[發(fā)明專利]一種高效率高密度低溫等離子體發(fā)生制備器

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910015104.2
• 申請日: 2019-01-08
• 公開（公告）號: CN109675415A
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 薛舒文
• 申請（專利權(quán)）人: 薛舒文
• 主分類號: B01D53/32
• 分類號: B01D53/32
• 代理公司: 北京冠和權(quán)律師事務(wù)所 11399
• 代理人: 朱健;張迪

1.一種高效率高密度低溫等離子體發(fā)生制備器，其特征在于，所述離子體發(fā)生制備器為多層腔室結(jié)構(gòu)，用于將氣態(tài)介質(zhì)生成等離子體，腔室外部設(shè)有等離子發(fā)生器，等離子發(fā)生器金屬器件作為表面等離激元共振件，待反應(yīng)氣體通過輸送器件輸送至離子體發(fā)生制備器內(nèi)，離子體發(fā)生制備器內(nèi)由進(jìn)氣端到排氣端依次設(shè)置有與等離子發(fā)生器連接的光子放大金屬構(gòu)件、光子解耦金屬構(gòu)件和光反應(yīng)金屬構(gòu)件。

2.如權(quán)利要求1所述的高效率高密度低溫等離子體發(fā)生制備器，其特征在于，所述氣態(tài)介質(zhì)包括空氣或分子、生物分子、微生物及其任意組合。

3.如權(quán)利要求1所述的高效率高密度低溫等離子體發(fā)生制備器，其特征在于，所述等離子體包括受激分子、自由基、離子、自由電子光子及其任意組合。

4.如權(quán)利要求1所述的高效率高密度低溫等離子體發(fā)生制備器，其特征在于，在所述腔室內(nèi)部至少設(shè)有一個(gè)電極，在所述電極上施加有電壓或者高電壓。

5.如權(quán)利要求1所述的高效率高密度低溫等離子體發(fā)生制備器，其特征在于，所述光子放大金屬構(gòu)件為設(shè)有均勻且等距離穿孔的透射板柵和/或衍射光柵，在所述板柵的表面附著有工業(yè)鉆石涂層，或富勒烯涂層，或鎳涂層。

6.如權(quán)利要求5所述的高效率高密度低溫等離子體發(fā)生制備器，其特征在于，在所述金屬構(gòu)件的兩端設(shè)有絕緣構(gòu)件，所述腔室形成于金屬構(gòu)件與絕緣構(gòu)件之間以及由絕緣構(gòu)件制成的排氣腔室，在與氣態(tài)介質(zhì)流通方向垂直的金屬構(gòu)件與絕緣構(gòu)件上均布由若干個(gè)通氣孔，在金屬構(gòu)件上還設(shè)有若干根均勻分布的放電針。

7.如權(quán)利要求6所述的高效率高密度低溫等離子體發(fā)生制備器，其特征在于，在所述腔室內(nèi)部光子放大金屬構(gòu)件的中心設(shè)有圓筒結(jié)構(gòu)的網(wǎng)板，在所述網(wǎng)板的表面附著有工業(yè)鉆石涂層，或富勒烯涂層，或鎳涂層。

8.如權(quán)利要求7所述的高效率高密度低溫等離子體發(fā)生制備器，其特征在于，在所述圓筒結(jié)構(gòu)網(wǎng)板的表面均布有若干根徑向放電針。

9.如權(quán)利要求8所述的高效率高密度低溫等離子體發(fā)生制備器，其特征在于，在所述金屬構(gòu)件上加載有周期震蕩的電磁震蕩波。

10.如權(quán)利要求1所述的高效率高密度低溫等離子體發(fā)生制備器，其特征在于，所述金屬構(gòu)件與絕緣構(gòu)件之間通過絕緣連接件和螺釘相互連接。