[發(fā)明專利]全貼合設(shè)備及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910049824.0
• 申請日: 2019-01-18
• 公開（公告）號: CN109634465B
• 公開（公告）日: 2023-09-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡川;燕英強(qiáng);陳志濤
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 安衛(wèi)靜

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種全貼合設(shè)備及方法，包括分別與第三真空腔室連接的第一真空腔室、第二真空腔室和第四真空腔室。通過設(shè)置于所述第三真空腔室的機(jī)械臂抓取位于所述第一真空腔室內(nèi)的待貼合的第一組件至所述第三真空腔室，并抓取所述第二真空腔室內(nèi)的待貼合的第二組件至所述第三真空腔室，并在所述第三真空腔室內(nèi)貼合所述待貼合的第一組件和所述待貼合的第二組件，以得到貼合后的成品，并將所述成品送入所述第四真空腔室。以為所述待貼合的第一組件及第二組件提供全貼合所需要的多個(gè)真空環(huán)境，以減少抽真空所需要的時(shí)間及成本，提高生產(chǎn)效率和品質(zhì)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電子技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種全貼合設(shè)備及方法。

背景技術(shù)

觸摸屏和顯示屏全貼合工藝需要確保貼合后，觸摸屏、光學(xué)粘合膠及顯示屏之間不允許有氣泡、氣孔及分層等缺陷，所以全貼合工藝需要在真空腔室內(nèi)進(jìn)行。

目前，觸摸屏和顯示屏全貼合設(shè)備只有一個(gè)可抽真空的貼合真空腔室，觸摸屏和光學(xué)粘合膠貼合時(shí)需要在真空環(huán)境下進(jìn)行，貼合完需要釋放掉真空后才能將顯示屏送入貼合真空腔室，然后再對貼合真空腔室抽真空并進(jìn)行觸摸屏和顯示屏的貼合。觸摸屏和顯示屏貼合完之后，釋放掉真空，將貼合好的成品取出。任何材料進(jìn)出貼合真空腔室都需要重新對貼合真空腔室抽真空，在這種設(shè)備下對觸摸屏及顯示屏全貼合速度慢，效率低，尤其是大尺寸(大于80英寸)的觸摸屏和顯示屏全貼合時(shí)，貼合真空腔室體積大，抽真空需要耗費(fèi)大量的時(shí)間，生產(chǎn)效率極低。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明的目的在于，提供一種全貼合設(shè)備及方法以改善上述問題。

本發(fā)明實(shí)施例提供一種全貼合設(shè)備，包括第一真空腔室、第二真空腔室、第三真空腔室及第四真空腔室，所述第三真空腔室分別連接第一真空腔室、第二真空腔室和第四真空腔室；

所述第一真空腔室，用于容置待貼合的第一組件，并為所述待貼合的第一組件提供真空環(huán)境；

所述第二真空腔室，用于容置待貼合的第二組件，并為所述待貼合的第二組件提供真空環(huán)境；

所述第三真空腔室內(nèi)設(shè)置有機(jī)械臂，所述機(jī)械臂用于抓取所述第一真空腔室內(nèi)的所述待貼合的第一組件至所述第三真空腔室，并抓取所述第二真空腔室內(nèi)的所述待貼合的第二組件至所述第三真空腔室，并在所述第三真空腔室內(nèi)貼合所述待貼合的第二組件和所述待貼合的第一組件，以得到貼合后的成品，并將所述成品送入所述第四真空腔室；

所述第四真空腔室，用于為所述成品提供真空環(huán)境并容置所述成品。

進(jìn)一步地，所述待貼合的第一組件上標(biāo)記有第一靶標(biāo)，所述待貼合的第二組件上標(biāo)記有第二靶標(biāo)，所述第三真空腔室的腔壁內(nèi)側(cè)設(shè)置有至少一個(gè)對位設(shè)備，用于采集包含所述待貼合的第一組件和所述待貼合的第二組件的圖像，并對所述圖像進(jìn)行識別以獲得所述第一靶標(biāo)及所述第二靶標(biāo)分別在所述待貼合的第一組件和所述待貼合的第二組件上的位置，所述機(jī)械臂還用于根據(jù)所述第一靶標(biāo)和所述第二靶標(biāo)的位置將所述待貼合的第一組件和所述待貼合的第二組件對位。

進(jìn)一步地，所述對位設(shè)備為CCD相機(jī)、CMOS相機(jī)或紅外相機(jī)。

進(jìn)一步地，所述第一真空腔室包括至少一個(gè)第一容置槽位，用于容置所述待貼合的第一組件；

所述第二真空腔室包括至少一個(gè)第二容置槽位，用于容置所述待貼合的第二組件；

所述第三真空腔室包括載物臺，用于承載所述待貼合的第二組件及所述待貼合的第一組件。

進(jìn)一步地，所述第一真空腔室遠(yuǎn)離所述第三真空腔室的腔壁設(shè)置有第一隔離閥門，靠近所述第三真空腔室的腔壁設(shè)置有第二隔離閥門；

所述第一隔離閥門閉合時(shí)，所述第一真空腔室與外部大氣壓強(qiáng)隔離，所述第一隔離閥門打開時(shí)，所述第一真空腔室與外部大氣壓強(qiáng)連通；