[發明專利]一種高導熱率硅片用切割液及其制備方法

在審

• 申請號: 201910054795.7
• 申請日: 2019-01-21
• 公開（公告）號: CN109810759A
• 公開（公告）日: 2019-05-28
• 發明（設計）人: 李廣森
• 申請（專利權）人: 安徽華順半導體發展有限公司
• 主分類號: C10M169/04
• 分類號: C10M169/04;C10N30/06
• 代理公司: 合肥匯融專利代理有限公司 34141
• 代理人: 張雁

1.一種高導熱率硅片用切割液，其特征在于，所述高導熱率硅片用切割液由以下重量份的原料制成：聚乙二醇70-80份、氯化石蠟4-8份、甘油6-10份、硅酸鈉2-4份、乙二酸二乙酯1-2份、乙炔炭黑2-3份、亞硝酸鈉1-4份、單乙醇胺0.4-0.8份、三乙胺0.4-0.6份、分散劑0.8-1.4份、抗氧化劑0.6-1份、懸浮劑0.8-1.2份、抗凍劑0.2-0.4份。

2.根據權利要求1所述的一種高導熱率硅片用切割液，其特征在于，所述高導熱率硅片用切割液由以下重量份的原料制成：聚乙二醇75份、氯化石蠟6份、甘油8份、硅酸鈉3份、乙二酸二乙酯1.5份、乙炔炭黑2.5份、亞硝酸鈉2.5份、單乙醇胺0.6份、三乙胺0.5份、分散劑1.1份、抗氧化劑0.8份、懸浮劑1份、抗凍劑0.3份。

3.根據權利要求1所述的一種高導熱率硅片用切割液，其特征在于：所述分散劑為甲基戊醇、聚丙烯酰胺、三聚磷酸鈉和三乙基己基磷酸質量比1∶1∶2∶4的混合物。

4.根據權利要求1所述的一種高導熱率硅片用切割液，其特征在于：所述抗氧化劑為2，6-二叔丁基對甲酚、2，4-二甲基-6-叔丁基苯酚、N，N'-二仲丁基對苯二胺中的任意一種。

5.根據權利要求1所述的一種高導熱率硅片用切割液，其特征在于：所述懸浮劑為硅酸鋁、羧甲基纖維素鈉、干酪素和聚氧化乙烯質量比2∶1∶3∶1的混合物。

6.根據權利要求1所述的一種高導熱率硅片用切割液，其特征在于：所述抗凍劑為水溶性酰胺和氯化鈣質量比2∶1的混合物。

7.一種高導熱率硅片用切割液的制備方法，其特征在于：所述切割液的制備方法包括以下步驟：

(1)將聚乙二醇、氯化石蠟、甘油混合攪拌均勻后水浴加熱靜置一段時間，得混合液備用；

(2)將上述混合液加入硅酸鈉、單乙醇胺、三乙胺、分散劑、抗氧化劑、懸浮劑和抗凍劑攪拌后于超聲震蕩儀中震蕩均質，得均質液備用；

(3)將上述均質液與乙二酸二乙酯、乙炔炭黑、亞硝酸鈉混合攪拌后加入高壓反應釜中，再將反應釜內通入超臨界二氧化碳，保溫保壓靜置一段時間后得本發明高導熱率硅片用切割液。

8.根據權利要求7所述的一種高導熱率硅片用切割液的制備方法，其特征在于：所述步驟(1)中水浴加熱的溫度為60-80℃，靜置時間為30-40min。

9.根據權利要求7所述的一種高導熱率硅片用切割液的制備方法，其特征在于：所述步驟(2)中超聲震蕩儀中震蕩均質的功率為200-300W，時間為15-20min。

10.根據權利要求7所述的一種高導熱率硅片用切割液的制備方法，其特征在于：所述步驟(3)中超臨界二氧化碳通入且保溫保壓靜置的壓強為16-18MPa，溫度為80-90℃。