[發(fā)明專利]一種晶片清洗干燥機(jī)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910060208.5
• 申請日: 2019-01-22
• 公開（公告）號: CN109719071A
• 公開（公告）日: 2019-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 葛林五;李杰;丁高生;林生海;陳景韶;葛林新
• 申請（專利權(quán)）人: 上海提牛機(jī)電設(shè)備有限公司
• 主分類號: B08B3/04
• 分類號: B08B3/04;B08B3/10;B08B13/00;F26B21/00;F26B3/04
• 代理公司: 上海智力專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 31105
• 代理人: 周濤

1.一種晶片清洗干燥機(jī)，其特征在于，該干燥機(jī)包括：

上箱體（1），所述上箱體（1）中設(shè)置有干燥組件（11）；

中箱體（2），所述中箱體（2）中設(shè)置有用來承置晶片（5）的花籃組件（21）；以及

下箱體（3），所述上箱體（1）、中箱體（2）與下箱體（3）能夠一起構(gòu)成密封整體，所述下箱體（3）中設(shè)置有用來向外部排出氣流的第一抽氣管（31）、用來向所述下箱體（3）中供水的進(jìn)水管（32）和用來向外部排出水流的第一出水管（33）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片清洗干燥機(jī)，其特征在于，所述干燥機(jī)還包括：移動機(jī)構(gòu)（4），能夠夾持所述晶片（5）并將所述晶片（5）上下移動，使得所述晶片（5）能夠在所述中箱體（2）或者下箱體（3）中變換位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶片清洗干燥機(jī)，其特征在于，所述中箱體（2）上設(shè)置有移動輪，所述中箱體（2）和上箱體（1）能夠整體側(cè)移使得所述下箱體（3）的頂部敞開或者閉合。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶片清洗干燥機(jī)，其特征在于，所述干燥機(jī)還包括：

側(cè)箱體（6），所述側(cè)箱體（6）連接在所述下箱體（3）的頂部一側(cè)，所述下箱體（3）的一側(cè)頂部設(shè)置有溢流口（61），所述溢流口（61）使得所述側(cè)箱體（6）與所述下箱體（3）內(nèi)部連通，所述側(cè)箱體（6）上設(shè)置有第二出水管（62），所述第二出水管（62）用來將所述下箱體（3）中溢流的液體導(dǎo)出。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶片清洗干燥機(jī)，其特征在于，所述側(cè)箱體（6）上還連通有第二抽氣管（63），用來抽吸所述側(cè)箱體（6）內(nèi)部的氣流。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片清洗干燥機(jī)，其特征在于，所述下箱體（3）的底部具有預(yù)定斜角，所述第一出水管（33）設(shè)置在所述下箱體（3）的底部，所述第一抽氣管（31）的高度大于所述第一出水管（33），所述進(jìn)水管（32）設(shè)置在所述第一出水管（33）和第一抽氣管（31）之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一所述的晶片清洗干燥機(jī)，其特征在于，所述干燥組件（11）包括：軸管（111），所述軸管（111）上均勻布設(shè)有若干第一出氣孔，所述軸管（111）的兩端均連通有接口（112）。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶片清洗干燥機(jī)，其特征在于，所述花籃組件（21）包括一組相對設(shè)置且?guī)в衅叫邪疾鄣膫?cè)板（211），兩兩相對的所述凹槽之間能夠放置所述晶片（5），所述花籃組件（21）還包括通氣管道（212），所述通氣管道（212）設(shè)置在所述側(cè)板（211）的中部位置，所述通氣管道（212）上開設(shè)有若干第二出氣孔。

9.一種晶片清洗干燥方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1、移動中箱體（2）和上箱體（1），使得下箱體（3）頂部敞開；

步驟2、進(jìn)水管（32）進(jìn)水，水從溢流口（61）溢流進(jìn)入側(cè)箱體（6），經(jīng)由第二出水管（62）排出，在下箱體（3）中構(gòu)成清洗流道；

步驟3、移動機(jī)構(gòu)（4）夾持晶片（5）向下進(jìn)入下箱體（3）中進(jìn)行清洗；

步驟4、移動中箱體（2）和上箱體（1），使得中箱體（2）與下箱體（3）連接處密封，所述軸管（111）中通入氮?dú)猓?/p>

步驟5、第一預(yù)定時間后，移動機(jī)構(gòu)（4）夾持晶片（5）向上進(jìn)入花籃組件（21）中，軸管（111）中同時通入異丙醇和氮?dú)膺M(jìn)行干燥，同時通過第一出水管（33）、第二出水管（62）排出下箱體（3）中的水體；

步驟6、第二預(yù)定時間后，軸管（111）與通氣管道（212）中通入氮?dú)猓瑫r通過第一抽氣管（31）、第二抽氣管（63）排出氣體；

步驟7、移動機(jī)構(gòu)（4）夾持晶片（5）向下進(jìn)入下箱體（3），移動中箱體（2）和上箱體（1），使得下箱體（3）頂部敞開，移動機(jī)構(gòu)（4）夾持晶片（5）向上，取出晶片（5）。