求，目前已有原子層沉積設備采用鋼板打孔的裝置對前驅體進行勻流，部分達到這一效果。

專利201610395128?.1公開了一種噴淋裝置結合上述兩個技術方案。但其裝置在實際應用中存在噴淋板產生鍍膜或粉塵的情況，這個問題的本質原因依然是設備部件暴露在多種前驅體氣體中。

發明內容

發明目的：本發明目的在于針對現有技術的不足，提供一種適用于超大規模原子層沉積的氣體勻流系統，從原理角度避免了設備部件表面鍍膜或產生粉塵的不良效果，同時考慮了空間勻流功能，有利于提高鍍膜均勻性。

技術方案：本發明所述適用于超大規模原子層沉積的氣體勻流系統，包括通入前驅體氣體的流通管道，該流通管道的進氣端端面上開設有若干進氣孔，出氣端端面分隔為數量與進氣孔數量相匹配的出氣孔，流通管道的內腔分隔為數量與出氣孔數量一致的獨立流道；每個出氣孔與相對應的一個或多個進氣孔通過位于流通管道內的對應獨立流道相連通，各獨立流道呈“喇叭狀”，由進氣孔側向出氣孔側，內徑逐漸增大。

本發明進一步優選地技術方案為，所述出氣孔為矩形，獨立流道的出氣孔側的端部為長寬與出氣孔長寬一致的矩形，相鄰兩出氣孔之間通過倒角連接。

優選地，獨立流道的進氣孔側與兩個以上進氣孔連通，與同一獨立流道連通的各進氣孔位于同一行或同一列。

優選地，所述出氣孔為圓形，獨立流道的出氣孔側的端部為直徑與出氣孔直徑一致的圓形，各出氣孔相交或相切。

優選地，獨立流道的進氣孔側與兩個以上進氣孔連通，與同一獨立流道連通的各進氣孔位于同一行或同一列。

有益效果：本發明中在流通管道內設置多個獨立流道，出氣孔與相對應的出氣孔通過位于流通管道內的對應獨立流道相連通，每種前驅體氣體從進氣孔進入獨立流道，經過各獨立流道到達出氣孔，前驅氣體流出裝置時已布滿整個平面，勻流效果更好，并且由于出氣孔已全部包含在流通管道中，整個部件沒有任何區域暴露在兩種前驅體中，進而避免了設備部件鍍膜或產生粉塵的不良效果。

附圖說明

圖1為本發明實施例1的結構示意圖；

圖2為本發明實施例2的結構示意圖；

圖3為本發明實施例3的結構示意圖；

圖中，1-流通管道、2-進氣孔、3-出氣孔、4-獨立流道。

具體實施方式

下面通過附圖對本發明技術方案進行詳細說明，但是本發明的保護范圍不局限于所述實施例。