[發(fā)明專利]一種雙重改性環(huán)氧丙烯酸酯及其光刻膠

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910053787.0
• 申請(qǐng)日: 2019-01-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109776756A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳未鳳;王勝林
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市道爾頓電子材料有限公司
• 主分類號(hào): C08G18/67
• 分類號(hào): C08G18/67;C08G18/58;C08G59/17;C08K9/06;C08K3/36;G03F7/027;G03F7/004
• 代理公司: 深圳盛德大業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44333
• 代理人: 賈振勇

本發(fā)明適用于光刻膠技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種雙重改性環(huán)氧丙烯酸酯及其光刻膠。該雙重改性環(huán)氧丙烯酸酯由如下按質(zhì)量份數(shù)計(jì)的組分組成：4.4～18.6份環(huán)氧樹(shù)脂、15.1～48.2份羧基丙烯酸酯、0.005～0.05份阻聚劑、0.01～0.08份環(huán)氧樹(shù)脂催化劑、14.9～48.1份多異氰酸酯、0.01～0.09份聚氨酯催化劑、0.02～0.4份表面修飾的納米SiO₂、9.6～33.8份羥基丙烯酸酯和10.2～80.9份第一溶劑。本發(fā)明還提供所述雙重改性環(huán)氧丙烯酸酯的制備方法。本發(fā)明可有效改善環(huán)氧樹(shù)脂的粘度和柔韌性、耐磨性，在增強(qiáng)有機(jī)無(wú)機(jī)相容性的同時(shí)，提高樹(shù)脂的耐熱性、耐磨性及耐化學(xué)性等性能。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于光刻膠技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種雙重改性環(huán)氧丙烯酸酯及其光刻膠。

背景技術(shù)

近年來(lái)，隨著電子信息產(chǎn)業(yè)中的微細(xì)加工技術(shù)的高密度化和高精細(xì)化的要求日益提高，基于圖案形成和保護(hù)圖案作用的光刻膠越來(lái)越受到重視。在電子元件制程中，光刻膠必須可顯影以形成圖案，且與玻璃、ITO或金屬表面間有良好的附著性以避免出現(xiàn)剝離的問(wèn)題，同時(shí)要有一定的硬度以防在制程中刮傷，在形成保護(hù)層后還要進(jìn)行其他材料層的沉積和蝕刻，也要求光刻膠有較好的耐熱性和耐化學(xué)性。此外，隨著電子材料要求的尺寸越小、厚度越薄，光刻膠微小的體積收縮將會(huì)使薄膜的龜裂現(xiàn)象明顯，造成鈍化面和晶面損傷。

光刻膠開(kāi)發(fā)的基礎(chǔ)是感光樹(shù)脂的改性。其中環(huán)氧丙烯酸酯樹(shù)脂是目前光刻膠領(lǐng)域用量較大、研究較多的感光性樹(shù)脂，因同時(shí)具有固化速度快、附著性好、硬度高、光澤度高及耐化學(xué)性等優(yōu)點(diǎn)，但也存在粘度較大、韌性差、脆性大、收縮率高等問(wèn)題。而聚氨酯具有優(yōu)異的柔韌性、耐磨性、耐化學(xué)性、抗撓曲性好等特點(diǎn)，二氧化硅則具有機(jī)械強(qiáng)度高、溫度穩(wěn)定性好、不吸水的特點(diǎn)，將兩者結(jié)合起來(lái)改性環(huán)氧丙烯酸酯，可大大提高樹(shù)脂的綜合性能。

利用聚氨酯中的異氰酸酯與環(huán)氧丙烯酸酯的羥基反應(yīng)，可以降低樹(shù)脂粘度，提高樹(shù)脂的柔韌性。而在樹(shù)脂中加入表面修飾的納米二氧化硅，可以有效提高有機(jī)無(wú)機(jī)材料的相容性，同時(shí)降低樹(shù)脂的吸濕性和收縮率，提高熱穩(wěn)定性和阻氣性。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例提供一種雙重改性環(huán)氧丙烯酸酯及其光刻膠，旨在解決現(xiàn)有的環(huán)氧丙烯酸酯樹(shù)脂性能的不足的問(wèn)題。

本發(fā)明實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種雙重改性環(huán)氧丙烯酸酯，由如下按質(zhì)量份數(shù)計(jì)的組分組成：4.4～18.6份環(huán)氧樹(shù)脂、15.1～48.2份羧基丙烯酸酯、0.005～0.05份阻聚劑、0.01～0.08份環(huán)氧樹(shù)脂催化劑、14.9～48.1份多異氰酸酯、0.01～0.09份聚氨酯催化劑、0.02～0.4份表面修飾的納米SiO₂、9.6～33.8份羥基丙烯酸酯和10.2～80.9份第一溶劑。

更進(jìn)一步地，

所述環(huán)氧樹(shù)脂為雙酚型環(huán)氧樹(shù)脂E-03、E-06、E-10、E-12、E-14、E-20、E-31、E-35、E-42、E-44、E-51或E-54中的至少一種。

所述羧基丙烯酸酯為甲基丙烯酸或/和丙烯酸。

所述阻聚劑為對(duì)羥基苯甲醚、對(duì)苯二酚、間苯二酚或2,6-二叔丁基對(duì)甲酚中的至少一種。

所述環(huán)氧樹(shù)脂催化劑為三苯基膦、三甲基芐基氯化銨、三甲基芐基溴化銨、三乙基芐基氯化銨或三乙基芐基溴化銨中的至少一種。

所述多異氰酸酯為甲苯二異氰酸酯、1,6-己二異氰酸酯、異佛爾酮二異氰酸酯、二苯基甲烷二異氰酸酯、苯二亞甲基二異氰酸酯或多亞甲基多苯基多異氰酸酯中的至少一種。

所述聚氨酯催化劑為有機(jī)錫類催化劑或/和叔胺類催化劑。

所述表面修飾的納米SiO₂為硅烷偶聯(lián)劑改性的納米SiO₂。